[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

F,EHZ,<V  
时间地点 9PR&/Q F5  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 s ^}V  
苏州黉论教育咨询有限公司 \LS%bO,Y|  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 m1`ln5(R  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 ___+5r21\  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 hpw;w}m  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) dkVVvK  
/_56H?w\  
课程简介： =|G PSRQ  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 M.l;!U!}  
%_3{Db`R>  
课程大纲： {`}RYfZ
 
第一天 )<~b*^kl\  
1. 光栅结构建模 3yZ@i<rfH  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 dA_s7),  
 光栅的建模 X'3F79`  
2.  光栅仿真算法比较 =lffr?#&B  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） %Ajf|Go0/G  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） I4");T3  
3. 光栅严格分析实例 ksK lw_%o  
 闪耀光栅 '<@PgO~  
 光栅与偏振 !AMPA*  
 非傍轴衍射分束器分析 nH_A`m3%/  
4.  光栅设计与优化 66BsUA.h  
 倾斜光栅结构参数优化 :{Y,Nsa  
 公差分析
nGu
F,0j  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 |epe;/  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 =F:d#j>F  
Q&A B)c.`cfr*\  
VX- f~  
第二天 %b_zUFHPp  
1. 二维光栅结构建模 2h/`RefHJ  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） >M +!i+  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 Fs=nAn#  
2. 二维光栅设计优化 JY_' d,O  
 抗反射蛾眼结构设计 QX8N p{g-  
 公差分析 )@sz\yI%U  
 纳米柱的严格分析 $U6)km4  
 共振光子晶格仿真 c8u&ev.U  
3. 超表面微纳结构 \C>I6{  
 超表面分光光栅设计 7sFjO/a*  
 设计和分析超透镜 Yt{Y)=_t  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 v8WoV*  
4. 包含光栅的光学系统仿真 Jl4zj>8~  
 光栅衍射测量 !u=[/>  
 结构光照明的显微镜系统 N(IUNL  
 微结构晶圆检测系统 AFY;;_Xks  
 泰伯效应 MqNp*n2  
Q&A