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本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF，同时也会用到DIFF指令。 MrXmX[1- 首先，我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’，在像质分析功能中选择PSF： nf#;]FijB
镜头文件 请联系工作人员获取 +T]/4"^M
RsnK B / 此刻可以看到相关的衍射强度图。 38<!Dt+S(,
M<h2+0(il 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢？它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令，类似于一个点扩散函数，例如，我们要检查10以内的艾里斑直径，这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件：‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 3>60_:+Zb
;2Aqztp 得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令， [D/q
保存为：‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。
bT(} =j
宏文件 请联系工作人员获取 ~z;G$jd WdQR^'b$ n*twuB/P 1 接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图： x-0O3IIE
fpd 4 v|( 可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样，同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入：并保存为：‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’，宏文件 请联系工作人员获取 ] 70V TVy\% FP^L Tj0qq . 可以得到这样一张衍射强度图，如图所示艾里衍射环很明显。 < cNJrer
| ]#PF* 在DIFF中加入log可以查看衍射强度的对数图，并保存为：‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’宏文件 请联系工作人员获取 : SBB3G)|
6 ZvGD}/ 然后可以得到这样一张衍射强度图，如下图所示，远离中心的微弱条纹显示出一个低价纹波，这是一个环隙宽度孔径的艾里斑衍射大小的函数。 FU ]jI[
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