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    [求助]光学薄膜实际膜厚测量 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 02-20
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    镀的AR膜,想要测试薄膜的实际镀膜厚度和实际的材料折射率;实际镀膜厚度使用的台阶仪进行测量的,但测量出来的曲线不理想,差距也很大,想问下大家都是用的什么设备来测试的啊~ _"%mLH=!8  
    本来是准备实际膜厚出来以后再用椭偏仪测试实际的材料折射率的,结果第一步就卡住了~ Xn^gxOPM  
     
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    离线cwl563590
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    只看该作者 12楼 发表于: 08-09
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    学到了,收获满满
    离线yk024
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    只看该作者 11楼 发表于: 02-27
    用椭偏仪,可以厚度和光学常数
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    只看该作者 10楼 发表于: 02-26
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:AR膜因为薄层比较多,膜与膜之间过渡的折射率不好仿真,所以软件只能模拟个大概,余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。 (2025-02-26 09:02)  2H\ }N^;f  
    aL?+# j^"  
    我把样品做了下调整,准备镀出来再去台阶仪上试试看有没有改善~能用物理方法测出来最好,行不通的话我在试试分光光度计和软件模拟~多谢巨巨~
    离线ouyuu
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    只看该作者 9楼 发表于: 02-26
    AR膜因为薄层比较多,膜与膜之间过渡的折射率不好仿真,所以软件只能模拟个大概,余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 02-26
    回 兜兜吃葡萄 的帖子
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    兜兜吃葡萄:我的是AR膜,单层膜的话一般镀多厚呢?还是都可以不影响,如果是光谱仪测光谱的话(用分光光度计?) (2025-02-20 13:57)  }VU7wMk  
    NScUlR"nE  
    如果想精度高一点的话,一般分光仪测量范围内要有2-3个PEAK。 Z@ dS,M*  
    这样用软件模拟出来会好一点。 1m{c8Z.h/d  
    几百个纳米是需要的。像二氧化硅可能还要多镀一点。
    离线lijinxia
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    只看该作者 7楼 发表于: 02-21
    感兴趣的话,可以留言给我。我们这边有个老师有这款产品,性价比很高
    离线lijinxia
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    只看该作者 6楼 发表于: 02-21
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    白光干涉仪
    离线morningtech
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    只看该作者 5楼 发表于: 02-20
    几百nm.  分光光度计
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    只看该作者 4楼 发表于: 02-20
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:版主说的对,先做单层膜。 d +Bz pS@p  
    用光谱仪测光谱,然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 u9^R ?y  
     (2025-02-20 13:14)  dD}!E  
    G8ksm2}  
    我的是AR膜,单层膜的话一般镀多厚呢?还是都可以不影响,如果是光谱仪测光谱的话(用分光光度计?)