案例024(3.0)
bf3Njma% d* 6 lJT 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
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D<s)) 1. 建模任务1:金属光栅 7.o:(P1??g oVLgH B\zL j5EZJ` 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
6DFF:wrm& 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
M=hH:[6 & U Ux] 2. 建模任务2:介质光栅 lo*)%fy rK%A=Q 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
D{{ME8 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
R{5xb YYz,sR'%|} 3. 建模任务 xnW3,:0 (1pxQ%yEA \P;%fN
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
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lpo 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
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\GxH+ 场分布计算能够检测结构内部的热点
Dg$Z5`%k8 `;ofQz4 4. TE和TM照明线性光栅 pb(YA/ TRl,L5wd-? 5. 铬狭缝的分析 A?V[/ <#s=78
g.3 cViEvS r 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
vap,)kILF 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
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]| 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
w(QU '4~ 红线说明了结构的形状(手动添加)
>[=fbL@N<@ Lbka*@ 6. 三角光栅的分析 @hlT7C)xK 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
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%?J @O/Jy2>3H 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
$r`^8/Mq3 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
i+$G=Z#3E 红线说明了结构的形状(手动添加)。
}7>r, 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
0^41dfdE S`oADy 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
/Q4TQ\: 8\?7k 7. 总结 >~-8RM 2NHkK_B1P VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
Fb&Xy{kt1 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
+/tNd2 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
la7VeFT 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。