案例024(3.0)
+c?1\{M C*=#=.~~{ 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
s/8>(-H# 7Q2"]f,$CQ 1. 建模任务1:金属光栅 !ce5pA !h4L_D0 vn7<>k>dx 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
>zVj+ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
&jr'vS[b w`q):yXX 2. 建模任务2:介质光栅 7*`cWT_X 7YrX3Hx8 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
D3N\$ D 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
gq!|0 /aP4'U8ov 3. 建模任务 x
xWnB YLk/16r HsO4C)/
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
s0WI93+z 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
@#xh)"} 场分布计算能够检测结构内部的热点
w|7<y8#qC n]jZ2{g+ 4. TE和TM照明线性光栅 [kaj8 9v=5x[fE 5. 铬狭缝的分析 lku}I4 eKsc [" fo@2@ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
{
<f]6 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
0j@gC0xu)| 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
v@(Y:\> 红线说明了结构的形状(手动添加)
Lj`MFZ v47Y7s:uQ 6. 三角光栅的分析 )5Mf, 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
]lV\D8# 80DcM9^t8 3=SIIMp7= 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
bxLeQWr6 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
74i 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Y%m^V?k 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
=8#$'1K,v >VIb|YA 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
?VaWOwWI qVjl8%) 7. 总结 ;n0VF77>O N{w)}me[YY VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
KG=h!]Meq 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
H=,0p 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
LX5, _`B 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。