[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

P~*fZ)\}F@  
时间地点 e'?(`yW>  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 GS^4tmc  
苏州黉论教育咨询有限公司 ~.Gk:M  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 P"#^i<ut@T  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 s-DtkO  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 F`N*{at  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) _8`|KY  
&KB{,:)?  
课程简介： ~& l`"  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 doa$ ;=wg  
}qg!U
m0  
课程大纲： lV1|\~?4  
第一天 93rE5eGs  
1. 光栅结构建模 $200?[  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 B
ZBsE :(F  
 光栅的建模 $ S49v  
2.  光栅仿真算法比较 ^m7PXY  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） )Qc$UI8L  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） o]j*  
3. 光栅严格分析实例 xWMMHIu  
 闪耀光栅 g=%&p?1@E  
 光栅与偏振 83n: h08  
 非傍轴衍射分束器分析 ?b0\[  
4.  光栅设计与优化 <vrx8Q*6  
 倾斜光栅结构参数优化 68SM br  
 公差分析 OwEz(pj@  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 MoA{ /{  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 VuY.})+J:  
Q&A Uwp +w  
q}!4b'z^  
第二天 pA2U+Q@  
1. 二维光栅结构建模 Dn[
1BWM/7  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） Dz{e@+>M  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 anvj{1  
2. 二维光栅设计优化 A_.QHUjpx  
 抗反射蛾眼结构设计 3%} Ma,  
 公差分析 >&VL2xLy  
 纳米柱的严格分析 V#~.Jg7  
 共振光子晶格仿真 7I|%GA_  
3. 超表面微纳结构 jz)H?UuDY  
 超表面分光光栅设计 DHAWUS6  
 设计和分析超透镜 TU/J]'))C  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 5c"kLq
6r  
4. 包含光栅的光学系统仿真 =%3nKSg  
 光栅衍射测量 @2mP  
 结构光照明的显微镜系统 5-OvPTY`M  
 微结构晶圆检测系统 cC4T3]4l'  
 泰伯效应 CytpL`&^]  
Q&A