vN0L(B 时间地点 yo?g"vbE 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
+2V%'{: 苏州黉论教育咨询有限公司
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N% 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
M=\d_O#;Z 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
9!O+Ryy?\ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
o}mhy`} 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
kol,Qs ,WO%L~db 课程简介:
VRd:2uDS 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
0i`v:Lq% >uyeI&z 课程大纲:
'{j\0 第一天
(EOec5qXU 1. 光栅结构建模
l${Hgn+ 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 de=5=>P7 光栅的建模
M 5T=Fj86 2. 光栅仿真算法比较
,<Grd5em. 薄元近似法(Thin Element Approximation)
Jm]]>K8.3V 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
(b`4&sQ< 3. 光栅严格分析实例
fz<|+(_>J 闪耀光栅
>%n8W>^^4 光栅与偏振
u:AfHZ 非傍轴衍射分束器分析
%67G]?EXB
4. 光栅设计与优化
[Q7->Wo|S: 倾斜光栅结构参数优化
@o4z3Q@ 公差分析
o7c%\v[ 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
B
c,"12 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
,yHzo Q&A
fR]p+\#8u* i_[
HcgT- 第二天
DJ1XNpm 1. 二维光栅结构建模
nJldz; 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
H7z>S G0 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
YZ"+c&V" 2. 二维光栅设计优化
@b::6n/u 抗反射蛾眼结构设计
-A~;MGY 公差分析
SQdzEF
纳米柱的严格分析
wc6
E-rB
共振
光子晶格仿真
7~!I2DV_ 3. 超表面微纳结构
zx\.2<K 超表面分光光栅设计
dT0^-XSY 设计和分析超透镜
eHVdZ'%x 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
g( ]b\rj 4. 包含光栅的光学系统仿真
p~Yy"Ec;p 光栅衍射测量
U,%s; 结构光
照明的显微镜系统
"fX_gN? 微结构晶圆检测系统
dAYI D E 泰伯效应
?VMi!-POE Q&A
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