案例024(3.0)
K*ZH<@o4 _l i\b- 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
1j_x51p NXwlRMbo 1. 建模任务1:金属光栅 4. &t ?89ZnH2/ aCL_cVOMR 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
2EHeQ|# 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
:%#(<@ { .szs? 2. 建模任务2:介质光栅 L4)@lmd3 AYC22( 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
Kg#5
@; 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
c{iF R*C 3. 建模任务 [n53eC aS7[s6 " <GDOL
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
%cWy0:F5VY 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
$] js0)> 场分布计算能够检测结构内部的热点
.ZK|%VGW g@&@]63 4. TE和TM照明线性光栅 [@Db7]nG /r4QDwu 5. 铬狭缝的分析 ozs
xqN ;K'1dsA 2|fN*Wm 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
?0UzmJV?8 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
:Kc}R)6 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
`.0QY<; 红线说明了结构的形状(手动添加)
t/6t{*-w ] -6=+\]
6. 三角光栅的分析 zuWfR&U|W 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
[WOLUb DhQYjC[ N6GvzmG#g 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
|JpLMUG 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
HiBw==vlV 红线说明了结构的形状(手动添加)。
4eSV(u)4 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
fbbk;Rq.'3 N XwQvm;q 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
:Fm{U0;" kEM5eY 7. 总结 9d7$Fz# ^#H%LLt VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
w$JG:y# 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
sW#}QYd 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
J!Kk7!^| 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。