Ibbpy++d[ 时间地点 < 9 vS 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
~R$Ko(N 苏州黉论教育咨询有限公司
,iy;L_N 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
FL /395 <: 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
m|%L[h1 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
5{.g~3" 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
?%]?#4bkc UEb'b,O_9 课程简介:
_ft)e3Gf 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
?04$1n: s7(I 课程大纲:
(UGmbRf& 第一天
$&@etsW0/ 1. 光栅结构建模
)Z.M(P 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 .>;}GsN& 光栅的建模
>7Y6NAwY 2. 光栅仿真算法比较
t)62_nu 薄元近似法(Thin Element Approximation)
B|zVq=l~ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
6tDCaB 3. 光栅严格分析实例
mKh<M)Bz 闪耀光栅
'-?t^@ 光栅与偏振
|Ox!tvyr 非傍轴衍射分束器分析
`(dRb 4. 光栅设计与优化
}2;{}J 倾斜光栅结构参数优化
AY~~ a)V 公差分析
/`x)B(b 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
<M,A:u\qSQ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
j\^u_D Q&A
8ba*:sb WER\04%D\m 第二天
C\d5t4s 1. 二维光栅结构建模
|#rP~Nj) 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
EvJ"%:bp 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
Z9+xB"q2 2. 二维光栅设计优化
-g6C;<Y 抗反射蛾眼结构设计
1$^=M[v 公差分析
M,f|.p{,Y
纳米柱的严格分析
j1hx{P' 共振
光子晶格仿真
$S(q;Y
3. 超表面微纳结构
Ts~)0 超表面分光光栅设计
,2y" \_ 设计和分析超透镜
"v9i;Ba>+ 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
=nTNL .SX 4. 包含光栅的光学系统仿真
H>/LC* 8- 光栅衍射测量
~H+W[r} 结构光
照明的显微镜系统
A8by5qU 微结构晶圆检测系统
-1P*4H2a 泰伯效应
d mj T$a| Q&A
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