[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 sXPe/fWo  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 26h21Z16q  
苏州黉论教育咨询有限公司 F)eelPZ+,  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 4kx N<]  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 FZnw0tMq  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 &^jXEz;  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) L!xi  
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课程简介： bk[!8-b/a  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 ;4\;mmLVk  
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课程大纲： (sZ"iGn%  
第一天 3Y$GsN4ln  
1. 光栅结构建模 O=7CMbS3  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 WpvhTX  
 光栅的建模 gB33?  
2.  光栅仿真算法比较 +ZP7{%  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） "w<#^d_6  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） W"{N Bi  
3. 光栅严格分析实例 BI@[\aRLQ  
 闪耀光栅 |FRg\#kf%  
 光栅与偏振 p!%pP}I  
 非傍轴衍射分束器分析 FS.L\MjV]U  
4.  光栅设计与优化 xAm6BB c  
 倾斜光栅结构参数优化 JxU5 fe  
 公差分析 VIf.q)_k  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 pA4xbr2  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 X:{!n({r=  
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第二天 ]ZS OM\}  
1. 二维光栅结构建模 jPkn[W# 6  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） \9EjClfo  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 >H,*H;6  
2. 二维光栅设计优化 GQ ;;bcj&  
 抗反射蛾眼结构设计 F!K>Kz  
 公差分析 |_U= z;Y  
 纳米柱的严格分析 u*9V&>o  
 共振光子晶格仿真 'J|_2*  
3. 超表面微纳结构 .=; ;  
 超表面分光光栅设计 !;'=iNOYR  
 设计和分析超透镜 N'=gep0
V@  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 \|[;Z"4l  
4. 包含光栅的光学系统仿真 #g!.T g'  
 光栅衍射测量 2X&qE}%k S  
 结构光照明的显微镜系统 _)-o1`*-  
 微结构晶圆检测系统 5!9zI+S|=`  
 泰伯效应 k9F=8q  
Q&A