案例024(3.0)
(u3s"I
d C?4JXW 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
ZR0r>@M3v< 7nU6k%_ % 1. 建模任务1:金属光栅 SqA
J-_~ .7NNT18 Pmg)v!" 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
a:TvWzX, 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
!y:%0{l ;%C'FV e] 2. 建模任务2:介质光栅 !4"^`ors$ ^Xb7[+I6 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
Ycr3HLJy 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
&MZ$j46 l v&mp0V+ 3. 建模任务 "syh=BC
v '*^yAlgtt #oeG!<Mn
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
(>4aibA'P 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
2&PPz}Sw 场分布计算能够检测结构内部的热点
N,dT3we g>rp@M 4. TE和TM照明线性光栅 / $ :j CT9 5. 铬狭缝的分析 TL$EV>Nr |BT MJ:B OO dSKf8 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
O,bkQY$v 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
Q5{Pv}Jx 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
aI(7nJ=R 红线说明了结构的形状(手动添加)
g]c[O*NTL 4/ kv3rv 6. 三角光栅的分析 kE8>dmH23 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
W7"{r)7 Pi,QHb`> ?"#%SKm 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
j"^+oxH 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
>d"3<S ;b 红线说明了结构的形状(手动添加)。
H1GRMDNXOA 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
Pg9hW d)cOhZy 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Z=B_Ty f<=Fsl 7. 总结 C51bc6V `RU[8@ 2% VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
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@uUHB 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
4n #ov=)-~ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
JO=[YoTr 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。