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摘要 {x-iBg9#l2 F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 'R{XqHP 建模任务 L,m'/}$ 系统构建块-扫描源 \e=Iw"yd 系统构建块-透镜系统组件 NB["U"1[^E 系统构建块-参数耦合 t7t?xk!2 系统构建块-畸变分析仪 FE0}V}\=h 通用探测器和探测器附加组件 .[@TC@W 总结-组件… R>r@I_ 系统查看 9i&(VzY[= 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 fku\O<1 性能评估-光斑位置偏差 )r9lT*z 性能评估-光斑直径测量 D.Q9fa&P VirtualLab Fusion技术 ="k9
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