案例024(3.0)
[}""@? Q5E:|)G 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
ZTf_#eS$ Uh6mGLz*& 1. 建模任务1:金属光栅 c %<2z T_L6 t66I eihZp 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
Y">4Qx4W 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
/GsrGX8 ha'qIT3& 2. 建模任务2:介质光栅 hhq$g{+[ B!q?_[k, 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
8[\79| 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
aR(E7mXQ S|2VP8xY9 3. 建模任务 ag]*DsBt d)*(KhYie@ Z>{*ISvpq
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
PHkDb/HIx| 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
5!:._TcO 场分布计算能够检测结构内部的热点
^_w*XV ]N\6h(**wy 4. TE和TM照明线性光栅 cHn;}l!I FuMq|S 5. 铬狭缝的分析 M'|)dM| LD@7(?mlU n8FT<pUq 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
JFJIls 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
1E^{B8cm 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
}wkaQQh 红线说明了结构的形状(手动添加)
n` #+L~X *K!7R2Rat 6. 三角光栅的分析 %QE5<2k 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
\6c8z/O7 `Of[{.Q Uf[T _ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
U$@83?O{iM 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
o~}1oN 红线说明了结构的形状(手动添加)。
oYg/*k7EDX 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
5)x6Q|-u )ys=+Pz 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
DrV0V
.t, u
mqKFM$ 7. 总结 |%3O)B Ix4 jof6( VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
2:/u2K 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
8 +L7E- 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
$Gd5wmb! 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。