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+kKfx! 内容简介 \f_YJit Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 4#m"t?6! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1[vmK,N=E 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 3yu{Q z5y, T7=~l)I 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 XZe ZqBr 目录 w|>O!]K] Preface 1 ?qt>;o|Ue 内容简介 2 4W9#z~' 目录 i gs_nUgcA 1 引言 1 u;Q'xuo3 2 光学薄膜基础 2 X,<n|zp 2.1 一般规则 2 ^\uj&K6l 2.2 正交入射规则 3 8*^Q#;^~99 2.3 斜入射规则 6 H}QOoXWkg 2.4 精确计算 7 L;0ZB=3n 2.5 相干性 8
Z\d7dbv 2.6 参考文献 10 8ctUK| 3 Essential Macleod的快速预览 10 DM%4V|F" 4 Essential Macleod的特点 32 nkp!kqJ09 4.1 容量和局限性 33 L+PrV y 4.2 程序在哪里? 33 GyOo$FW 4.3 数据文件 35 =M'y& iz- 4.4 设计规则 35 lk6*?EJ 4.5 材料数据库和资料库 37 <=*xwI&q 4.5.1材料损失 38 Y,kTk 4.5.1材料数据库和导入材料 39 AopCxaJ` 4.5.2 材料库 41 H|H!VPof] 4.5.3导出材料数据 43 eM*@zo<- 4.6 常用单位 43 4w:_4qyb 4.7 插值和外推法 46 eXI ^9uH 4.8 材料数据的平滑 50 uJ4RjLM` 4.9 更多光学常数模型 54 R)"Y40nW 4.10 文档的一般编辑规则 55 A`4j=OF\ 4.11 撤销和重做 56 Z;aQ/n[` 4.12 设计文档 57 =3J&UQL 4.10.1 公式 58 c_]$UM[7L 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^<R*7mB* 4.10.3 沉积密度 59 33_YZOy^j 4.10.4 平行和楔形介质 60 '~ 3a(1@8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ki#O ^vl 4.10.4 性能 61 m?G}%u 4.10.5 保存设计和性能 64 9qe6hF/29 4.10.6 默认设计 64 HPAd@5d( 4.11 图表 64 =~% B}T 4.11.1 合并曲线图 67 ;6I{7[ 4.11.2 自适应绘制 68 >8~+[e 4.11.3 动态绘图 68 m-lUgx7 4.11.4 3D绘图 69 a3L]'E'*# 4.12 导入和导出 73 "PBUyh-Z 4.12.1 剪贴板 73 !Re/W
ykY 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 l|`%FB^ k 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^IuHc_ 4.13 背景 77 \.A~>=: 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _gK@),de 4.15 生成Rugate 84 M=$y_9# 4.16 参考文献 91 @4m_\]Wy 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 B&_ 62` 5.1 Jobs 92 .9WJ/RKZ\D 5.2 创建一个新Job(工作) 93 d{@X-4k: 5.3 输入材料 94 wh:O"&qk 5.4 设计数据文件夹 95
>b#z
o, 5.5 默认设计 95 dZm>LVjG 6 细化和合成 97 W$@q
~/E 6.1 优化介绍 97 A+3@N99HeH 6.2 细化 (Refinement) 98 I.j`h2 6.3 合成 (Synthesis) 100 |<\LB 6.4 目标和评价函数 101 \BaN?u)a 6.4.1 目标输入 102 @c{=:kg5 6.4.2 目标 103 *TA${$K 6.4.3 特殊的评价函数 104 NjVuwIm+ 6.5 层锁定和连接 104 %O;"Z`I 6.6 细化技术 104 Zgo^M,g 6.6.1 单纯形 105 SC`.VCfc. 6.6.1.1 单纯形参数 106 mCe,(/>l+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 LWc}j`Wd 6.6.2.1 Optimac参数 108 b#R3=TQS8 6.6.3 模拟退火算法 109 S5E mLgnRs 6.6.3.1 模拟退火参数 109 l}%!&V0 6.6.4 共轭梯度 111 'i_od|19~h 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 /] ce?PPC 6.6.5 拟牛顿法 112 Qv,|*bf 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =M)>w4- 6.6.6 针合成 113 +/7UM x1 6.6.6.1 针合成参数 114 `h(JD$w 6.6.7 差分进化 114 `!DrB08A 6.6.8非局部细化 115 x`w
4LF 6.6.8.1非局部细化参数 115 [[QrGJr 6.7 我应该使用哪种技术? 116 X^#48*"a 6.7.1 细化 116 eb2~$ ,$ 6.7.2 合成 117 ;14[)t$ 6.8 参考文献 117 4s~YqP{K 7 导纳图及其他工具 118 oL#^=vid" 7.1 简介 118 4QdY"s(n 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 s
d>&6R^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 JJ q= {; 7.2.2 导纳图 120 49~5U+x; 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 O82T| 0uw 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 TS)p2# 7.5 斜入射导纳图 141 _(3VzI'G 7.6 对称周期 141 /}r%DND' 7.7 参考文献 142 *nluK 8 典型的镀膜实例 143 |Rw0$he 8.1 单层抗反射薄膜 145 :^71,An >E 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Z&@X4X"q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .GM&]Hb 8.4 W-膜层 148 :S0r)CNP 8.5 V-膜层 149 bS<lB! 8.6 V-膜层高折射基底 150
$.(%7[ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <g5Btwo% 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 tfvX0J 8.9 四层抗反射薄膜 153 Byyus[b'A 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ej4 7'#EY 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 b-ULoV 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 o8BbSZVu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 !v<r=u 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Zaf] .R 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @a)@1:=Rm 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 [Oe$E5qv)] 8.17 1/4波长堆栈 162 J2Ocf&y; 8.18 陷波滤波器 163 C[gCwDwl 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 !]&a/$U 8.20 褶皱 165 +|).dm 8.21 消偏振分光器1 169 Xz4!#,z/ 8.22 消偏振分光器2 171 4Z"DF)+} 8.23 消偏振立体分光器 172 j?29_Az 8.24 消偏振截止滤光片 173 mm'n#%\G 8.25 立体偏振分束器1 174 u1/4WYJeJ 8.26 立方偏振分束器2 177 oU% rP 8.27 相位延迟器 178 1Z6<W~,1OM 8.28 红外截止器 179 v$s3f|Y 8.29 21层长波带通滤波器 180 !>Db 8.30 49层长波带通滤波器 181 wo$9$~( 8.31 55层短波带通滤波器 182 :" g^y6i 8.32 47 红外截止器 183 [MdVgJ9' 8.33 宽带通滤波器 184 <s2IC_f<+ 8.34 诱导透射滤波器 186 vXLiYWo 8.35 诱导透射滤波器2 188 |3/=dG 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ~dC)EG 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 {*ATY+ 8.35 增益平坦滤波器 193 SN(:\|f
2 8.38 啁啾反射镜 1 196
ZK1d3 8.39 啁啾反射镜2 198 EA|*|o4) 8.40 啁啾反射镜3 199 HhhN8t 8.41 带保护层的铝膜层 200 '}e_8FS 8.42 增加铝反射率膜 201 q6f+tdg= 8.43 参考文献 202 Mg W0
). 9 多层膜 204 z4b2t} 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 O;9u1,%w 9.2 内部透过率 204 d^mw&F)S 9.3 内部透射率数据 205 ;"-(QE?Mv 9.4 实例 206 f)l:^/WP+ 9.5 实例2 210 UX;?~X 9.6 圆锥和带宽计算 212 x5YW6R.<t 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 d
}=fJ 10 光学薄膜的颜色 216 __teh>MC 10.1 导言 216 O
$'#8 10.2 色彩 216 XxcY 10.3 主波长和纯度 220 vP`Sz}FU 10.4 色相和纯度 221 %%)"W
n#` 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~ P"@^cq 10.6 色差 226 f5"1WtB 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ^90';ACFy 10.8 颜色渲染指数 234 \ ,ARYwd 10.9 色差计算 235 ^[,Q2MHCT( 10.10 参考文献 236 :f
G5?]) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 _t||v 11.1 短脉冲 238 =,$*-<p=3 11.2 群速度 239 Gole7I 11.3 群速度色散 241 Bha#=>4FU 11.4 啁啾(chirped) 245 V
zuW]" 11.5 光学薄膜—相变 245 Y#S<:,/sb? 11.6 群延迟和延迟色散 246 ;{EIx*<d 11.7 色度色散 246 2-728 11.8 色散补偿 249 8=CdO|XV 11.9 空间光线偏移 256 r/}q=J. 11.10 参考文献 258 aUa.!,_dh 12 公差与误差 260 ug{@rt/"Z 12.1 蒙特卡罗模型 260 *`Swv` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 /2l&D~d" 12.2.1 误差工具 267 -0r0M) 12.2.2 灵敏度工具 271 h/ 5|3 12.2.2.1 独立灵敏度 271 nNz1gV:0X 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ^MIF+/bQ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 cWjb149@) 12.3 参考文献 276 7rQwn2XD{ 13 Runsheet 与Simulator 277 =!)Ye:\Q 13.1 原理介绍 277 k>E^FB= 13.2 截止滤光片设计 277 a?jUm. 14 光学常数提取 289 YbtsJ
<w 14.1 介绍 289 :dq.@:+<R 14.2 电介质薄膜 289 9uR+ 14.3 n 和k 的提取工具 295 waI?X2 14.4 基底的参数提取 302 g%Bh-O9\ 14.5 金属的参数提取 306 Wip@MGtJ 14.6 不正确的模型 306 ?lq 14.7 参考文献 311 B|pO2de 15 反演工程 313 #(swVo:+E 15.1 随机性和系统性 313 ze2%#< 15.2 常见的系统性问题 314 0t*e#,y 15.3 单层膜 314 |y9(qcKn$ 15.4 多层膜 314 m%m<-.'- 15.5 含义 319 xfoQx_]$Im 15.6 反演工程实例 319 9$[6\jMh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Ak3cE_*Y/ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 _PT5 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9d&@;&al 16.1 光学性质的热致偏移 329 YBh|\ 16.2 应力工具 335 aItQ(+y 16.3 均匀性误差 339 '
`
_TFTO 16.3.1 圆锥工具 339
hr$Wt?B 16.3.2 波前问题 341 3LGX ^J<f 16.4 参考文献 343 Drm#z05i[g 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 /2^"c+/'p 17.1 引言 345 !LI6_Oq 17.2 操作数 345 r$[`A_ 18 如何在Function中编写脚本 351 '41'Gn 18.1 简介 351 aeZ$Wu>]W 18.2 什么是脚本? 351 S[ch/ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 M~%P1@% 18.4 基础 352 _%g L 18.4.1 Classes(类别) 352 r{>Q{$Q 18.4.2 对象 352 H9;0$Y(e- 18.4.3 信息(Messages) 352 i;Dj16h 18.4.4 属性 352 Z8C~o)n9 18.4.5 方法 353 }NjZfBQW` 18.4.6 变量声明 353 ]K?;XA3 dZ 18.5 创建对象 354 %xt;&HE 18.5.1 创建对象函数 355 :HW| mqKd 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ES-V'[+jDy 18.5.3 丢弃对象 356 "@z X{^: 18.5.4 总结 356 >$$z 6A[ 18.6 脚本中的表格 357 /< k&[ 18.6.1 方法1 357 cwuzi;f 18.6.2 方法2 357 o6tPQ (Vi 18.7 2D Plots in Scripts 358 6ChFsteGFr 18.8 3D Plots in Scripts 359 U$yy7}g 18.9 注释 360 8Y4mTW 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 R
+
~b@ 18.11 一个更高级的脚本 362 M"Dv-#f 18.12 <esc>键 364 LBxmozT 18.13 包含文件 365 !"2S'oQKS 18.14 脚本被优化调用 366 .n n&K}h 18.15 脚本中的对话框 368 \sMe2OL#z 18.15.1 介绍 368 apOXcZ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 acrR 18.15.3 输入框函数 370 X [<%T}s# 18.15.4 自定义对话框 371 6k_Uq.<X 18.15.5 对话框编辑器 371 3Ccy %; 18.15.6 控制对话框 377 kmUL^vF 18.15.7 更高级的对话框 380 [rkw k\m* 18.16 Types语句 384 X+1Mv 18.17 打开文件 385 NSa6\.W) 18.18 Bags 387 fB80&G9 18.13 进一步研究 388 V&*|%,q 19 vStack 389 {J1iheuS} 19.1 vStack基本原理 389 W#)X@TlE 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 e2e!"kEF 19.3 五棱镜 393 G9^xv 19.4 光束距离 396 IRGcE&m 19.5 误差 399 :8K}e]!c1 19.6 二向分色棱镜 399 y8_$YA/g 19.7 偏振泄漏 404 \TZSn1isZX 19.8 波前误差—相位 405 @9eN\b%I^H 19.9 其它计算参数 405 2x>7>;> 20 报表生成器 406 U9ZuD40\ 20.1 入门 406 M8Vc5 20.2 指令(Instructions) 406 6Df*wi!jI 20.3 页面布局指令 406 k".kbwcaF 20.4 常见的参数图和三维图 407 @@j:z;^| 20.5 表格中的常见参数 408 Xp] jF^5 20.6 迭代指令 408 nY7gST 20.7 报表模版 408 QChncIqc 20.8 开始设计一个报表模版 409 Y[l<fbh(} 21 一个新的project 413 qu1+.z=| 21.1 创建一个新Job 414 Nm
!~h|3 21.2 默认设计 415 &|j0GP& 21.3 薄膜设计 416 $ay!'MK0d 21.4 误差的灵敏度计算 420 s`ZP2"`f 21.5 显色指数计算 422 [UXN=
76N 21.6 电场分布 424 w3ATsIw 后记 426 U?an\rv 此书含有一个案例库,也可以申请软件免费试用,有兴趣扫码加微联系 GeDI\- ; PncJe5x {G0=A~
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