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}pk#!N 内容简介 *19ax&|*S Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 nJRS.xs 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 6Ao%>;e* 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 O20M[_S 6{[pou& 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 X1IeSMAe 目录 'Y$R~e^Y? Preface 1 9_\'LJ 内容简介 2 _,;j7%j 目录 i
:Ih|en^w 1 引言 1 A^ _a3$,0 2 光学薄膜基础 2 ,D\GGRw 2.1 一般规则 2 %}86D[PF 2.2 正交入射规则 3 M3p 2.3 斜入射规则 6 =X?\MVWB 2.4 精确计算 7 SVjl~U-^ 2.5 相干性 8 HL/bS/KX 2.6 参考文献 10 ;})5:\h 3 Essential Macleod的快速预览 10 2([2Pb3<" 4 Essential Macleod的特点 32 Cv$
SJc 4.1 容量和局限性 33 TI9UXa:V\ 4.2 程序在哪里? 33 Auy_K?he] 4.3 数据文件 35 h8\
T 4.4 设计规则 35 [Q\GxX. 4.5 材料数据库和资料库 37 H$af/^ 4.5.1材料损失 38 n~g)I& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 0Io'bF 4.5.2 材料库 41 U yw-2]!n 4.5.3导出材料数据 43 '(f/~"9B 4.6 常用单位 43 k3+e;[My+ 4.7 插值和外推法 46 IHgeQ F
~ 4.8 材料数据的平滑 50 ^xf<nNF:p 4.9 更多光学常数模型 54 }M1sksk5 4.10 文档的一般编辑规则 55 fzjU<?} 4.11 撤销和重做 56 7W6cM%_B 4.12 设计文档 57 9}B`uJ 4.10.1 公式 58 b 1&i# I?{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 i,13b
e 4.10.3 沉积密度 59 &a/__c/l 4.10.4 平行和楔形介质 60 [D5t{[i 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 "Jjs"7 4.10.4 性能 61 sC[yI Up 4.10.5 保存设计和性能 64 3E
f1bhi 4.10.6 默认设计 64 &z"krM]G 4.11 图表 64 bYz&P`o} 4.11.1 合并曲线图 67 CG'.:`t 4.11.2 自适应绘制 68 d:G]1k;z 4.11.3 动态绘图 68 AxxJk"v'y 4.11.4 3D绘图 69 D>Gt]s 4.12 导入和导出 73 \A`hj~ 4.12.1 剪贴板 73 ExHKw~y9
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .I}:m%zv 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 sH[
-W- 4.13 背景 77 _C\[DR0n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /6O??6g 4.15 生成Rugate 84 kE
TT4U 4.16 参考文献 91 `OymAyEYQ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 i(?,6)9 5.1 Jobs 92 ]|_\xO( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 CF|]e: 5.3 输入材料 94 tNVV)C 5.4 设计数据文件夹 95 zrVC8Wb 5.5 默认设计 95 i&8FBV- 6 细化和合成 97 T0)"1D<l 6.1 优化介绍 97 y2O4I'/5< 6.2 细化 (Refinement) 98 |*RYq2y 6.3 合成 (Synthesis) 100 p;?*}xa 6.4 目标和评价函数 101 3:%QB9qc]' 6.4.1 目标输入 102 LQnkcV 6.4.2 目标 103 bqanFQj 6.4.3 特殊的评价函数 104 #d{=\$= 6.5 层锁定和连接 104 iqnJ~g 6.6 细化技术 104 %AOIKK5 6.6.1 单纯形 105 ]nhr+;of/- 6.6.1.1 单纯形参数 106 K
~ 44i 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 VL9-NfeqR 6.6.2.1 Optimac参数 108 lyCW=nc 6.6.3 模拟退火算法 109 `>DP,D)w( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 @pGZLq 6.6.4 共轭梯度 111 D@EO=08<b 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 #k3t3az2{ 6.6.5 拟牛顿法 112 .oEmU+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ]]}tdn _ 6.6.6 针合成 113 /ug8]Lo0 6.6.6.1 针合成参数 114 uS&|"*pR 6.6.7 差分进化 114 }FF W|f 6.6.8非局部细化 115 B=
keBO](@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 2cu#lMq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ;M]C1!D9# 6.7.1 细化 116 `RMI(zI3g. 6.7.2 合成 117 >r &;3:" 6.8 参考文献 117 vaf&X]p 7 导纳图及其他工具 118 iVB^,KQ@ 7.1 简介 118 UZ8?[ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 0iCPi)B 7.2.1 四分之一波长规则 119 ( *G\g=D 7.2.2 导纳图 120 K.gEj*@ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 *%Qn{x 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n6F/Ac: 7.5 斜入射导纳图 141 C1T_9}L-A 7.6 对称周期 141 !~_zm*CqbZ 7.7 参考文献 142 }0,>2TTDN 8 典型的镀膜实例 143 uH3D{4 8.1 单层抗反射薄膜 145 3cj3u4y 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 $ _8g8r} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 {;2i.m1 8.4 W-膜层 148 %iJ%{{f` 8.5 V-膜层 149 H7i$xWs 8.6 V-膜层高折射基底 150 MJj4Hd 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %7Kooq(i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >]'yK!a? 8.9 四层抗反射薄膜 153 `"vZ);i< 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 }U@m*dEG 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 9>/wUQs!] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 wwKh CmH 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 S{',QO*D6 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 G
;?qWB, 8.15十五层宽带抗反射膜 159 l0*Gb 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 N__H*yP 8.17 1/4波长堆栈 162 NGYyn`Lx 8.18 陷波滤波器 163 7dihVvL
$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 \EbbkN:D 8.20 褶皱 165 F2(q>#<_ 8.21 消偏振分光器1 169 ^s\3/z>b4! 8.22 消偏振分光器2 171 3#wcKv%>&_ 8.23 消偏振立体分光器 172 DOm[*1@^ 8.24 消偏振截止滤光片 173 _eLWQ|6Fx 8.25 立体偏振分束器1 174 QD{:vG
g 8.26 立方偏振分束器2 177 4VN aq<8 8.27 相位延迟器 178 3`9{T> 8.28 红外截止器 179 Do?P<x o 8.29 21层长波带通滤波器 180 xChI,~i 8.30 49层长波带通滤波器 181 QbYc[8-[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 F{k+7Ftc 8.32 47 红外截止器 183 h%d^Gq~ 8.33 宽带通滤波器 184 i5hD# 8.34 诱导透射滤波器 186 ^SEdA=! 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~
aZedQc 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <<MjC5 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 UVf\2\ Y 8.35 增益平坦滤波器 193 kfC0zd+ 8.38 啁啾反射镜 1 196 p]W+eT 8.39 啁啾反射镜2 198 n)8Yj/5 8.40 啁啾反射镜3 199 6FfOH<\z6i 8.41 带保护层的铝膜层 200 ETv9k g 8.42 增加铝反射率膜 201 zIQzmvf 8.43 参考文献 202 v4?iOD 9 多层膜 204 (.K\Jg'Y6j 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 F-n"^.7 9.2 内部透过率 204 %Xh fXd' 9.3 内部透射率数据 205 'p)Q68;& 9.4 实例 206 ]/]ju$l9Z 9.5 实例2 210 )J/HkOj"V 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;mm!0]V 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 a7H0!9^h 10 光学薄膜的颜色 216 Iyk6=&?j 10.1 导言 216 fF?6j 10.2 色彩 216 \hk/1/siyF 10.3 主波长和纯度 220 `ZHP1uQ< 10.4 色相和纯度 221 &ju- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ^<V9'Ut 10.6 色差 226 U+]Jw\\l
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 8?TKN~ja 10.8 颜色渲染指数 234 J$uM 03 10.9 色差计算 235 Dxx;v .$ 10.10 参考文献 236 <2Y0{
8) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 7u11&(Lz 11.1 短脉冲 238 s(@h 2:j 11.2 群速度 239 #Olg(:\ 11.3 群速度色散 241 ,-*iCs< 11.4 啁啾(chirped) 245 -$Y8!5 4 11.5 光学薄膜—相变 245 4yV].2#rl" 11.6 群延迟和延迟色散 246 (;o*eFC F 11.7 色度色散 246 &TN2 HZ-bJ 11.8 色散补偿 249 4~?2wvz G4 11.9 空间光线偏移 256 )@QJ 11.10 参考文献 258 4-4?IwS 12 公差与误差 260 ;'kI/(;;C 12.1 蒙特卡罗模型 260 kM*T$JqN 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Vk<k +=7 12.2.1 误差工具 267 dBEIMn@ 12.2.2 灵敏度工具 271 c c G['7 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Zy$L rr! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 c;!g 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 P@ypk^v 12.3 参考文献 276 i&ts YnP2 13 Runsheet 与Simulator 277 y,C!9l 13.1 原理介绍 277 9{J?HFw*; 13.2 截止滤光片设计 277 Cyk s 14 光学常数提取 289 8Pmwzpk02 14.1 介绍 289 N_' +B+U? 14.2 电介质薄膜 289 #qL9{P<} 14.3 n 和k 的提取工具 295 e9@(/+ 14.4 基底的参数提取 302 lJ/6-dP 14.5 金属的参数提取 306 l:e9y $_) 14.6 不正确的模型 306 XCPb9<L 14.7 参考文献 311 A!HK~yk~Q 15 反演工程 313 G\rj?% 15.1 随机性和系统性 313 ofCVbn 15.2 常见的系统性问题 314 -q2MrJ* 15.3 单层膜 314 c8Pb 15.4 多层膜 314 w!,QxrOV~ 15.5 含义 319 v&0d$@6/U 15.6 反演工程实例 319 B3b,F # 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #tz8{o?ebN 15.6.2 反演工程提取折射率 327 qzdaN5 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 fGO*%) 16.1 光学性质的热致偏移 329 E`E'<"{Yd 16.2 应力工具 335 70`M,`` 16.3 均匀性误差 339 cIZc:
16.3.1 圆锥工具 339 gduxA/aT 16.3.2 波前问题 341 ,VG9)K1K 16.4 参考文献 343 HYIRcY 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 9eSRCLhgD 17.1 引言 345 *,jqE9:O
17.2 操作数 345 }u^:MI 18 如何在Function中编写脚本 351 g~R/3cm4 18.1 简介 351 )
hdgz$cl 18.2 什么是脚本? 351 @a;sV!S{ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Vu|dV\N0* 18.4 基础 352 '5WN,Vy8. 18.4.1 Classes(类别) 352 !$E~\uT 18.4.2 对象 352 'Kd7l}e! 18.4.3 信息(Messages) 352 32KR--mn% 18.4.4 属性 352 .CmL7
5 18.4.5 方法 353 _W+Q3Jx-( 18.4.6 变量声明 353 d<Dn9,G 18.5 创建对象 354 lm &^tjx 18.5.1 创建对象函数 355 1}DerX 6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 MgP{W=h2 18.5.3 丢弃对象 356 2mOfsn d@ 18.5.4 总结 356 PdjCv+R6? 18.6 脚本中的表格 357 ORtg>az\% 18.6.1 方法1 357 U,ELqi \ 18.6.2 方法2 357 3GINv3_ 18.7 2D Plots in Scripts 358 6=BZ~ed 18.8 3D Plots in Scripts 359 uE"2kn 18.9 注释 360 e5qvyUJM 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 5:_~mlfi 18.11 一个更高级的脚本 362
~FNPD'`t 18.12 <esc>键 364 g\j>qUjs%Q 18.13 包含文件 365 o3= .T+B 18.14 脚本被优化调用 366 <[FS%2,0mb 18.15 脚本中的对话框 368 u=l0f6W 18.15.1 介绍 368 -_w~JCx 18.15.2 消息框-MsgBox 368 69OET_AS> 18.15.3 输入框函数 370 rJp?d9B 18.15.4 自定义对话框 371 :%>oe> _" 18.15.5 对话框编辑器 371 5D-BIPn=JV 18.15.6 控制对话框 377 >+f'!*%7He 18.15.7 更高级的对话框 380 6BHPzv+Y 18.16 Types语句 384 % IPyCEJD 18.17 打开文件 385 -YAO3 18.18 Bags 387 ?9,YVylg 18.13 进一步研究 388 KwQXA' 19 vStack 389 :(RL8 19.1 vStack基本原理 389 FcY$k%;'Q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 M +\rX1T 19.3 五棱镜 393 TA<hj[-8 19.4 光束距离 396 L&rO6 19.5 误差 399 zH'!fhcy 19.6 二向分色棱镜 399 BMe72 19.7 偏振泄漏 404 %!D_q~"H 19.8 波前误差—相位 405 {MA@A5 19.9 其它计算参数 405 @eA %(C 20 报表生成器 406 ]~ >@%v& 20.1 入门 406 u`nt\OF 20.2 指令(Instructions) 406 K"G(?<>~4c 20.3 页面布局指令 406 @t "~ 20.4 常见的参数图和三维图 407 |zg=+ 20.5 表格中的常见参数 408 1.uUMW
20.6 迭代指令 408 c-v*4b/d 20.7 报表模版 408 EOofa6f&l 20.8 开始设计一个报表模版 409 9k*^\@\\x 21 一个新的project 413 ho(5r5SNE 21.1 创建一个新Job 414 ?@yank| 21.2 默认设计 415 55(J&q 21.3 薄膜设计 416 7BVXBw 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;}n|,g> 21.5 显色指数计算 422 vRq=m8 21.6 电场分布 424 .$n$%|"H- 后记 426 #IbS 此书含有一个案例库,也可以申请软件免费试用,有兴趣扫码加微联系 ttTI#Fr2
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