[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 \UA[  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 L7l FtX+b  
苏州黉论教育咨询有限公司 n3WlZ!$  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 .7J#_*NV  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 %mW{n8W3{  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 !M(xG%M-V  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ~-k9%v`  
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课程简介： EAUEQk?9  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 x5pdS:  
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课程大纲： p:&8sO!m  
第一天 e1yt9@k,  
1. 光栅结构建模 *tA1az-jO  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 *
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 光栅的建模 O2V  
2.  光栅仿真算法比较 jRa43ck  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） #<fRE"v:Q  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） (g]!J_Z"  
3. 光栅严格分析实例 Xg6Jh``  
 闪耀光栅 G/E+L-N#`
 
 光栅与偏振 &C_j\7Dq  
 非傍轴衍射分束器分析 t9l
Pb_70  
4.  光栅设计与优化 U gat1Pz  
 倾斜光栅结构参数优化 \ #F  
 公差分析 hgG9m[?K  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 ic:zsuEm  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 ,)cM3nu  
Q&A b/K PaNv  
4
> K42m  
第二天 
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1. 二维光栅结构建模 `7E;VL^Y1  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） ,>a&"V^k  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 [(i  
2. 二维光栅设计优化 ]h`&&Bqt  
 抗反射蛾眼结构设计 kt#fMd$  
 公差分析 dFxIF;C>/  
 纳米柱的严格分析 >NV@
R&  
 共振光子晶格仿真 Oi.C(@^(  
3. 超表面微纳结构 ;?Tbnn Wn  
 超表面分光光栅设计 z_$%-6  
 设计和分析超透镜 d0!5j  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 ,_ H:J.ik  
4. 包含光栅的光学系统仿真 Qp5VP@t  
 光栅衍射测量 -m zIT4  
 结构光照明的显微镜系统 N{!i
=A  
 微结构晶圆检测系统 ,Fl)^Gl8?  
 泰伯效应 Wtd/=gmiI  
Q&A