[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 &.kg8|s{  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 5:|5NX[.b  
苏州黉论教育咨询有限公司 v Xio1hu  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 w;H  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 UE7P =B  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 %H<w.]>  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) !=&]#-;b  
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课程简介： V2w[0^L  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 2EE/xnwX  
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课程大纲： Th
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第一天 i )3Y\u  
1. 光栅结构建模 9 K$F.{cx  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 PyYKeo=  
 光栅的建模 :;0?;dpO  
2.  光栅仿真算法比较 a}E8ADyC  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） l[G,sq"  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） nq/xD;q  
3. 光栅严格分析实例 +6<MK;  
 闪耀光栅 3Un/-4uL  
 光栅与偏振 JPQ
02&e  
 非傍轴衍射分束器分析  4EB$e?  
4.  光栅设计与优化 w0/W=!_  
 倾斜光栅结构参数优化 ]CC~Eo-%-  
 公差分析 |&n dQ(!l  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 m_rRe\  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 ' 1P_*  
Q&A QH\*l~;B\  
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第二天 |w~
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1. 二维光栅结构建模 5@[%P=  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） W\~ZmA.  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 &KR@2~vE  
2. 二维光栅设计优化 t1C{  
 抗反射蛾眼结构设计 8QC:ro  
 公差分析 sef!hS06  
 纳米柱的严格分析 G#@<bg3  
 共振光子晶格仿真 T82=R@7  
3. 超表面微纳结构 dJ24J+9}]j  
 超表面分光光栅设计 _IlL'c5  
 设计和分析超透镜 {7/6~\'/@  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 fI$,?>  
4. 包含光栅的光学系统仿真 >MQW{^  
 光栅衍射测量 G$@X>)2N8  
 结构光照明的显微镜系统 APc@1="#J  
 微结构晶圆检测系统 !uO|T'u0a  
 泰伯效应 STOE=TC>  
Q&A