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    [技术]VirtualLab Fusion应用：F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-05
    摘要 +Ram%"Zwh  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 4S,/Z{ J.  
    建模任务     0Ewt >~n  
    系统构建块-扫描源 vTYgWR,h  
    系统构建块-透镜系统组件 >U') ICD~  
    系统构建块-参数耦合 A/*h[N+2!  
    系统构建块-畸变分析仪 #.~lt8F  
    通用探测器和探测器附加组件 kX]p;C  
    总结-组件… Q02:qn?T  
    系统查看 ]7_O#MY1  
    通过系统：​三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。     9 kS;_(DB  
    性能评估-光斑位置偏差 jQ\/R~)O  
    性能评估-光斑直径测量 1"HSM =p  
    VirtualLab Fusion技术 3ocRq %%K  
     
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