-
UID:314628
-
- 注册时间2019-04-29
- 最后登录2025-12-22
- 在线时间1065小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF,同时也会用到DIFF指令。 o 9/,@Ri\5 首先,我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像质分析功能中选择PSF: <\O8D0.d
镜头文件 请联系工作人员获取 JbS[(+o
;1{=t!z= 此刻可以看到相关的衍射强度图。 5J|S6x\
-!\%##r7~ 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令,类似于一个点扩散函数,例如,我们要检查10以内的艾里斑直径,这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 ]Y!Fz<-;P
l U4 I* 得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令, nqo1+OR 保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。 _q4O2Fx0
宏文件 请联系工作人员获取 #+V4<o 9H/R@i[E |iX>hJSl 接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图: Wf"GA i
_$5DK%M} 可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样,同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入:并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’,宏文件 请联系工作人员获取 cz/cY:o) C.ji]P# 7pQ5`;P 可以得到这样一张衍射强度图,如图所示艾里衍射环很明显。 ,Xfu?Yan
(a8iCci: 在DIFF中加入log可以查看衍射强度的对数图,并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’宏文件 请联系工作人员获取 Z`MpH
{wj%WSQj/y 然后可以得到这样一张衍射强度图,如下图所示,远离中心的微弱条纹显示出一个低价纹波,这是一个环隙宽度孔径的艾里斑衍射大小的函数。 <tZZ]Y]
|