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6.K)uQgjmv 内容简介 RJd55+h Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }dB01Jl
' 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 BJ{mX>I( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 -y$|EOi? zeR!Y yt! 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 (c[|k 目录 nwV\[E Preface 1 (<3'LhFII 内容简介 2 L4Kkbt<x 目录 i E5 Y92vu 1 引言 1 DmD*,[rD 2 光学薄膜基础 2 wAy;ZNu 2.1 一般规则 2 /4=O^; 2.2 正交入射规则 3 Zkxt>%20~ 2.3 斜入射规则 6 nP_ s+k 2.4 精确计算 7 ~0worI? 2.5 相干性 8 "CLd_H*)c 2.6 参考文献 10 +gT?{;3[i 3 Essential Macleod的快速预览 10 9Y-s],2V 4 Essential Macleod的特点 32 5GpRN 4.1 容量和局限性 33 (^057 4.2 程序在哪里? 33 b]*9![_ 4.3 数据文件 35 T_I"Tsv 4.4 设计规则 35 *4+;Ey 4.5 材料数据库和资料库 37 %iF<
px?Vc 4.5.1材料损失 38 9~>;sjJk 4.5.1材料数据库和导入材料 39 6' ?Y]K 4.5.2 材料库 41 BIX%Bu0'f 4.5.3导出材料数据 43 /<y-pFTg 4.6 常用单位 43 Pk*EnA) 4.7 插值和外推法 46 59ro-nA9v 4.8 材料数据的平滑 50 +B*ygv: 4.9 更多光学常数模型 54 f3*u_LO 4.10 文档的一般编辑规则 55 mDj:w#q 4.11 撤销和重做 56 G~YV6?? 4.12 设计文档 57 [h,T.zpa 4.10.1 公式 58 9h~>7VeZ) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 PsLuyGR.< 4.10.3 沉积密度 59 # {!Qf\1M 4.10.4 平行和楔形介质 60 kGX`y.-[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5H?`a7q N 4.10.4 性能 61 Az"3f 4.10.5 保存设计和性能 64 rXfQ_ 4.10.6 默认设计 64 K3 "co1]u 4.11 图表 64 cH"M8gP# 4.11.1 合并曲线图 67 A^o
4.11.2 自适应绘制 68 v#D9yttO{ 4.11.3 动态绘图 68 9j9A'Y9( 4.11.4 3D绘图 69 3Jk;+< 4.12 导入和导出 73 _X;5ORH" 4.12.1 剪贴板 73 ;xwa,1] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 aoMQ_@0 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 k(hes3JV 4.13 背景 77 l=bB,7gL 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 7kG>s9O 4.15 生成Rugate 84 }^P( p?~ 4.16 参考文献 91 O^oFH
OpFh 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 g4%x7#vz0 5.1 Jobs 92 ;>|:I(l; 5.2 创建一个新Job(工作) 93 9k2HP]8=[{ 5.3 输入材料 94 mVU(u_lh 5.4 设计数据文件夹 95 mKWA-h+f 5.5 默认设计 95 qFf'RgUtP 6 细化和合成 97 USe"1(|E 6.1 优化介绍 97 C6O1ype 6.2 细化 (Refinement) 98 RR^I*kRH 6.3 合成 (Synthesis) 100 E}\^GNT 6.4 目标和评价函数 101 Wu:vO2aw8 6.4.1 目标输入 102 #).om*Xh 6.4.2 目标 103 hGD7/qTN 6.4.3 特殊的评价函数 104 n5oB#>tI0 6.5 层锁定和连接 104 ){R_o5 6.6 细化技术 104 -\AB!#fh 6.6.1 单纯形 105 [0F+t,` 6.6.1.1 单纯形参数 106 jcFh2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 j[) i>Qw 6.6.2.1 Optimac参数 108 -twIF49 6.6.3 模拟退火算法 109 }"Y]GH4Y 6.6.3.1 模拟退火参数 109 -Qqb/y 6.6.4 共轭梯度 111 #.a4}ya19 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 L{'qZ#N[ 6.6.5 拟牛顿法 112 <}N0y*m 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 A
CJmy2 6.6.6 针合成 113 <F>\Vl: 6.6.6.1 针合成参数 114 $fuFx8`2W 6.6.7 差分进化 114 |5$9l#e 6.6.8非局部细化 115 k/!Vv#8 6.6.8.1非局部细化参数 115 O)&xT2'J 6.7 我应该使用哪种技术? 116 eJ$?T7aUf 6.7.1 细化 116 D@5&xd_@4 6.7.2 合成 117 ~>xn9vb= 6.8 参考文献 117 rm(<?w%'? 7 导纳图及其他工具 118 +6uun 7.1 简介 118 NZ9`8&93 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7Cp>i WV 7.2.1 四分之一波长规则 119 S1E2E3 7.2.2 导纳图 120 W[j =!o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 dg/7?gV 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 %w6> 3#e 7.5 斜入射导纳图 141 !bT0kP$3} 7.6 对称周期 141 FbWkT4t| 7.7 参考文献 142 ZEUd?"gaR 8 典型的镀膜实例 143 (al7/EhY 8.1 单层抗反射薄膜 145 1:q55!b 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?2_u/x 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 NQ@ EZoJ 8.4 W-膜层 148 \9@*Jgpd6* 8.5 V-膜层 149 0%`\8 8.6 V-膜层高折射基底 150 WO^smCk 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 VH,k EbJ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 f+%J=Am 8.9 四层抗反射薄膜 153 "p2 $R*ie 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k$k(g 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 )0fQ(3oOg 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 k[y{&f, 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 -H'_%~OV( 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 wC'KI8- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 \TC&/'7} 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 qJ#?=ITE 8.17 1/4波长堆栈 162 Q3wD6!'&m 8.18 陷波滤波器 163 yTkYPx 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 } 9<aX
Y, 8.20 褶皱 165 TBrAYEk
8.21 消偏振分光器1 169 .I
{X 8.22 消偏振分光器2 171 @*%Q,$ 8.23 消偏振立体分光器 172 mL18FR N 8.24 消偏振截止滤光片 173 n?!.r
c 8.25 立体偏振分束器1 174 <MA!?7Z| 8.26 立方偏振分束器2 177 3=T<c?[ 8.27 相位延迟器 178 $axaI$bE 8.28 红外截止器 179 VGWqy4m 8.29 21层长波带通滤波器 180 _
CXKJ]m4 8.30 49层长波带通滤波器 181 A<y3Tc?Q 8.31 55层短波带通滤波器 182 XuoI19V[ 8.32 47 红外截止器 183 kh^AH6{2 8.33 宽带通滤波器 184 6(DK\58 8.34 诱导透射滤波器 186 s2b!Nib 8.35 诱导透射滤波器2 188 *z` {$hc 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 :}UWy?F 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 5(u7b 8.35 增益平坦滤波器 193 A{y3yH`#h 8.38 啁啾反射镜 1 196 XOJ/$y 8.39 啁啾反射镜2 198 ItC*[ 8.40 啁啾反射镜3 199 P,CJy|[L 8.41 带保护层的铝膜层 200 4kxy7]W 8.42 增加铝反射率膜 201 f ,K1 a9. 8.43 参考文献 202 Q%o 9 多层膜 204 IC92lPM } 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 tojJQ6;J 9.2 内部透过率 204 i ,4 9.3 内部透射率数据 205 }Jh!B| 9.4 实例 206 o
PR^Z
pt 9.5 实例2 210 >(`|oD`,Y 9.6 圆锥和带宽计算 212 Y]&HU) u 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 l
\xIGs 10 光学薄膜的颜色 216 E)#3*Wlu$ 10.1 导言 216 &tLg}7?iB 10.2 色彩 216 +_
K7x5g 10.3 主波长和纯度 220 qI:}3b;T 10.4 色相和纯度 221 #9#N+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 %}+j4n 10.6 色差 226 &p=|z2 J 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 YAC=V?U-# 10.8 颜色渲染指数 234 Fr/8q:m& 10.9 色差计算 235 :9_K@f?n 10.10 参考文献 236 }\*dD2qNL} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 H]}Iw5Z 11.1 短脉冲 238 ULjW589zb 11.2 群速度 239 \1aj!) 11.3 群速度色散 241 O0WzDD 11.4 啁啾(chirped) 245 67/hhO 11.5 光学薄膜—相变 245 75Jh(hd( 11.6 群延迟和延迟色散 246 GB^Ch YOb 11.7 色度色散 246 v|t^th, 11.8 色散补偿 249 v;?t=}NwF 11.9 空间光线偏移 256 bveNd0hN 11.10 参考文献 258 1,,o_e\nn3 12 公差与误差 260 9);a 0}*5 12.1 蒙特卡罗模型 260 #u|;YC 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 (+CB)nV0IA 12.2.1 误差工具 267 ra_`NsKF} 12.2.2 灵敏度工具 271 XZZ Ml 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Yt0
l'B%[u 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Z-Bw?_e_K 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 3::DURkjf 12.3 参考文献 276 )-2OraUm< 13 Runsheet 与Simulator 277 c 6E@+xU 13.1 原理介绍 277 g2 :^Z== 13.2 截止滤光片设计 277 mBQ6qmK 14 光学常数提取 289 1wE~dpnx 14.1 介绍 289 Y]B2-wt- 14.2 电介质薄膜 289 _9\ayR>d 14.3 n 和k 的提取工具 295 QmbD%kW`3 14.4 基底的参数提取 302 S[X bb=n 14.5 金属的参数提取 306 WvUe44&^$ 14.6 不正确的模型 306 4=*VXM/ 14.7 参考文献 311 Maf!,/U4 15 反演工程 313 N}>`Xm5' 15.1 随机性和系统性 313 )Qp?N<&' 15.2 常见的系统性问题 314 _d %H;<_ 15.3 单层膜 314 > 9 i @W@M 15.4 多层膜 314 A5!f# 15.5 含义 319 .QRQvtd. 15.6 反演工程实例 319 Z fL\3Mn 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 -'5:Cq 15.6.2 反演工程提取折射率 327 t9Pu:B6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 "eZNci 16.1 光学性质的热致偏移 329 BT`D|< 16.2 应力工具 335 0K@s_C=n# 16.3 均匀性误差 339 }`h)+Im= 16.3.1 圆锥工具 339 ?P0$n 7, 16.3.2 波前问题 341 A4Q8^^byY 16.4 参考文献 343 y5BNHweaRb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 D0lgKQ 17.1 引言 345 6$9n_AS 17.2 操作数 345
^qS[2Dy 18 如何在Function中编写脚本 351 psgXJe$ 18.1 简介 351 #N[nvIi} 18.2 什么是脚本? 351 PG&@.KY 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 3oE *86 18.4 基础 352 ! Hdg
$, 18.4.1 Classes(类别) 352 &>*fJ 18.4.2 对象 352 ^r}^- 18.4.3 信息(Messages) 352 }yK_2zak5i 18.4.4 属性 352 [@uL)*o_# 18.4.5 方法 353 !@W1d|{lu 18.4.6 变量声明 353 \&Mipf7a 18.5 创建对象 354 lRZt))3 18.5.1 创建对象函数 355 P7 H-Dw 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 aVM@^n 18.5.3 丢弃对象 356 )0yY|E\ 18.5.4 总结 356 dfO@Yo-?*' 18.6 脚本中的表格 357 R1{" 18.6.1 方法1 357 t
/EB
y"N# 18.6.2 方法2 357 #'v7mEwt 18.7 2D Plots in Scripts 358 H}dsd=yO 18.8 3D Plots in Scripts 359 /V$[M 18.9 注释 360 g$EjIHb 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Q<;f-9q@ 18.11 一个更高级的脚本 362 {y`afuiB 18.12 <esc>键 364 " <m)Fh; 18.13 包含文件 365 (C!u3ke2D 18.14 脚本被优化调用 366 P%ev8]2 18.15 脚本中的对话框 368 kzbgy)PK3 18.15.1 介绍 368 bJx{mq
18.15.2 消息框-MsgBox 368 M})2y+ 18.15.3 输入框函数 370 WG1UvPK 18.15.4 自定义对话框 371 k$i76r 18.15.5 对话框编辑器 371 (TVzYm
y 18.15.6 控制对话框 377 ppM d 18.15.7 更高级的对话框 380 k8GcHqNHx 18.16 Types语句 384 V`l.F"<L 18.17 打开文件 385 RI')iz? 18.18 Bags 387 ?Q]&d!UCs 18.13 进一步研究 388 &g\D-At 19 vStack 389 `N_N zH 19.1 vStack基本原理 389 cr27q6_ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Y6?d
y\ 19.3 五棱镜 393 Hh(_sewo 19.4 光束距离 396 S5-}u)XnH 19.5 误差 399 A%"mySW 19.6 二向分色棱镜 399 z%hB=V!~91 19.7 偏振泄漏 404 +s
V$s]U 19.8 波前误差—相位 405 V2^(qpM! 19.9 其它计算参数 405 d-#MRl$rtK 20 报表生成器 406 `-hFk88 20.1 入门 406 xzyV|( 20.2 指令(Instructions) 406 ${8 1~ 20.3 页面布局指令 406 q-KN{y/ 20.4 常见的参数图和三维图 407 }e9E+2}Z\ 20.5 表格中的常见参数 408 %+:%%r=Q 20.6 迭代指令 408 >/. -N 20.7 报表模版 408 Y`uL4)hR5 20.8 开始设计一个报表模版 409 gLaFIeF<+ 21 一个新的project 413 *S~gF/*kP 21.1 创建一个新Job 414 R.Ao%VT 21.2 默认设计 415 B+ud-M0 21.3 薄膜设计 416 c]P`U(q9TV 21.4 误差的灵敏度计算 420 p,* rVz[Y 21.5 显色指数计算 422 4l@*x^F 21.6 电场分布 424 ^.& |