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摘要 |jaUVE_2[ F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ts%@1 Y?
建模任务 HH2*12e 系统构建块-扫描源 wI}5[m 系统构建块-透镜系统组件 n4ce)N@ 系统构建块-参数耦合 ALwkX"AN 系统构建块-畸变分析仪 v)+wr[Qs 通用探测器和探测器附加组件 M&y!w
总结-组件… |z|5j!Nfh 系统查看 ?Gj$$IAe
通过系统：三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 g V!Eotq 性能评估-光斑位置偏差 ^ ,b*.6t 性能评估-光斑直径测量 l8% x(N4 VirtualLab Fusion技术 QM9~O#rL
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