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    [分享]如何查看光学系统的衍射强度 | SYNOPSYS光学设计软件课程第93课 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-12-23
    本文主要讲如何查看光学系统衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF,同时也会用到DIFF指令。 :P'5_YSi  
    首先,我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像质分析功能中选择PSF:
    P l ,M>IQ  
    镜头文件
    请联系工作人员获取
    "lMWSCas  
    @g?z>n n  
    此刻可以看到相关的衍射强度图。
    h<jIg$rA  
    p[I gnO  
    那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令,类似于一个点扩散函数,例如,我们要检查10以内的艾里斑直径,这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。
    P=g+6-1  
    R'_[RHFC  
    得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令, 3KZ h?~B  
    保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。
    Cr"hu;  
    宏文件
    请联系工作人员获取
    z(` kWF1<  
    R2gax;  
    z5zm,Jw  
    接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图:
    b ;b1 V  
    *0tNun 5=3  
    可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样,同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入:并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’,
    宏文件
    请联系工作人员获取
    (["u"m%  
    :\XD.n-n  
    :2+:(^l  
    可以得到这样一张衍射强度图,如图所示艾里衍射环很明显。
    ""=Vt]  
    q9>w3 <  
    在DIFF中加入log可以查看衍射强度的对数图,并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’
    宏文件
    请联系工作人员获取
    A1@a:P=  
    4O'ho0w7  
    然后可以得到这样一张衍射强度图,如下图所示,远离中心的微弱条纹显示出一个低价纹波,这是一个环隙宽度孔径的艾里斑衍射大小的函数。
    e!y t<[ph  
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