案例024(3.0)
yL_\&v +wcif- 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
x$) E^|A+ ]RxWypA` 1. 建模任务1:金属光栅 NBD1k; k1fX-2H /0r6/ _5-. 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
>/'/^h 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
bd&Nf2 ?~X^YxWsY 2. 建模任务2:介质光栅 W#foVAi . <f;Xs( 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
2+|U!X 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
w01u~"E n 9Ktn} 3. 建模任务 {j%7/T{ $AHdjQ[;6- V U~r~
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
PoZxT-U 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
FO)`&s"&2 场分布计算能够检测结构内部的热点
;FnS=Z Hm]\.ZEy 4. TE和TM照明线性光栅 Bkdt[qDn5P ?I7%ueFY 5. 铬狭缝的分析 .50ql[En ?&bB?mg\ 2U) 0k* 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
ASa)xf9 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
Qb@i_SX(fs 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
*z__$!LR 红线说明了结构的形状(手动添加)
`%$+rbo~ 1SG^X-(GM/ 6. 三角光栅的分析 G"U^]$(+K 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
m{by% h"dn:5G:= ?pV!`vp^{ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
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ED{b@ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
#,;Q|)AD:e 红线说明了结构的形状(手动添加)。
qP72JxT 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
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与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
|9]_<X[ic |)%;B% 7. 总结 s ?|Hw|j $j"BHpN VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
z)%]#QO 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
Ag}P 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
=gHUY&sPu8 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。