[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 H)#HK!F6f  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 TQ-V61<5  
苏州黉论教育咨询有限公司 J$Huzs#  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 tCkKJ)m  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 w QV4[  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 *R
M?SE6;  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) `gI`Cq4  
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课程简介： }B-@lbK6)  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 EN OaC  
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课程大纲： y^M~zOe  
第一天 Gp}:U>V)  
1. 光栅结构建模 Z0fl]3p  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 /qf2LO'+  
 光栅的建模 4Ji6B)B  
2.  光栅仿真算法比较 `O:ecPD4M  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） ; E Nhy  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） SZGeF;N  
3. 光栅严格分析实例 [&IJy  
 闪耀光栅 '|v??`o#  
 光栅与偏振 |nfFI  
 非傍轴衍射分束器分析 A6?+$ Hr  
4.  光栅设计与优化 FlWgTn>  
 倾斜光栅结构参数优化 [&6VI?  
 公差分析 1M%'Xe7  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 RR*eq.;  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 )3
W`>7>  
Q&A D1Yc_  
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第二天 Eb9 eEa<W  
1. 二维光栅结构建模 %/b3G*$W  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） Ek0zFnb[Gx  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 b4l=Bg"  
2. 二维光栅设计优化 gBF2.{"^  
 抗反射蛾眼结构设计 $L~?!u&N  
 公差分析 i{#5=np H  
 纳米柱的严格分析 4Dd@&N  
 共振光子晶格仿真 =dVPx<l5  
3. 超表面微纳结构 c ilo8x`  
 超表面分光光栅设计 B%~hVpm,eM  
 设计和分析超透镜 4G:?U6  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 {8'f>YP  
4. 包含光栅的光学系统仿真 J(k\Pz*  
 光栅衍射测量 <ptskbu  
 结构光照明的显微镜系统 WFl, u!"A  
 微结构晶圆检测系统 C\~!2cy  
 泰伯效应 ;WF3w  
Q&A