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    [求助]银内反膜，保护膜一拉就脱落，怎么回事？ [复制链接]

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    离线songyanxia
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-12-07
    膜系结构:氧化铝+银+氧化铝（不带源）+氧化铝（带源）+氧化硅（带源）。现在镀下来，用胶带拉，保护膜会脱落。请教各位有什么办法解决。
     
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    离线shenhan0701
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    只看该作者 1楼 发表于: 2024-12-09
    镀前有开离子源打一下基板吗？
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    离线songyanxia
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    只看该作者 2楼 发表于: 2024-12-09
    回 shenhan0701 的帖子
    shenhan0701:镀前有开离子源打一下基板吗？ (2024-12-09 10:51)  UH1AT#?!W  
    #(C2KRRiA  
    有的，预处理。现在是银膜层没问题，他外面的保护膜一拉就会掉。
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    离线蔡沛峰
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    只看该作者 3楼 发表于: 2024-12-16
    内侧结合力的问题，为什么不在内侧用IBS
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    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2024-12-18
    感觉还是工艺问题。你的离子源可以用氩吗？速率和温度是多少？适当调整离子源或者温度看下会不会缓解。
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    离线coldking
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    只看该作者 5楼 发表于: 01-21
    材料不夠黏 ab8uY.j  
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    离线度魔银
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 03-14
    膜系结构:带源镀氧化铝+银+氧化铝（不带源）+氧化硅（带源）。试试
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