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FUyB"-< 内容简介 d%#!nq{vd Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 F}6DB* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 c%AFo]H 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0|fb< " rP^TN^bd| 讯技科技股份有限公司 d}{LM!s
@pF
fpHq?> 目录 O6m.t%* Preface 1 {)
:%WnM9 内容简介 2 %]a
@A8o0 目录 i X$7Oo^1; 1 引言 1 JQKC;p 2 光学薄膜基础 2 /~3N@J 2.1 一般规则 2 b 0LGH.
z4 2.2 正交入射规则 3 ^wx%CdFm'P 2.3 斜入射规则 6 v`#j 2.4 精确计算 7 "3{#d9Gs 2.5 相干性 8 @uI? 2.6 参考文献 10 \)OZUch 3 Essential Macleod的快速预览 10 YG0Px Zmi 4 Essential Macleod的特点 32 _ztZ>' 4.1 容量和局限性 33 csH2_+uG 4.2 程序在哪里? 33 FAQr~G} 4.3 数据文件 35 hpbwZ 4.4 设计规则 35 !dU9sB2 4.5 材料数据库和资料库 37 :a_BD 4.5.1材料损失 38 _GVE^yW~z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 A}t %;V2 4.5.2 材料库 41 V]I:2k5 4.5.3导出材料数据 43 o&(wg(Rv 4.6 常用单位 43 YBb)/ZghY 4.7 插值和外推法 46 z$JX'(<Z7 4.8 材料数据的平滑 50 ,:D=gQ@` 4.9 更多光学常数模型 54 v8ba~ 4.10 文档的一般编辑规则 55 HXQ e\r 4.11 撤销和重做 56 Tbv/wJ 4.12 设计文档 57 '
|&>/dyq 4.10.1 公式 58 F%xK"l`& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 D`6iDit 4.10.3 沉积密度 59 95=gY 4.10.4 平行和楔形介质 60 ;{|X,;s 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ;Vg^!]LL# 4.10.4 性能 61 t)YUPDQ@J 4.10.5 保存设计和性能 64 H2_/,n 4.10.6 默认设计 64 Zp?4uQ)[W 4.11 图表 64 F\a]n^
Y 4.11.1 合并曲线图 67 >~_Jq|KBB 4.11.2 自适应绘制 68 k`Nyi)AGe 4.11.3 动态绘图 68 Vy__b=ti? 4.11.4 3D绘图 69 PU W[e% 4.12 导入和导出 73 {Fbg]'FQ 4.12.1 剪贴板 73 geksjVwPH 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 93j{.0]X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 5sCFzo<=vh 4.13 背景 77 +a%xyD:.? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 XAe\s` 4.15 生成Rugate 84 2
P=[ 4.16 参考文献 91 pz{'1\_+9 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 bmu6@jT 5.1 Jobs 92 L>dkrr)e 5.2 创建一个新Job(工作) 93 LheFQ A 5.3 输入材料 94 k<H%vg>{~s 5.4 设计数据文件夹 95
2nv[1@M 5.5 默认设计 95 I,b9t\(6 6 细化和合成 97 av-#)E 6.1 优化介绍 97 SxJ$b 6.2 细化 (Refinement) 98 nZfs=@w:y 6.3 合成 (Synthesis) 100 we3tx{j 6.4 目标和评价函数 101 <47k@Ym 6.4.1 目标输入 102 ]jyM@ 6.4.2 目标 103 \<~}o I 6.4.3 特殊的评价函数 104 4S|=/f 6.5 层锁定和连接 104 ^T:gb]i'Qa 6.6 细化技术 104 gxwo4., 6.6.1 单纯形 105 ad9CsvW 6.6.1.1 单纯形参数 106 7Y1GUIRa3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 9Hd;353Q 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,>n%
~'gb 6.6.3 模拟退火算法 109 /@hJpz|+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 qz!Ph5( 6.6.4 共轭梯度 111 ]IZ>2!6r 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &SH1q_&BQ 6.6.5 拟牛顿法 112 LvcuZZ`1a 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 54{q.I@n 6.6.6 针合成 113 qi(*ty 6.6.6.1 针合成参数 114 !4WEk 6.6.7 差分进化 114 ^rL_C}YBj- 6.6.8非局部细化 115 PY`L$e 6.6.8.1非局部细化参数 115 ](#&.q%5! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 UL(
lf}M 6.7.1 细化 116 Ye5jB2Z
6.7.2 合成 117 g JjN<&, 6.8 参考文献 117 */z??fI27 7 导纳图及其他工具 118 DIaYo4 7.1 简介 118 2#vv$YD 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 TJ(K3/)Z 7.2.1 四分之一波长规则 119 Ya#h'+} 7.2.2 导纳图 120 S|em[D[Y^ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 rkB'Hf 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =Q<L
eh=G 7.5 斜入射导纳图 141 Y
ya`&V 7.6 对称周期 141 S QY"OBo<e 7.7 参考文献 142 u,1}h L 8 典型的镀膜实例 143 ,qQG;w,m 8.1 单层抗反射薄膜 145 geM6G$V& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 "Pz}@= 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 8z2Rry
w 8.4 W-膜层 148 ]]0,|My7 8.5 V-膜层 149 p`F9Amb 8.6 V-膜层高折射基底 150 B=Ym x2A9] 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 `.%JjsD< 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _Ov;4nt! 8.9 四层抗反射薄膜 153 nV*y`.+ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 aG+j9Q_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?4 S+edX 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 j(rL 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 i3VW1~ .8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 1L nyWZ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |Ic`,>XM 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 DgHaOAdU 8.17 1/4波长堆栈 162 p\p\q(S"> 8.18 陷波滤波器 163 &?,6~qm[ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 FLZWZ; 8.20 褶皱 165 )$Mmn 8.21 消偏振分光器1 169 "O[j!fG8, 8.22 消偏振分光器2 171 I$t3qd{H& 8.23 消偏振立体分光器 172 #A7jyg": 8.24 消偏振截止滤光片 173 N K]B? 8.25 立体偏振分束器1 174 I1Sa^7 8.26 立方偏振分束器2 177 kc `V4b% 8.27 相位延迟器 178 (1R?s>3o 8.28 红外截止器 179 w|[RDaA b 8.29 21层长波带通滤波器 180 S=`+Ryc 8.30 49层长波带通滤波器 181 Sh6JF574T 8.31 55层短波带通滤波器 182 X-LA}YH=tS 8.32 47 红外截止器 183 `d]IX^; 8.33 宽带通滤波器 184 +|iYg/2 8.34 诱导透射滤波器 186 )E#2J$TD 8.35 诱导透射滤波器2 188 :O<bA&:d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 wC_l@7t 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 nl aM 8.35 增益平坦滤波器 193 H9)m^* 8.38 啁啾反射镜 1 196 M:KbD| 8.39 啁啾反射镜2 198 b2,mCfLsv 8.40 啁啾反射镜3 199 $2^`Uca 8.41 带保护层的铝膜层 200 (>4aibA'P 8.42 增加铝反射率膜 201 2&PPz}Sw 8.43 参考文献 202 51C2u)HE 9 多层膜 204 <h).fX 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Uxfl_@lJ 9.2 内部透过率 204 K,'*Dz 9.3 内部透射率数据 205 &3F}6W6A 9.4 实例 206 ^9OUzTF 9.5 实例2 210 1n5(S<T 9.6 圆锥和带宽计算 212 >T2LEW 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,#FLM` 10 光学薄膜的颜色 216 B
vo5-P6XY 10.1 导言 216 ~\)qi= 10.2 色彩 216 :A
%^^F% 10.3 主波长和纯度 220 SzwQOs* 10.4 色相和纯度 221 {rfF'@[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ?[<Tx-L 10.6 色差 226 GZS1zTwBL 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 H1GRMDNXOA 10.8 颜色渲染指数 234 HoV^Y6 10.9 色差计算 235 NjPDX>R\K 10.10 参考文献 236 f<=Fsl 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 YjF|XPv+ l 11.1 短脉冲 238 `RU[8@ 2% 11.2 群速度 239 2sNK 11.3 群速度色散 241 NN0$}ac p 11.4 啁啾(chirped) 245 YprHwL 11.5 光学薄膜—相变 245 |(moWY= 11.6 群延迟和延迟色散 246 Uz cx6sw 11.7 色度色散 246 }bN%u3mHws 11.8 色散补偿 249 6S6f\gAM 11.9 空间光线偏移 256 HEL!GC># 11.10 参考文献 258 DRqZ,[!+ 12 公差与误差 260 b" xmqWa 12.1 蒙特卡罗模型 260 g%F"l2M 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 />'V!iWyz 12.2.1 误差工具 267 5aad$f 12.2.2 灵敏度工具 271 1Je9,dd6 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Wg{k$T_> 12.2.2.2 灵敏度分布 275 q~CA0AR 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 qq)0yyL r 12.3 参考文献 276 m)V/L]4 13 Runsheet 与Simulator 277 AL$&|=C-$ 13.1 原理介绍 277 Vpy 2\wZWb 13.2 截止滤光片设计 277 '$4O!YI9@ 14 光学常数提取 289 G}5 #l 14.1 介绍 289 p a}*E 14.2 电介质薄膜 289 ??TMSH 14.3 n 和k 的提取工具 295 KH\b_>wU2 14.4 基底的参数提取 302 1@u2im-O 14.5 金属的参数提取 306 ~GE$myUT\p 14.6 不正确的模型 306 qE'9QQ>:b 14.7 参考文献 311 m<L; 15 反演工程 313 Z/rP"|EuQ 15.1 随机性和系统性 313 sr@j$G#uW5 15.2 常见的系统性问题 314 3=-4%%[M@ 15.3 单层膜 314 G'YH6x, 15.4 多层膜 314 .2J
L$" 15.5 含义 319
eEhr140 15.6 反演工程实例 319 XLMb=T~S 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 E\gim<] 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Z3[S]jC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ~Lc066bLeq 16.1 光学性质的热致偏移 329 nG_6oe*=I 16.2 应力工具 335 %OgS^_tu 16.3 均匀性误差 339 @HZKc\1 16.3.1 圆锥工具 339 E}%hz*Q)( 16.3.2 波前问题 341 uEc<}pV 16.4 参考文献 343 n$xQ[4eH) 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6<K6Y5<6 17.1 引言 345 7d92Pe 17.2 操作数 345 -,K! 18 如何在Function中编写脚本 351 Ltjbxw"Qd 18.1 简介 351 NEa>\K<\ 18.2 什么是脚本? 351 (C]o,7cYS 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 i#%aTRKHd6 18.4 基础 352 /?';
nGq 18.4.1 Classes(类别) 352 NBb6T
V}j 18.4.2 对象 352 !n6wWl 18.4.3 信息(Messages) 352 s+:=I
e 18.4.4 属性 352 }w4QP+ x 18.4.5 方法 353 Y.^=]-n, 18.4.6 变量声明 353 m7T)m0 18.5 创建对象 354 p }[zt#v 18.5.1 创建对象函数 355 pRSOYTebP 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !|c|o*t{ 18.5.3 丢弃对象 356 [pVamE 18.5.4 总结 356 Wu)>U 18.6 脚本中的表格 357 |lv|!]qAma 18.6.1 方法1 357 Zw
wqSyuGf 18.6.2 方法2 357 !n^OM?.4 18.7 2D Plots in Scripts 358 'l,V*5L 18.8 3D Plots in Scripts 359 &~CY]PN. 18.9 注释 360 q&:=<+2" 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 wgd /(8d 18.11 一个更高级的脚本 362 Fd*8N8Pi 18.12 <esc>键 364 86
W0rS[5 18.13 包含文件 365 {}:ToIp 18.14 脚本被优化调用 366 If%/3UJ@ 18.15 脚本中的对话框 368 cyJG8f 18.15.1 介绍 368 %Qk/_ R1 18.15.2 消息框-MsgBox 368 JmEj{K<3I 18.15.3 输入框函数 370 l3 DYg 18.15.4 自定义对话框 371 Xy%p "b< 18.15.5 对话框编辑器 371 ,]b~t0|B 18.15.6 控制对话框 377 }jill+] 18.15.7 更高级的对话框 380 WOh|U4vt 18.16 Types语句 384 &HSq(te 18.17 打开文件 385 8b0d]*q 18.18 Bags 387 QNDHOo>v 18.13 进一步研究 388 r_;9'#&' 19 vStack 389 H.UX,O@ 19.1 vStack基本原理 389 1{P'7IEj 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 : _QCfH 19.3 五棱镜 393 IUtx!.]4 19.4 光束距离 396 9uWY@zu 19.5 误差 399 VE8;sGaJ 19.6 二向分色棱镜 399 p<:!)kt 19.7 偏振泄漏 404 jv&!Kw.Ug 19.8 波前误差—相位 405 'fPdpnJ< 19.9 其它计算参数 405 qoAj]
") 20 报表生成器 406 '}Ri` 20.1 入门 406 w|Nz_3tI 20.2 指令(Instructions) 406 |hr]>P1 20.3 页面布局指令 406 } CfqG?) 20.4 常见的参数图和三维图 407 Zkf0p9h\ 20.5 表格中的常见参数 408 >$ 2V%}; 20.6 迭代指令 408 yeHDa+} 20.7 报表模版 408 tY
<Z'xA? 20.8 开始设计一个报表模版 409 V <bd;m 21 一个新的project 413 Qqlup 21.1 创建一个新Job 414 RVeEkv[qp 21.2 默认设计 415 tr7<]Hm: 21.3 薄膜设计 416 $HJwb-I 21.4 误差的灵敏度计算 420 +o9":dl 21.5 显色指数计算 422 Y/7 $1k 21.6 电场分布 424 im @h -A]0 后记 426 hqRw^2F 有兴趣可以扫码加微联系 <ZB1Vi9}8
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