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本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF,同时也会用到DIFF指令。 qrM{b= 首先,我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像质分析功能中选择PSF:
D?\"
镜头文件 请联系工作人员获取 vSYunI
nv_m!JG7 此刻可以看到相关的衍射强度图。 XC7Ty'#"KX
m|nL!Wc 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令,类似于一个点扩散函数,例如,我们要检查10以内的艾里斑直径,这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 8tT&BmT
oieQ2>lYh 得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令, \~z?PA.$ 保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。 <i:*p1#Bm
宏文件 请联系工作人员获取 *@ <8&M9x #!8^!}nFO z,}c?BP 接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图: x ^M5D+o
AT%*
~tr 可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样,同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入:并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’,宏文件 请联系工作人员获取 c#\ah}]Vo ]5o0 H IPcZ!p 可以得到这样一张衍射强度图,如图所示艾里衍射环很明显。 .y %pGi
;<bj{#mMv 在DIFF中加入log可以查看衍射强度的对数图,并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’宏文件 请联系工作人员获取 JK(`6qB>(6
y"|K
|QT 然后可以得到这样一张衍射强度图,如下图所示,远离中心的微弱条纹显示出一个低价纹波,这是一个环隙宽度孔径的艾里斑衍射大小的函数。 >}dTO/
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