案例024(3.0)
qSU|= @C8DZ5) 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
iw?I $)~ 1. 建模任务1:金属光栅 wIvo"|% 6dqsFns}e 'Prxocxq 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
VR?^HA9 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
#s5N[uK^m Z}6^ve 2. 建模任务2:介质光栅 fz_nsVD Fj
p.T; 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
L@Nu/(pB= 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
afG{lWE) (8a#\Y[b 3. 建模任务 {p<Zbm. ?\=/$Gt u{H?4|'(
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
|AZW9 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
d9^E.8p$ 场分布计算能够检测结构内部的热点
Q4]4@96Aj :Ixx<9c. 4. TE和TM照明线性光栅 2\D8.nQr E+95WF|4k" 5. 铬狭缝的分析 uzr\oj+> ?9+@+q I27,mS+] 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
32)tJ|m 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
IZ,oM!Y 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
coE&24,0 红线说明了结构的形状(手动添加)
v6(E3)J7 S56]?M|[ 6. 三角光栅的分析 sN=6 gCau 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
F"+o@9] L:nXW z gxNL_(A 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
YvL?j 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
z9/G4^qF 红线说明了结构的形状(手动添加)。
_o3e]{ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
3
fj R[tC^]ai 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
-NGK@Yk22 k`KGB 7. 总结 q<vf,D@{ ! fT\:V5- VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
}
l667N 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
}j 5 a[L 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
vT^Sk;E 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。