,]Ro',A& 时间地点 Q'|0?nBOY 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
iIsEQh 苏州黉论教育咨询有限公司
\+iu@C 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
dCZ\ S91q 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
8VP"ydg-U 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
)_77>f% 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
l@N;sI<O- 3a#PA4Ql 课程简介:
Sk/#J!T8{ 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
]am~aJ|L
pd4cg?K 课程大纲:
G [3k 第一天
tx0Go'{ 1. 光栅结构建模
Mny'9hsl 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 #M5_em4kN 光栅的建模
$s-9|Lbs` 2. 光栅仿真算法比较
P3iA(3I24< 薄元近似法(Thin Element Approximation)
"F-Y^ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
IS[Vap: 3. 光栅严格分析实例
ohrw\<xsu 闪耀光栅
'lhP!E_)q 光栅与偏振
2yN%~C?$ 非傍轴衍射分束器分析
U_}7d"<| ? 4. 光栅设计与优化
.3VK;au\\ 倾斜光栅结构参数优化
60GFVF]'2 公差分析
_i3i HR? 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
t`"^7YFS> 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
'h-3V8m^e Q&A
m|pTn#*` #B @X 第二天
5x8'K7/4. 1. 二维光栅结构建模
RT%x&j 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
NJZXs_%>$ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
fO].e"} 2. 二维光栅设计优化
R?
O-x9 抗反射蛾眼结构设计
zKLn!b#> 公差分析
]o-Fi$h!
纳米柱的严格分析
C"w,('~@kW 共振
光子晶格仿真
<rNtY , 3. 超表面微纳结构
4s9c#nVlu 超表面分光光栅设计
/b.$jnqL 设计和分析超透镜
D"L|"qJ 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
_N98 vf0o 4. 包含光栅的光学系统仿真
[#p&D~Du& 光栅衍射测量
n`]l^qE 结构光
照明的显微镜系统
L 5+J
^ 微结构晶圆检测系统
UL+E,= 泰伯效应
Bg-VCJI< Q&A
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