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m;1'u;
内容简介 W0C{~|e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 pn|p(6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 (rAiDRQ[ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ss/h[4h4h lfXH7jL2~ 讯技科技股份有限公司 Go-wAJ>
4U}zJP(L 目录 lt{lHat1 Preface 1 >'eB2 内容简介 2 lj4%(rB= 目录 i *Yj~]E0`1 1 引言 1 1]_?$)$T 2 光学薄膜基础 2 C:rRK* 2.1 一般规则 2 D~5yj&&T; 2.2 正交入射规则 3 GSC{F#:z 2.3 斜入射规则 6 +{5JDyh0 2.4 精确计算 7 x(rd$oZO 2.5 相干性 8 *Kp}B}}J 2.6 参考文献 10 ~g*Y,
Y 3 Essential Macleod的快速预览 10 <9ePi9D( 4 Essential Macleod的特点 32 oSN8Xn*qr 4.1 容量和局限性 33 J 5Wz4`' 4.2 程序在哪里? 33 *^X#Eb 4.3 数据文件 35 C usVW 4.4 设计规则 35 :0WkxEY9 4.5 材料数据库和资料库 37 ".Lhte R? 4.5.1材料损失 38 !'Pk
jP 4.5.1材料数据库和导入材料 39 z\e>DdS 4.5.2 材料库 41 +8Of-ZUx 4.5.3导出材料数据 43 )?F$-~7 4.6 常用单位 43 1P(%9 4.7 插值和外推法 46 wCV>F- 4.8 材料数据的平滑 50 #DQX<:u 4.9 更多光学常数模型 54 Fl B, (Cm 4.10 文档的一般编辑规则 55 =Dh$yC-Zr 4.11 撤销和重做 56 ]|Ow_z8
O 4.12 设计文档 57 u(8 _[/_B 4.10.1 公式 58 Oyi;bb<# 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 c_@XQ&DC` 4.10.3 沉积密度 59 ~!8%_J _ 4.10.4 平行和楔形介质 60 Tg3:VD 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8]sTX9 4.10.4 性能 61 I++W0wa.n 4.10.5 保存设计和性能 64 U(rr vNt:t 4.10.6 默认设计 64 6.7`0v?,n 4.11 图表 64 \Pw8wayr% 4.11.1 合并曲线图 67 tn"Y9
k| 4.11.2 自适应绘制 68 H @_eFlT t 4.11.3 动态绘图 68 M,.b`1-w 4.11.4 3D绘图 69 "}S9`-Wd| 4.12 导入和导出 73 AeNyZ[40T 4.12.1 剪贴板 73 WpXODkQL 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Py|H?
, 6= 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Q
mb[ e> 4.13 背景 77 UiJ^~rn 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 RY\{=f 4.15 生成Rugate 84 >E//pr)_Km 4.16 参考文献 91 s,1pZT <E 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 @m+pr\h( 5.1 Jobs 92 j~+[uzW98 5.2 创建一个新Job(工作) 93 S
23S.]r 5.3 输入材料 94 JK@izI 5.4 设计数据文件夹 95 Iq4 Kgc 5.5 默认设计 95 0MwG}|RC 6 细化和合成 97 mr:kn0 6.1 优化介绍 97 8vz_~p9%j 6.2 细化 (Refinement) 98 t`
}20=I+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 }u(d'9u 6.4 目标和评价函数 101 )z]q"s5 Y 6.4.1 目标输入 102 anHBySI3 6.4.2 目标 103 B'G*y2UnG 6.4.3 特殊的评价函数 104
91-P)%? 6.5 层锁定和连接 104 3v9gb,)y\ 6.6 细化技术 104 5en
[)3E 6.6.1 单纯形 105 Y0/jH2 n 6.6.1.1 单纯形参数 106 '#cT4_D^lI 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 qPFG+~\c 6.6.2.1 Optimac参数 108 `A4QU,0
8h 6.6.3 模拟退火算法 109 pr0@sri@ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 "/4s8.dw+u 6.6.4 共轭梯度 111 !A'`uf4u 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 F<PWBs% 6.6.5 拟牛顿法 112 p/\$P= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 OYqYI!N/ 6.6.6 针合成 113 <Dt/Rad 6.6.6.1 针合成参数 114 % j[O&[s}
6.6.7 差分进化 114 -4*'WzWr 6.6.8非局部细化 115 ,cGwtt( 6.6.8.1非局部细化参数 115 xZ9}8*Q&: 6.7 我应该使用哪种技术? 116 bR>o!(M'Z\ 6.7.1 细化 116 "!%w9 6.7.2 合成 117 veYsctK~ 6.8 参考文献 117 aBqe+FXp4 7 导纳图及其他工具 118 l5\B2 +}7 7.1 简介 118 b'Fx), 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <
"L){$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 <F#*:Re_y 7.2.2 导纳图 120 <FUqD0sQ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 egxJ3. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $nGbT4sc 7.5 斜入射导纳图 141 U:mq7Rd8 7.6 对称周期 141 @\%)'WU 7.7 参考文献 142 48 c
D3w 8 典型的镀膜实例 143 D&z'tf5 8.1 单层抗反射薄膜 145 RvyBg:Aj5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 t_dw}I 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 SQ~N X) 8.4 W-膜层 148 !^>LOH>j 8.5 V-膜层 149 Kc JP^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 *f0.= ? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 c:h.J4mv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 6mI_Q2 8.9 四层抗反射薄膜 153 Y2=Brtc[@ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 m'Ek p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 9%3 r-U= 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 }Ke}rM< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 O, ``\(P 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 s{"`=dKT 8.15十五层宽带抗反射膜 159 fcE/ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 68'-1} 8.17 1/4波长堆栈 162 we:5gK& 8.18 陷波滤波器 163 `L"p)5H 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 m]-v IUpb 8.20 褶皱 165 ;G4HMtL 8.21 消偏振分光器1 169 gq/ePSa 8.22 消偏振分光器2 171 AjL?Qh4 8.23 消偏振立体分光器 172 aiR|.opIb 8.24 消偏振截止滤光片 173 (:fE _H2z 8.25 立体偏振分束器1 174 Y6;0khp 8.26 立方偏振分束器2 177 A<YZBR_ 8.27 相位延迟器 178 D)O6|DiO 8.28 红外截止器 179 7/D9n9F 8.29 21层长波带通滤波器 180 SQ^^1.V&/Y 8.30 49层长波带通滤波器 181 9aF.. 8.31 55层短波带通滤波器 182 s!j(nUd/ 8.32 47 红外截止器 183 +QXYU8bYZ 8.33 宽带通滤波器 184 H4y1Hpa, 8.34 诱导透射滤波器 186 F)E7(Un`8 8.35 诱导透射滤波器2 188 .kB3jfw0, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 XZep7d} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 _ntW}})K 8.35 增益平坦滤波器 193 *xv/b= 8.38 啁啾反射镜 1 196 9?}rpA`P 8.39 啁啾反射镜2 198 *0&i'0> 8.40 啁啾反射镜3 199 #)PGQ)( 8.41 带保护层的铝膜层 200 t5X^(@q4N 8.42 增加铝反射率膜 201 ^+-L;XkeY 8.43 参考文献 202 J++sTQ(!? 9 多层膜 204 q*RaX
4V 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 1(:=jOfk 9.2 内部透过率 204 DETajf/<F 9.3 内部透射率数据 205 j6R{ 9.4 实例 206 St7D.| 9.5 实例2 210 k9_VhR|! 9.6 圆锥和带宽计算 212 (!>g8=`" 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
wWOT*R_ 10 光学薄膜的颜色 216 ]:E! i^C`Z 10.1 导言 216 #hE3~+i 10.2 色彩 216 QzFv ; 10.3 主波长和纯度 220 g]iy-,e 10.4 色相和纯度 221 :WfB!4%! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 UwL"%0u 10.6 色差 226 LHHDt<+B 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 E?m#S 10.8 颜色渲染指数 234 VI|DMx
10.9 色差计算 235 /qkIoF2 10.10 参考文献 236 zy/tQGTr@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 L1Cn 11.1 短脉冲 238 !{]v='
11.2 群速度 239 d"d)<f
11.3 群速度色散 241 XM@-Y&c$A 11.4 啁啾(chirped) 245 yz2oS|0 ' 11.5 光学薄膜—相变 245 li_pM!dWU_ 11.6 群延迟和延迟色散 246 $NGtxZp 11.7 色度色散 246 l LD)i J1 11.8 色散补偿 249 0p>:rU~ 11.9 空间光线偏移 256 SVs~, 11.10 参考文献 258 Ay"2W%([` 12 公差与误差 260 t!=~5YgKs 12.1 蒙特卡罗模型 260 SK c
T 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 RkH oT^
12.2.1 误差工具 267 v/TlXxfil 12.2.2 灵敏度工具 271 E=1/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 zWmo
OnK 12.2.2.2 灵敏度分布 275 l3 pW{p 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 q=0{E0@9({ 12.3 参考文献 276 Yqhz(&*) 13 Runsheet 与Simulator 277 !,JT91 13.1 原理介绍 277 -Ib+ /' 13.2 截止滤光片设计 277 (+Kof 14 光学常数提取 289 -TU{r_!Z( 14.1 介绍 289 H'h4@S 14.2 电介质薄膜 289 ]BQWA 14.3 n 和k 的提取工具 295 ^1Zq0 14.4 基底的参数提取 302 p:Ld)U * 14.5 金属的参数提取 306 seV;f^-hR 14.6 不正确的模型 306 C(|T/rQ- 14.7 参考文献 311 ^Lv^W 15 反演工程 313 4FHX#` 15.1 随机性和系统性 313
s8_NN 15.2 常见的系统性问题 314 l[\,*C 15.3 单层膜 314 @~U6=(+ 15.4 多层膜 314 >A(?P n{|a 15.5 含义 319 I'%H:53^0 15.6 反演工程实例 319 >RqT7n8h 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 2hA66ar{$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 fJ"~XTN}T 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 NF\^'W@N 16.1 光学性质的热致偏移 329 E~@HC 5.M 16.2 应力工具 335 H.mQbD`X 16.3 均匀性误差 339 U;Y}2 16.3.1 圆锥工具 339 19-yM`O 16.3.2 波前问题 341 GoVPo' 16.4 参考文献 343 -"dy z( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4k2c mM$ 17.1 引言 345 K#C56k q& 17.2 操作数 345 iN/!k.ybW} 18 如何在Function中编写脚本 351 HYYx*CJ) 18.1 简介 351 @?cXa: tX 18.2 什么是脚本? 351 ~Ow23N 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 qH$rvD!] 18.4 基础 352 -0IFPL8 18.4.1 Classes(类别) 352 FjLv*K[#d 18.4.2 对象 352 (kNTXhAr4 18.4.3 信息(Messages) 352 BaTOh'52 18.4.4 属性 352 !2M[ 18.4.5 方法 353 GKx,6E#JM 18.4.6 变量声明 353 y~ 4nF 18.5 创建对象 354 ecI
2]aKi 18.5.1 创建对象函数 355 ,Yprk%JT 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 otH[?c?BT 18.5.3 丢弃对象 356 M*@aA
XM 18.5.4 总结 356 u{nWjqrM*5 18.6 脚本中的表格 357 XoQk'7"f 18.6.1 方法1 357 %ih7Jt 18.6.2 方法2 357 u.4vp]eU 18.7 2D Plots in Scripts 358 KY34 'Di 18.8 3D Plots in Scripts 359 nC{rs+P 18.9 注释 360 ~+iJpW 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =2)$|KC 18.11 一个更高级的脚本 362 z.Kq}r ^ 18.12 <esc>键 364 >rS< |