[求助]光学薄膜实际膜厚测量 [复制链接]

镀的AR膜，想要测试薄膜的实际镀膜厚度和实际的材料折射率；实际镀膜厚度使用的台阶仪进行测量的，但测量出来的曲线不理想，差距也很大，想问下大家都是用的什么设备来测试的啊~ MR5[|kHJT  
本来是准备实际膜厚出来以后再用椭偏仪测试实际的材料折射率的，结果第一步就卡住了~ XIdC1%pr;  

镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。 .yD 6$!6  
bC) <K/Q9  
实际上层和层之间是有过渡的， a<E9@  
层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 t
TubW=H  
所以求个大概就可以了。 OQKc_z'"  

版主说的对，先做单层膜。 .=d40m  
用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 TiG?r$6v%  

ouyuu:镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。
实际上层和层之间是有过渡的， KhX)maQ  
层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 x*=m'IM[  
所以求个大概就可以了。 F7nwVDc*  
....... (2025-02-20 11:31)  %6Vb1?x  

bmi",UZ:F  
我是做的单层膜，多个样，厚度从薄到厚（从几十到数百纳米），因为我担心随厚度的加厚差异值是不是呈线性关系； S#HeOPRL  
所以不用考虑线性非线性影响，镀单层较厚的膜做比较对比就可以了是吗

morningtech:版主说的对，先做单层膜。 F2_'U' a  
用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 h6<i,1gQ1  
 (2025-02-20 13:14)  c=bK_Z_  

=2DK?]K;  
我的是AR膜，单层膜的话一般镀多厚呢？还是都可以不影响，如果是光谱仪测光谱的话（用分光光度计？）

几百nm.  分光光度计

白光干涉仪

感兴趣的话，可以留言给我。我们这边有个老师有这款产品，性价比很高

兜兜吃葡萄:我的是AR膜，单层膜的话一般镀多厚呢？还是都可以不影响，如果是光谱仪测光谱的话（用分光光度计？） (2025-02-20 13:57)  :5T=y @  

QV\af  
如果想精度高一点的话，一般分光仪测量范围内要有2-3个PEAK。 gE=9K @  
这样用软件模拟出来会好一点。 ?P>4H0@I+  
几百个纳米是需要的。像二氧化硅可能还要多镀一点。

AR膜因为薄层比较多，膜与膜之间过渡的折射率不好仿真，所以软件只能模拟个大概，余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。