[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

+u!0rLb  
时间地点 jZh';M8"  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 ,$;yY)x7U  
苏州黉论教育咨询有限公司 g) p,5BADm  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 R>,:A%?^b5  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 u`y><w4i  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 CK:y?  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) +6UVn\9Q  
U Z.=aQ}M  
课程简介： 8#(Q_  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 qY~`8 x  
L!
=4N!j  
课程大纲： !O-C,uSm  
第一天 ]?3un!o3o  
1. 光栅结构建模 '&.#  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 ,Vh.T&X5  
 光栅的建模 Vnx,5E&  
2.  光栅仿真算法比较 R&|mdY8  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） A$#p%yb  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） =i_-F$pV  
3. 光栅严格分析实例 u
wa~-xX6  
 闪耀光栅 jov:]Bic  
 光栅与偏振 ~n[xtWO0  
 非傍轴衍射分束器分析 T^T[$26  
4.  光栅设计与优化 "`M?R;DH  
 倾斜光栅结构参数优化 :!5IW?2  
 公差分析
M&NB/  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 Q2zjZC*'%  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 @fs`=lL/  
Q&A (S xR`QP?,  
I4i2+ *l}  
第二天 Gp4A.\7  
1. 二维光栅结构建模 58%#DX34M  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） >=UF-xk;  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 %CS@g.
H=_  
2. 二维光栅设计优化 S/Fkw4%  
 抗反射蛾眼结构设计 OR}c)|1  
 公差分析 )\6&12rj  
 纳米柱的严格分析 #{k|I$  
 共振光子晶格仿真 FDVcow*]n  
3. 超表面微纳结构 Jrg2/ee,*  
 超表面分光光栅设计 (q{Ck#+  
 设计和分析超透镜 6)vSG7Ise  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 9uRFnzJVx  
4. 包含光栅的光学系统仿真 PQK(0iCo4  
 光栅衍射测量 ]4R[<<hd  
 结构光照明的显微镜系统 \[gReaI  
 微结构晶圆检测系统 h~(G$':^  
 泰伯效应 0A,]$Fzt  
Q&A