[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 `i)&nW)R  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 sB,>4*Zd  
苏州黉论教育咨询有限公司 wzRIvm{  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 cOr@dUSL  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 br9`77J8  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 = 5E:CP  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) $ (gR^L  
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课程简介： PNbs7f  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 E0i_sB~T  
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课程大纲： 5E+k}S]M$  
第一天 -)Y?1w  
1. 光栅结构建模 F^]?'`7md  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 6v9{$:  
 光栅的建模 Q4;br?2H  
2.  光栅仿真算法比较 S}hg*mWn{$  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） H?=D,  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） D?w-uR%Y  
3. 光栅严格分析实例 ^8V cm*  
 闪耀光栅 `f2m5qTP%  
 光栅与偏振 {mp;^/O`er  
 非傍轴衍射分束器分析 ^gdg0y!5~  
4.  光栅设计与优化 ):_x  
 倾斜光栅结构参数优化 4D/mm(2d$  
 公差分析 @
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 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 RhJL`>W`  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 }<wj~f([  
Q&A 2Z-BZuK6p  
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第二天 `f:5w^A  
1. 二维光栅结构建模 Z6cG<,DQ  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） mP)<;gm,  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 $Q:5KNF+p  
2. 二维光栅设计优化 f-\l<o(  
 抗反射蛾眼结构设计 1?(mE7H#  
 公差分析 m,u? ^W  
 纳米柱的严格分析 _OF8D
  
 共振光子晶格仿真 R$cO`L*s  
3. 超表面微纳结构 V,uhBMT#
  
 超表面分光光栅设计 n^/,>7J  
 设计和分析超透镜 ubhem(p#  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 'FBvAk6  
4. 包含光栅的光学系统仿真 X/1Z9a+W  
 光栅衍射测量 qi7wr\XNW  
 结构光照明的显微镜系统 zYOPE 6E  
 微结构晶圆检测系统 )^!-Aj\x  
 泰伯效应 XEZ6%Q_  
Q&A