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本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF，同时也会用到DIFF指令。 `K5*Fj x 首先，我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’，在像质分析功能中选择PSF： 4zS0kk;+
镜头文件 请联系工作人员获取 YyxU/UnhG
cg3}33Z;6 此刻可以看到相关的衍射强度图。 l[:Aq&[o3
$4xSI"+M% 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢？它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令，类似于一个点扩散函数，例如，我们要检查10以内的艾里斑直径，这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件：‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 -ym DRoi
"&k(lQ4 得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令， seEo)m`d 保存为：‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。 MBg[ h u%
宏文件 请联系工作人员获取 <7Pp98si,u ~>(~2083*; ISNL ='% 接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图： T#-;>@a}
^C'0Y.H S 可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样，同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入：并保存为：‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’，宏文件 请联系工作人员获取 KL=<s#
4{F1GW o p9dYjG7 可以得到这样一张衍射强度图，如图所示艾里衍射环很明显。 K2 M=)B
*KvD$(n y 在DIFF中加入log可以查看衍射强度的对数图，并保存为：‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’宏文件 请联系工作人员获取 5_'lu
?yS1|CF%&y 然后可以得到这样一张衍射强度图，如下图所示，远离中心的微弱条纹显示出一个低价纹波，这是一个环隙宽度孔径的艾里斑衍射大小的函数。 q5R|
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