摘要 I(M/ X/
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^iONC&r `t /j6 e] 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
gGP6"|tc4 1%_RXQVG 元件内部场分析仪：FMM $.D )Llcq 1@Jp3wW =DdPwr 0Op 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
g|Lbe4? #ZJ 1\Ov 评估模式的选择 ~u%$ 9IhM OJu>#
/xUF@%rT 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
[7}3k?42X mo^E8t. 评价区域的选择 AE:(:U\ 9D14/9*(dU 
<eXGtD #TNjQNg@O 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
XYvj3+ jSpj6:@B 不同光栅结构的场分布 y#a,d||N1 kn}^oR T 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
& pY ' DinZ Z -+[Lc_oNPx 光栅结构的采样 l<1zLA~G (m'-1wX. 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
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;h1hz^Wq QKjn/%l"@ 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
rf=l1GW ZV--d'YiEm 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
PPl o0R f$FO 1B) "_&ZRcd* 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） /W .s1N \d;)U4__! _]@u)$ 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
oaQW~R`_ 'dWUE- 输出数据的采样：二维周期光栅 I8! .n #M~yt`R~ 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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