案例024(3.0)
|(ab0b # 2$kB^g!:o 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
{lH'T1^m CQNMCYjg(R 1. 建模任务1:金属光栅 ju'aUzn l^}u S|c( ||Owdw|{ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
[5p 3:D 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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&HO 2. 建模任务2:介质光栅 MH#"dGGu "acI:cl?, 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
wn?oHz* 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
&Z[+V)6,, Z{BK@Q4z 3. 建模任务 qqe"hruFJ _S7?c^:~ !.X/(R7J
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
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& 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
g_IcF><F 场分布计算能够检测结构内部的热点
N2U&TCc vD9\i*\2 4. TE和TM照明线性光栅 .`m|Uf#"
_ >J3mta3 5. 铬狭缝的分析 yna!L@ *@, g*My1+J! >n3GvZ5% 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
u &1M(~Ub= 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
i a!!jK} 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
oA[`|
ji 红线说明了结构的形状(手动添加)
yQUrHxm s`H|o'0 6. 三角光栅的分析 t`E5bWG 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
m jP U`=r.> )K@D4sl 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
K"XwSZ/ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
Z2m^yRQ( 红线说明了结构的形状(手动添加)。
esA^-$ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
fsPNxy"_ 8v2Wi.4T 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
"lu^ J.: 7. 总结 t2{(ETV D((/fT)eD VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
1="]'!2Is 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
Qc-W2% 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
KTT!P 4 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。