[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

3,"G!0 y.  
时间地点 csFLBP  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 yHo#v:>?p  
苏州黉论教育咨询有限公司 *snY|hF  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 F2>W{-H+  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 N0pA ,&  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 HGao}@'  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 3dx.%~c  
n v ?u  
课程简介： "]bOpk T  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 s7(1|}jh  
!lL~#l:F  
课程大纲： gXj3=N(l  
第一天 OI,F,4e  
1. 光栅结构建模 ~}_
S]^br  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 U6F7
dT  
 光栅的建模 2"QcjFW%  
2.  光栅仿真算法比较 Ou_2UT  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） 3V]08  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） V)fF|E~0  
3. 光栅严格分析实例 rMoz+{1A  
 闪耀光栅 v*kX?J#]5  
 光栅与偏振 ~#dfZa&   
 非傍轴衍射分束器分析 SN 4JX  
4.  光栅设计与优化 Cb6K!5[q]  
 倾斜光栅结构参数优化 Gb4p"3  
 公差分析 Mn 8| Knh  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 )43z(:<  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 L@S1C=-/  
Q&A bt"5.nm  
C{G;G@/7  
第二天 $Ji;zR4,  
1. 二维光栅结构建模 K}
DrJ
/s  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） b%h.>ij?  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
`k7X|  
2. 二维光栅设计优化 Qoa&]]  
 抗反射蛾眼结构设计 vW0U~(XlN  
 公差分析 [4Q;5 'Dj  
 纳米柱的严格分析 ub2B!6f a  
 共振光子晶格仿真 5,BvT>zFY  
3. 超表面微纳结构 f.c2AY~5[  
 超表面分光光栅设计 ;D<
;pW  
 设计和分析超透镜 fRwr}n'
 
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 RS|*3 $1  
4. 包含光栅的光学系统仿真 pI1g<pe  
 光栅衍射测量 ~wu\j][2  
 结构光照明的显微镜系统 FP")$ ,=s  
 微结构晶圆检测系统 .dn#TtQv  
 泰伯效应 Zul@aS !  
Q&A