[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 Y5ZZ3Ati  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 rgmF:C  
苏州黉论教育咨询有限公司 4k-+?L!/G  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 D,qu-k[jMI  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 3psU?8(  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 5NoI~X=  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) uVyGk~  
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课程简介： kHw_ S-  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。
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课程大纲： w@JKl5  
第一天 4lhw3,5  
1. 光栅结构建模 evkH05+;W  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 ]0hrRA`  
 光栅的建模 g<{xC_J  
2.  光栅仿真算法比较 $un?0S  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） )XcOl7XLN  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） NT@;N/I  
3. 光栅严格分析实例 iu&wO<)+?  
 闪耀光栅 !aO` AC=5u  
 光栅与偏振 (jU6GJRP  
 非傍轴衍射分束器分析 ;JZS^Wa  
4.  光栅设计与优化 U!U$x74D5  
 倾斜光栅结构参数优化 @2'Mt}R>  
 公差分析 q[`j`8YY!R  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 pvmC$n^zc  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 [
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Q&A Xp0F [>h  
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第二天 K2%w0ohC  
1. 二维光栅结构建模 g1t0l%_7^  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光）
y ]?V~%  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 ME'|saP  
2. 二维光栅设计优化 o sKKt?^?  
 抗反射蛾眼结构设计 ;2B{9{  
 公差分析 ^%O]P`$  
 纳米柱的严格分析 >jD[X5Y  
 共振光子晶格仿真 ,#pXpAz/  
3. 超表面微纳结构 }.s~T#v  
 超表面分光光栅设计 
E[Cb|E  
 设计和分析超透镜 Z+@2"%W  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 x?&$ci  
4. 包含光栅的光学系统仿真 xyI}y(CN1  
 光栅衍射测量 "etPT@gF  
 结构光照明的显微镜系统 O)vp~@|  
 微结构晶圆检测系统 w*R$o
 
 泰伯效应 _a1x\,R|DB  
Q&A