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摘要 L|P5=/d F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 1i[\T 建模任务 ZOCDA2e(j 系统构建块-扫描源 CCBfKp 系统构建块-透镜系统组件 ?T9(Vw 系统构建块-参数耦合 J_x13EaV0 系统构建块-畸变分析仪 9l,a^@Y: 通用探测器和探测器附加组件 p2Zo 总结-组件… _8Kx6s% 系统查看 ;s`sn$@ 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 QnZcBXI8 性能评估-光斑位置偏差 MjlP+; ! 性能评估-光斑直径测量 @=}YTtq VirtualLab Fusion技术 )OiT{-m
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