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本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF,同时也会用到DIFF指令。 de9e7.(2 首先,我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像质分析功能中选择PSF: 2uT@jfj:r
镜头文件 请联系工作人员获取 pxI[/vS
N
g*-}9~ 此刻可以看到相关的衍射强度图。 g W?Hd/
=eR#]d 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令,类似于一个点扩散函数,例如,我们要检查10以内的艾里斑直径,这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 7H4\AG\>
<O41M\, 得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令, t]{, 7.S 保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。 gk}.LE
宏文件 请联系工作人员获取 pf#R] K#N5S]2yb "HLh3L~ 接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图: P@<K&S+f
ti<;>P[4 可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样,同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入:并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’,宏文件 请联系工作人员获取 {)4@rM PKev)M;C+ ?i\$U'2*z3 可以得到这样一张衍射强度图,如图所示艾里衍射环很明显。 {;38& |