Y6d~hLC 时间地点 m\bmBK"I 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Msfxce 苏州黉论教育咨询有限公司
LP'q$iB! 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
-1`}|t; 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
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W/$ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
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XE%r 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
W1t_P&i m}zXy\ 课程简介:
qt/6o|V 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
n<<arO"cv s{V&vRr 课程大纲:
.;.Zbhm 第一天
~Fl\c- 1. 光栅结构建模
,j\uvi(Y 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 oIIi_yc 光栅的建模
`T ^0&# 2. 光栅仿真算法比较
Gm=&[?} 薄元近似法(Thin Element Approximation)
ggYi 7Wzsd 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
|TkicgeS 3. 光栅严格分析实例
kM=&Tfpj 闪耀光栅
Yl?s^]SFU 光栅与偏振
,# .12Q! 非傍轴衍射分束器分析
rg]b$tL~ 4. 光栅设计与优化
b`^?nD7 倾斜光栅结构参数优化
f~TkU\Rh 公差分析
XFl&(I4tB 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
hE'7M; 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
~i'!;'-_} Q&A
SkVah:cF- Z?3B1o9 第二天
\yxGE+~P 1. 二维光栅结构建模
4e;
le& 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
Zy:q)'D= 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
nGc'xQy0 2. 二维光栅设计优化
^T1caVb|> 抗反射蛾眼结构设计
zcH"Kh& 公差分析
T2)CiR-b
纳米柱的严格分析
t7xJ" 共振
光子晶格仿真
{)!ua7GF0H 3. 超表面微纳结构
d7zZ~n 超表面分光光栅设计
YN:Sn\`D 8 设计和分析超透镜
\_(0V" 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
xXmlHo<D 4. 包含光栅的光学系统仿真
o8%o68py 光栅衍射测量
T?.l_"%%d 结构光
照明的显微镜系统
KZ^>_K& 微结构晶圆检测系统
EGFPv'De 泰伯效应
CtD<%v3` Q&A
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