案例024(3.0)
K/,
B e-]k{_wm 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
t'Nu^_# Qo0okir 1. 建模任务1:金属光栅 VX[{X8PkS )Mi#{5z (|I0C 'Ki 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
>6@*%LM 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
fp:j~a>E [f:>tRdH 2. 建模任务2:介质光栅 *$1*\oCtz *J 7>6N:- 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
"k"q)5c 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Iu[^" 'lHtz~[ 3. 建模任务 Bb}JyT
aEy_H-6f /?9e{,\s
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
|*Z'WUv 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
X:j&+d2g0/ 场分布计算能够检测结构内部的热点
jQ4Pv` 6(ju!pE` 4. TE和TM照明线性光栅 |2
g }i\ kVe^g]F 5. 铬狭缝的分析 (=)+as"u9* `Rm2G WLDt5R 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
gA`/t e 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
BaR9X ?~O$ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
$*G]6s 红线说明了结构的形状(手动添加)
cJ&l86/l1 "3Ag+>tuRW 6. 三角光栅的分析 sog?Mvoq 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
H-1@z$p ;k (}~_ DJr 8<u 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
VEwv22' 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
IE|x+RBD 红线说明了结构的形状(手动添加)。
6i9m!YQV 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
C3G?dZKv2 P`-(08t 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
XFG]%y=/6
b3#c0GL 7. 总结 ]m=* =LLC O)\xElu VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
yXg783B|v 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
nUs) 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
4AZlr*U 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。