案例024(3.0)
Mou>|U1e" 1>c`c]s3 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
6{8qATLR wr~# rfH 1. 建模任务1:金属光栅 QY8I_VF r4@!QR<h _FeLSk. 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
w{?nX6a@p 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
T#DJQ"$ 'C]zB'H= 2. 建模任务2:介质光栅 4 C/ ib /B!?/ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
br.jj 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
T?N' k= puG$\D-[ 3. 建模任务 W(E!: w{#K.dx @2v L'6
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
j/TsHJ= 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
_M8Q% 场分布计算能够检测结构内部的热点
Qf6]qJa| nmn$$=~) 4. TE和TM照明线性光栅 Q1 mz~r tQ< ou, 5. 铬狭缝的分析 oL1m<cQo9 B=%cXW, 3v
:PBmE 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
HDvj{ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
SouPk/-B80 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
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1(%FZ 红线说明了结构的形状(手动添加)
,)hUL/r6 X3tpW`alo 6. 三角光栅的分析 tj;<Z. 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
=>-:o:Cu{ cF_ Y}C rBye%rQRq 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
(/1 4)"Sk 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
'*MNRduE6 红线说明了结构的形状(手动添加)。
lsU|xOB 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
%k_R;/fjW dy-m9fc6% 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
/zMiy? tH,}_Bp 7. 总结 %*>=L$A j!B+Q VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
8fKt6T 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
U2\g
Kg[-Q 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
G&)A7WaC 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。