案例024(3.0)
n@[</E( |S`yXsg 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
!&p:=}s ?9@Af{b t2 1. 建模任务1:金属光栅 {eN{Zh5" M`pTT5r ~{Rt4o _W 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
)Q/`o,Vm 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
)"jn{%/t K |} ]< 2. 建模任务2:介质光栅 PG[O?l ,xe@G)a 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
{&u7kWD| 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Qwo9>ClC tSc>@Q_| 3. 建模任务 UJ)M:~O Yk@s"qm3 G^@Jgx3n
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
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R^N`V 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
[piF MxZP 场分布计算能够检测结构内部的热点
Yn]yd1 s5aOAyb*w 4. TE和TM照明线性光栅 7a]Zws #0<y0uJ(y 5. 铬狭缝的分析 ;@YF}%!+W )bXx9,VL UEQ'D9 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
S]%U] 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
eTRx 6Fri( 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
= *;Xc-_ 红线说明了结构的形状(手动添加)
2{]S_. zV <Dj$0g 6. 三角光栅的分析
uC*:#[ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
Nw>T$RzS 'Kzr-)JS Q @OC = 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
B6'%J 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
Q'Kik5I 红线说明了结构的形状(手动添加)。
$ X=D9h 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
Xt,,AGm} {}J@+Zsi 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
U>_\ +b,31 7. 总结 "kBqY+:Cn BXK::M+ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
:Nj`_2 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
2HK 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
uJ/?+5TU 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。