[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 9A,Z|q/z5  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 )CPM7>  
苏州黉论教育咨询有限公司 S|V4[ssB  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 @r(Z%j7  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 =-cwXo{Q.O  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 t2
2;87&|  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Agh`]XQ2  
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课程简介： FQ%c~N  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 -F&U  
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课程大纲： rj]F87"  
第一天 8eIUsI.o  
1. 光栅结构建模 ql{(Lf$  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 iO/XhSD  
 光栅的建模 gbOp
j3  
2.  光栅仿真算法比较 gyHHoZc3  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） 'z@0  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） d9*hBm  
3. 光栅严格分析实例 IH48|sa  
 闪耀光栅 Tl]e%A`|  
 光栅与偏振 }uHrto3M  
 非傍轴衍射分束器分析 S>G?Q_&}?D  
4.  光栅设计与优化 0l*]L`]L#  
 倾斜光栅结构参数优化 nZ1zJpBmI  
 公差分析 "@@I!RwA  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 YG:3Fhx0~  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 >%p{38  
Q&A S0h'50WteJ  
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第二天 WtQ8X|\`  
1. 二维光栅结构建模 _8f
r6tO+  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） CHd9l]Rbe  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 zepop19  
2. 二维光栅设计优化 %V&n*3  
 抗反射蛾眼结构设计 #?MY&hdU9  
 公差分析 >FjR
9B  
 纳米柱的严格分析 w&$d* E  
 共振光子晶格仿真 c$S{^IQ  
3. 超表面微纳结构 N- e$^pST  
 超表面分光光栅设计 rD?L  
 设计和分析超透镜 682Z}"I0  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 Wc3kO'J  
4. 包含光栅的光学系统仿真 a)Q!'$"'  
 光栅衍射测量 <99M@ cF  
 结构光照明的显微镜系统 j.~!dh$mg  
 微结构晶圆检测系统 6K cD&S/  
 泰伯效应 AT2v!mNyCw  
Q&A