案例024(3.0)
ilZ5a&X; dX[Xe 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
K5??WB63B
Q7/Jyx| 1. 建模任务1:金属光栅 R$+"'N6p 7_lgo6 ZZfi,0R 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
)M(//jX 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
n0%S: ( G(t&(t`[ 2. 建模任务2:介质光栅 !FB2\hiM HL:w*8a 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
MiF(
&# 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
54RexB o [=u@6Y 3. 建模任务 G%h+KTw J&+" s!Iinc^p
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
+ EKp*Vje 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
gT,iH. 场分布计算能够检测结构内部的热点
^W^Y"0y9` :r{W)(mm 4. TE和TM照明线性光栅 0TiDQ4}i[ 8&bNI@:@ 5. 铬狭缝的分析 .cmhi3o4 `/WOP`'zM H$
:BJ$x@ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
n-<`Z NMU 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
U2\k7I 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
q>6,g>I 红线说明了结构的形状(手动添加)
zW. Ltz 7~QAprwVS 6. 三角光栅的分析 *ODc[k'( 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
c]ga)A( V=Bmpg aFh'KPhe 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
:z|$K^)7Z 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
uF)^mT0D= 红线说明了结构的形状(手动添加)。
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H#W 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
\fYPz }wt EFu> 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
8*uaI7;* ?b(DDQMf 7. 总结 l[nf"' =H}}dC<) VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
!wro7ilMB 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
u =(.} 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
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uH3C~u7< 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。