[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 C8FB:JNJV  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 `+6R0Ch  
苏州黉论教育咨询有限公司 q6YXM  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 McB[|PmC  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 .r*2|  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 l;o1 d-n]  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
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课程简介： d!eYqM7-G  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 8WnwQ%;m?  
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课程大纲： 13taFVdU  
第一天 |i++0BU  
1. 光栅结构建模 *}P~P$q%  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 eM8}
X[  
 光栅的建模 !qG7V:6  
2.  光栅仿真算法比较 l\i)$=d&g  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） wmTb97o
 
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） h$2</J"  
3. 光栅严格分析实例 F w?[lS  
 闪耀光栅 u?C#4  
 光栅与偏振 q.;u?,|E/  
 非傍轴衍射分束器分析 v/_  
4.  光栅设计与优化 uA<
n  
 倾斜光栅结构参数优化 *WuID2cOI  
 公差分析 }~L.qG  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 -q

Ga]a  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 F%RRd/'  
Q&A Fe4(4  
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第二天 " )1V]}+m  
1. 二维光栅结构建模 <J`0  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） 9P+-#B  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 XwJ7|cB  
2. 二维光栅设计优化 YpVD2.jy  
 抗反射蛾眼结构设计 50S&m+4d+  
 公差分析  R[D{|K@"  
 纳米柱的严格分析 .[I
Cx  
 共振光子晶格仿真 asppRL||  
3. 超表面微纳结构 K &N  
 超表面分光光栅设计 g,!L$,/F  
 设计和分析超透镜 a.k.n<  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 u7>],<  
4. 包含光栅的光学系统仿真 !$gR{XH$]  
 光栅衍射测量 0x@6^%^\  
 结构光照明的显微镜系统 R{SF(g3  
 微结构晶圆检测系统 8;JWK3Gv  
 泰伯效应 m#| 9hMu  
Q&A