[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 oo sbf#V  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 A;VjMfoB  
苏州黉论教育咨询有限公司 ?0k(wiF  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 s*$Re)}S  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 rrBu6\D  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 Esh3cn4  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) S0?4}7`A  
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课程简介： $t.i)wg +  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 xE%1C6~C<  
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课程大纲： 0IU>KGJ-0s  
第一天 \z>Re$:  
1. 光栅结构建模 <-KHy`u  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 h&Thq52R  
 光栅的建模 )wkh  
2.  光栅仿真算法比较 bH+x `]{A  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） =*EIe z*.x  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） Fr{u=0 X  
3. 光栅严格分析实例 ($a ?zJr  
 闪耀光栅 Pp-\#WJ  
 光栅与偏振 ~<b/%l>h1  
 非傍轴衍射分束器分析 ]iu}5]?)  
4.  光栅设计与优化 (bEX"U-  
 倾斜光栅结构参数优化 5)X;q-  
 公差分析 BxR%\  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计  z.fh4p  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 IHqY/j  
Q&A 8vFt<k}G  
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第二天 3I!xa*u  
1. 二维光栅结构建模 jtqH3xfy  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） OU)~ 02|\  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 BQYj"Wi  
2. 二维光栅设计优化 huh-S ,M  
 抗反射蛾眼结构设计 "E`;8SZa  
 公差分析 kO3{2$S6  
 纳米柱的严格分析 rGb7p`J  
 共振光子晶格仿真 xs
<~[l  
3. 超表面微纳结构 @\-i3EhR  
 超表面分光光栅设计 zh5'oE&[yC  
 设计和分析超透镜 l5sBDiir%  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 ]3.Un
,F  
4. 包含光栅的光学系统仿真 RQ?T~ASs  
 光栅衍射测量 OO%<~H  
 结构光照明的显微镜系统  LW?Zd=  
 微结构晶圆检测系统 2+KOUd&jS  
 泰伯效应 ~ou1{NS  
Q&A