[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 zn^ G V  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 D[6sy`5l  
苏州黉论教育咨询有限公司 wnXU=  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 ){,Mv:#+T  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 W}zq9|p  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 ?-`&YfF  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) A8S9HXL
 
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课程简介： u`(yT<>H  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 ScVbo3{m*T  
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课程大纲： s)-bOZi  
第一天 4JO16  
1. 光栅结构建模 *u,&?fCl  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 ?GLCd7TP  
 光栅的建模 KZAF9  
2.  光栅仿真算法比较 zO$r   
 薄元近似法（Thin Element Approximation） ).e}.Z6[i`  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） ^AOJ^@H^>  
3. 光栅严格分析实例 4sH?85=j  
 闪耀光栅 e8(Qx3T?b  
 光栅与偏振 D88IU9V&n  
 非傍轴衍射分束器分析 i=P}i8,^=  
4.  光栅设计与优化
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 倾斜光栅结构参数优化 N;>s|ET  
 公差分析 ^x^(Rk}|  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 _;S~nn  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 fN<Y3^i"  
Q&A )_o^d>$da  
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第二天 Q:y'G9b  
1. 二维光栅结构建模 @uQ *$  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） eHd7fhW5  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 pbWjTI$  
2. 二维光栅设计优化 ZIh)D[n  
 抗反射蛾眼结构设计 /?T
R_>  
 公差分析 $ZB`4!JxG  
 纳米柱的严格分析 aZtM _  
 共振光子晶格仿真 `Nz`5}8.?  
3. 超表面微纳结构 NB.'>Sar  
 超表面分光光栅设计 \&Bdi6xAy  
 设计和分析超透镜 }&6:0l$4!  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 %AWc`D  
4. 包含光栅的光学系统仿真 ;/+U.I%z  
 光栅衍射测量 QX=x^(M$m  
 结构光照明的显微镜系统 @*UV|$~(Q  
 微结构晶圆检测系统 S>j.i  
 泰伯效应 n)35-?R/M  
Q&A