K\trT!I 时间地点 im&Nkk4n@ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
hNRN`\5Z 苏州黉论教育咨询有限公司
u]z87#4 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
/'l"Us},^! 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
Nd h 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
#iiXJnG 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
"!B\c9q Ylhy Z&a, 课程简介:
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光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
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G e~ZxDAd 课程大纲:
)z_5I (?& 第一天
3
,f3^A 1. 光栅结构建模
|V&E q>G 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 b[2 #t 光栅的建模
H[Q3M~_E 2. 光栅仿真算法比较
47=YP0r?>T 薄元近似法(Thin Element Approximation)
4c]=kb GW 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
XOoz.GSQ 3. 光栅严格分析实例
Ve ipM 闪耀光栅
,@]*Xgt= 光栅与偏振
i*)BFV_- 非傍轴衍射分束器分析
d6XdN 4. 光栅设计与优化
YD,<]q% 倾斜光栅结构参数优化
`uof\D<'] 公差分析
<dKHZ4 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
7NMy1'-q 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
s}<i[hY> Q&A
2w;Cw~<=d Y_FQB K U 第二天
v[\Z^pccgj 1. 二维光栅结构建模
emMk*l, 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
-7IRlP& 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
^Z+p_;J$p 2. 二维光栅设计优化
(-Qr.t_B` 抗反射蛾眼结构设计
FM"[:&> 公差分析
717OzrF}A?
纳米柱的严格分析
Se.qft?D%( 共振
光子晶格仿真
(,R\6 3. 超表面微纳结构
?BRZ){) 超表面分光光栅设计
.1f!w!ltVR 设计和分析超透镜
?P;=_~X 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
@ek8t2??x 4. 包含光栅的光学系统仿真
m>^vr7 光栅衍射测量
()ww9L2 结构光
照明的显微镜系统
pD]2.O 微结构晶圆检测系统
pN{XGkX. 泰伯效应
.umN>/o[ Q&A
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