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Zok{ndO@|f 内容简介 ~:z.Xu5m Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 :*''ci 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ^}=)jLS 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 :DN!1~ZtW w==BSH[ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 1(?4*v@B 目录 /sKL|]i= Preface 1 a+^`+p/5 内容简介 2 iNA3Y 目录 i YO7U}6wBt 1 引言 1 jfxNV2[ 2 光学薄膜基础 2 &F&`y 2.1 一般规则 2 p`Pa;=L 2.2 正交入射规则 3 6$k#B ~~ 2.3 斜入射规则 6 ebk>e* 2.4 精确计算 7 7s|'NTp 2.5 相干性 8 )5Khl"6!z 2.6 参考文献 10 \3 SY2g8+ 3 Essential Macleod的快速预览 10 r[L%ap\{ 4 Essential Macleod的特点 32 uks75W!}U 4.1 容量和局限性 33 D|LO!,=b 4.2 程序在哪里? 33 &bsq;)wzs 4.3 数据文件 35 %v0M~J}+ 4.4 设计规则 35 2Xt4Rqk $ 4.5 材料数据库和资料库 37 1X?ro; 4.5.1材料损失 38 (u,)v_Oo]a 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7AqgX0) 4.5.2 材料库 41 x>#{C,Fi 4.5.3导出材料数据 43 ]" 'yf;g 4.6 常用单位 43 r<`:Q] 4.7 插值和外推法 46 xE1?) 4.8 材料数据的平滑 50 E`IXBI 4.9 更多光学常数模型 54 "Oxr}^% i 4.10 文档的一般编辑规则 55 %~LY'cfPse 4.11 撤销和重做 56 ;.>*O
oe& 4.12 设计文档 57 f@OH~4FG 4.10.1 公式 58 H5K
Fm# 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Nm*(?1 4.10.3 沉积密度 59 BPY7O 4.10.4 平行和楔形介质 60 zwfft 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 F5o8@ Ib]: 4.10.4 性能 61 6j%%CWU{~ 4.10.5 保存设计和性能 64 Y+?QHtZL 4.10.6 默认设计 64 h[
. 4.11 图表 64 }.&nEi` 4.11.1 合并曲线图 67 37U8< 4.11.2 自适应绘制 68 p*g Fr hm 4.11.3 动态绘图 68 ='7m$,{(Q[ 4.11.4 3D绘图 69 y~9wxK 4.12 导入和导出 73 @kYY1m v; 4.12.1 剪贴板 73 @.t +
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 22l'kvo4" 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 7+jxf[(XQ 4.13 背景 77 {?qfH>oFA 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3q]0gU&?? 4.15 生成Rugate 84 I,?NYIG"( 4.16 参考文献 91 _H+]G"k/r 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 o0H^J,6gV 5.1 Jobs 92 -KiPqE%&G 5.2 创建一个新Job(工作) 93 &[ })FI 5.3 输入材料 94 -)V0D,r$[ 5.4 设计数据文件夹 95 -X.#Y6( 5.5 默认设计 95 e={O&9Z 6 细化和合成 97 2I.FSR_G? 6.1 优化介绍 97 ` H'G"V 6.2 细化 (Refinement) 98 6#Vl3o(E| 6.3 合成 (Synthesis) 100 a5a
;Fp 6.4 目标和评价函数 101 `G\
qGllX 6.4.1 目标输入 102 }+,Q&]>~ 6.4.2 目标 103 i$Y#7^l%k 6.4.3 特殊的评价函数 104 M
Kyj<@[ 6.5 层锁定和连接 104 !wYN",R- 6.6 细化技术 104 ,ri&zbB 6.6.1 单纯形 105 ?^&ih:" 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^ D0"m>3r 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 gwj?.7N*k 6.6.2.1 Optimac参数 108 </I%VHP,[f 6.6.3 模拟退火算法 109 T8 FW(Gw# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 m$8siF{<q 6.6.4 共轭梯度 111 s< tG 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 )]>t( 6.6.5 拟牛顿法 112 v^9eTeFO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Es=G' au 6.6.6 针合成 113 *bK=<{d1P 6.6.6.1 针合成参数 114 }?m0bM 6.6.7 差分进化 114 rz|T2K 6.6.8非局部细化 115 d?oXz| ;H( 6.6.8.1非局部细化参数 115 pSx5ume95" 6.7 我应该使用哪种技术? 116 `_J&*Kk5 6.7.1 细化 116 bJ2-lU% ;2 6.7.2 合成 117 eaRa+ <#u 6.8 参考文献 117 .][yH[F 7 导纳图及其他工具 118 49FP&NgK 7.1 简介 118 $WYt`U;*lj 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 g`y9UYeh 7.2.1 四分之一波长规则 119 tQ}GTqk 7.2.2 导纳图 120 U6JD^G=qR, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 5OdsT-y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 iwnGWGcuS 7.5 斜入射导纳图 141 XfcYcN 7.6 对称周期 141 ~}OaX+! 7.7 参考文献 142 w1<pQ[A 8 典型的镀膜实例 143 !
fk W;| 8.1 单层抗反射薄膜 145 zC*FeqFL< 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 8GkWo8rPk 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 cqU6 Y*n 8.4 W-膜层 148 WsTIdr36x 8.5 V-膜层 149 q/?*|4I 8.6 V-膜层高折射基底 150 %DuPM66r 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 T"\d,ug5[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 5Sl"1HL 8.9 四层抗反射薄膜 153 6jpzyf=~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 \Fjasz5E' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 :[a*I6/^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 g9C-!X-<T 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
s(_z1 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O+!4KNN.- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 kQI'kL8> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $mxG-'x%K 8.17 1/4波长堆栈 162 >V.?XZ nt 8.18 陷波滤波器 163 %)i&|AV" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 LR&MhG7 8.20 褶皱 165 :r{-:
8.21 消偏振分光器1 169 Ry[7PLn] 8.22 消偏振分光器2 171 Q`i@['?p 8.23 消偏振立体分光器 172 1
F:bExQ 8.24 消偏振截止滤光片 173 :U\*4l 8.25 立体偏振分束器1 174 "1|geO| 8.26 立方偏振分束器2 177 +At[[ 8.27 相位延迟器 178 2Ys=/mh 8.28 红外截止器 179 39^+;Mev 8.29 21层长波带通滤波器 180 shB3[W{}!) 8.30 49层长波带通滤波器 181 rk=/iD 8.31 55层短波带通滤波器 182 @o[ZJ4>* 8.32 47 红外截止器 183 LcLHX 8.33 宽带通滤波器 184 kRggVRM 8.34 诱导透射滤波器 186 $\/i t 8.35 诱导透射滤波器2 188 YUSrZ9Yg 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 aVr(*s;/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 U/FysN_N! 8.35 增益平坦滤波器 193 ,'C*?mms 8.38 啁啾反射镜 1 196 *~U*:>hS 8.39 啁啾反射镜2 198 *v#V%_ o 8.40 啁啾反射镜3 199 *X3wf`C? 8.41 带保护层的铝膜层 200 OGEe8Z9Jt 8.42 增加铝反射率膜 201 `C_qqf 8.43 参考文献 202 Na`>
pH 9 多层膜 204 ~F@p}u8TV 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L0VZ>!*o 9.2 内部透过率 204 q%d,E1 9.3 内部透射率数据 205 cZ%tJ(&\7X 9.4 实例 206 ;Q3[} ]su 9.5 实例2 210 !4v>|t q! 9.6 圆锥和带宽计算 212 I_#5gq 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 %i7U+v(d 10 光学薄膜的颜色 216 Y'1
KH}sH 10.1 导言 216 @|h9jx| 10.2 色彩 216 G9&2s%lu.e 10.3 主波长和纯度 220 UvMkL 10.4 色相和纯度 221 fAkfNH6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 =XYc2.t 10.6 色差 226 ~(*tcs]hY 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 OL_#Uu 10.8 颜色渲染指数 234 G>?kskm 10.9 色差计算 235 Z=$-S(>J 10.10 参考文献 236 L~/L<M s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 FD!8o 11.1 短脉冲 238 ;\|GU@K{hC 11.2 群速度 239 0NSw^dO\ 11.3 群速度色散 241 nGX3_-U4 11.4 啁啾(chirped) 245 ;k0Jl0[} 11.5 光学薄膜—相变 245 m*1 11.6 群延迟和延迟色散 246 D]>Z5nr | 11.7 色度色散 246 ;d>n2 11.8 色散补偿 249 s;Bh69 11.9 空间光线偏移 256 Dl~(NLM 11.10 参考文献 258 k|>yFc 12 公差与误差 260 Fa`%MR1 12.1 蒙特卡罗模型 260 Px-VRANZt 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 &kvmLO I 12.2.1 误差工具 267 ]}Ys4(} 12.2.2 灵敏度工具 271 #Rfcp! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 a
Z)1S X`D 12.2.2.2 灵敏度分布 275 W=g'Xu!|!2 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2aR9vmR 12.3 参考文献 276 \^pc"?Rc 13 Runsheet 与Simulator 277 izcjI.3e, 13.1 原理介绍 277 '>"blfix8 13.2 截止滤光片设计 277 % u VTf 14 光学常数提取 289 Y6Y"fb%K 14.1 介绍 289 Q)XH5C2X 14.2 电介质薄膜 289 "{+2Q 14.3 n 和k 的提取工具 295 atd;)o0*0 14.4 基底的参数提取 302 mw^>dv? 14.5 金属的参数提取 306 r"K!]Vw 14.6 不正确的模型 306 ;:oXe*d 14.7 参考文献 311 k(7Q\JKE 15 反演工程 313 +qpG$#J0 15.1 随机性和系统性 313 f
tl$P[T 15.2 常见的系统性问题 314 g/68&
M 15.3 单层膜 314 &:ZR% f 15.4 多层膜 314 <7)sS<I 15.5 含义 319 *@^@7`W 15.6 反演工程实例 319 K 0o F=| 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 9%SC#V' 15.6.2 反演工程提取折射率 327 AB3OG*C9 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 X}]A_G 16.1 光学性质的热致偏移 329 PP\ bDEPy 16.2 应力工具 335 a6xo U;T 16.3 均匀性误差 339 Yh^8
! 16.3.1 圆锥工具 339 ~s-gnp 16.3.2 波前问题 341 dPpJDY0 16.4 参考文献 343 A4rMJ+!5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 yFeFI@Hp 3 17.1 引言 345 T(Yp90'6 17.2 操作数 345 0#=xUk#LP` 18 如何在Function中编写脚本 351 R|$b\3 18.1 简介 351 }:0ru_F)(4 18.2 什么是脚本? 351 ~uq010lMno 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 D/"velV 18.4 基础 352 S,5>/'fy0 18.4.1 Classes(类别) 352 |ssl0/nk 18.4.2 对象 352 LauGT* z! 18.4.3 信息(Messages) 352 nql9SQ'\\ 18.4.4 属性 352 .Mb0++% W 18.4.5 方法 353 {9{X\| 18.4.6 变量声明 353 /TPtPq<7:# 18.5 创建对象 354 (_@]- 18.5.1 创建对象函数 355 .`_iWfK 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 p/nATvh$ 18.5.3 丢弃对象 356 HnjA78%i 18.5.4 总结 356 "P|n'Mx 18.6 脚本中的表格 357 e-v| 18.6.1 方法1 357 5y
g`TW 18.6.2 方法2 357 ~@6l7H6{ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;a>u7rw 18.8 3D Plots in Scripts 359 A/:_uqm4 18.9 注释 360 Fx.Ly]L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 %x{kd8>u! 18.11 一个更高级的脚本 362 i\^4EQ 18.12 <esc>键 364 :2M&C+f[ 18.13 包含文件 365 _#r00Ze 18.14 脚本被优化调用 366 -n[(0n3c 18.15 脚本中的对话框 368 vR!g1gI23 18.15.1 介绍 368 $+n6V2^K)7 18.15.2 消息框-MsgBox 368 /i27F2NQm 18.15.3 输入框函数 370 h/|p`MP\1 18.15.4 自定义对话框 371 6@8t>"} 18.15.5 对话框编辑器 371 Nb9GrYIS 18.15.6 控制对话框 377 RjvW*'2G 18.15.7 更高级的对话框 380 -@_v@]: 18.16 Types语句 384 !Tv3WQ@ 18.17 打开文件 385 3+uL@LXd 18.18 Bags 387 OqciZ@#5n 18.13 进一步研究 388 1,;zX^ 19 vStack 389 2IM31 . 19.1 vStack基本原理 389 <>{m+=gA 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 1d FuoX 19.3 五棱镜 393 %aw.o*@: 19.4 光束距离 396 4P1}XYD-2 19.5 误差 399 *@PM,tS; 19.6 二向分色棱镜 399 AnX<\7bc} 19.7 偏振泄漏 404 YK6'/2! 19.8 波前误差—相位 405 yj_> G 19.9 其它计算参数 405 m#8[")a$" 20 报表生成器 406 *n EkbI/ 20.1 入门 406 ;9h;oB@ 20.2 指令(Instructions) 406 DZC@^k \E 20.3 页面布局指令 406 8aW El% 20.4 常见的参数图和三维图 407 n }A!aC 20.5 表格中的常见参数 408 |]@Pq[Hn| 20.6 迭代指令 408 7CuZ7!>$ 20.7 报表模版 408 R^/SBrWve 20.8 开始设计一个报表模版 409 :yD>Tn;1 21 一个新的project 413 #L+:MA7H 21.1 创建一个新Job 414 u)<s*jk 21.2 默认设计 415 jci,]*X4 21.3 薄膜设计 416 9!uiQ 21.4 误差的灵敏度计算 420 CKK}Z;~: 21.5 显色指数计算 422 ]nB|8k=J 21.6 电场分布 424 jmkOu5@ 后记 426 '-RacNY 此书含有一个案例库,也可以申请软件免费试用,有兴趣扫码加微联系 RhHm[aN -GCo`PR?b Su2{ nNC>
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