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PHQ99&F1 内容简介 C{P:1ELYXH Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2kVQ#JyuRI 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 bx=9XZ9g 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Nkg^;-CV0 `]4bH,%~ 讯技科技股份有限公司 2&d|L|->
H=(Zx 目录 =>,X)+O Preface 1 mUjM5ceAXO 内容简介 2 xr).ZswQ 目录 i V{yk 1 引言 1 =X}s^KbI{
2 光学薄膜基础 2 0rj50$~$] 2.1 一般规则 2 i+eDBg6 2.2 正交入射规则 3 -Gmg&yQ9 2.3 斜入射规则 6 Jyo(Etp 2.4 精确计算 7 G>w+J'7 2.5 相干性 8 Xwt}WSdF`k 2.6 参考文献 10 ZIikDih1 3 Essential Macleod的快速预览 10 d0 qc%.s 4 Essential Macleod的特点 32 1]]#HTwX 4.1 容量和局限性 33 Nvj0MD{ X 4.2 程序在哪里? 33 l fJ
lXD 4.3 数据文件 35 ;iTZzmB 4.4 设计规则 35 {;E]#=| 4.5 材料数据库和资料库 37 G
"`t$=0 4.5.1材料损失 38 5;Q9Z1
` 4.5.1材料数据库和导入材料 39 NB?y/v 4.5.2 材料库 41 <n{-&;> 4.5.3导出材料数据 43 Rg6/6/ IN 4.6 常用单位 43 :zLeS- 4.7 插值和外推法 46 !;h`J:dN 4.8 材料数据的平滑 50 l"app]uVZ 4.9 更多光学常数模型 54 HA0Rv#p 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~#y( ]Xec2 4.11 撤销和重做 56 ?)L X4GY 4.12 设计文档 57 $3je+=ER 4.10.1 公式 58 '5
kSr( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?Q G?F9? 4.10.3 沉积密度 59 q_[V9 4.10.4 平行和楔形介质 60 l~c# X3E 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ZAa:f:[#f 4.10.4 性能 61 &NB"[Mm:@ 4.10.5 保存设计和性能 64 ypV>* 4.10.6 默认设计 64 !R@s+5P)U 4.11 图表 64 v JPX`T| 4.11.1 合并曲线图 67 #xBh62yIuP 4.11.2 自适应绘制 68 fs;pX/:FR 4.11.3 动态绘图 68 >{@:p`* 4.11.4 3D绘图 69 kcyT#'=j 4.12 导入和导出 73 u[~= a5:4 4.12.1 剪贴板 73 )9'Zb`n 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 mdy+ >e< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4VrL@c
@ 4.13 背景 77 3?:?dy(3z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 E{W(5.kb;i 4.15 生成Rugate 84 +!Lz]@9K 4.16 参考文献 91 3}25=%;[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >P[BwL] 5.1 Jobs 92 Xl\yOMfp 5.2 创建一个新Job(工作) 93 7zEpuw 5.3 输入材料 94 BFH=cs 5.4 设计数据文件夹 95 S1D;Xv@ 5.5 默认设计 95 $mLiEsJ 6 细化和合成 97 iyr'9BA 6.1 优化介绍 97 zPt0IB_j' 6.2 细化 (Refinement) 98 fOkB|E] 6.3 合成 (Synthesis) 100 e=Teq~K 6.4 目标和评价函数 101 $1bx\
6.4.1 目标输入 102 vQhi2J' 6.4.2 目标 103 TB(!*t 6.4.3 特殊的评价函数 104 m0_B[dw 6.5 层锁定和连接 104 &p6^
6.6 细化技术 104 fw+ VR.#2H 6.6.1 单纯形 105 9G"-~C"e3 6.6.1.1 单纯形参数 106 (043G[H'. 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 B#Z-kFn@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 2z615?2_U 6.6.3 模拟退火算法 109 8@J5tFJ&% 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ![CF
>:e 6.6.4 共轭梯度 111 \(a!U,]LM 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 k%fy 6.6.5 拟牛顿法 112 ZK8I f?SD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 N_qKIc_R
6.6.6 针合成 113 ("-`Y'"K 6.6.6.1 针合成参数 114 k:k!4 6.6.7 差分进化 114 6kM'f}t[C 6.6.8非局部细化 115 !|`vW{v 6.6.8.1非局部细化参数 115 FST}:*dOe5 6.7 我应该使用哪种技术? 116 !-Br? 6.7.1 细化 116 k=8L hO 6.7.2 合成 117 .,7ZDO9{ 6.8 参考文献 117 Imm|5-qJ 7 导纳图及其他工具 118 R4P$zB_<2 7.1 简介 118 3PU'd^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 aB+B1YdY" 7.2.1 四分之一波长规则 119 1?5UVv_F 7.2.2 导纳图 120 GYM6 ` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 96.Vm*/7 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 I7/X6^/} 7.5 斜入射导纳图 141 6K
6uB
~ 7.6 对称周期 141 kx_PMpc 7.7 参考文献 142 EU@XLm6 8 典型的镀膜实例 143 xPJ
kadu 8.1 单层抗反射薄膜 145 n`af2I2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 8
y+N l&"V 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 wM#BQe3t# 8.4 W-膜层 148 1[Ffl^\ARp 8.5 V-膜层 149 .ugQH<B 8.6 V-膜层高折射基底 150
e+=IGYC 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 [J6b5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 #w:6<$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 ]psx\ZMa 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 #v QyECf 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?=X_a{}/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Vn1hr;i] 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 v'zj<|2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \r+8}8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 7TN94@kCF 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |#D$9+ 8.17 1/4波长堆栈 162 byUz 8.18 陷波滤波器 163 L4,Ke 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 J)xc mK 8.20 褶皱 165 3x{2Dh i 8.21 消偏振分光器1 169 b!ea(D!: 8.22 消偏振分光器2 171 6}EC)j;Fw 8.23 消偏振立体分光器 172 ]A2l%V_7 8.24 消偏振截止滤光片 173 I N'a5&.. 8.25 立体偏振分束器1 174 kW=GFj)L 8.26 立方偏振分束器2 177 t% f6P 8.27 相位延迟器 178 _^)<d$R< 8.28 红外截止器 179 ugI9rxT]Kv 8.29 21层长波带通滤波器 180 30Z RKrW"~ 8.30 49层长波带通滤波器 181 "RF<i3{S 8.31 55层短波带通滤波器 182 3h|:ew[ 8.32 47 红外截止器 183 $SmmrM 8.33 宽带通滤波器 184 +Eh^j3W 8.34 诱导透射滤波器 186 l[EjtN 8.35 诱导透射滤波器2 188 $M T'ZM 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Aj;F$(su 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !7O!)WJ 8.35 增益平坦滤波器 193 iS"( 8.38 啁啾反射镜 1 196 =(~UK9` 8.39 啁啾反射镜2 198 uM^eoh_ 8.40 啁啾反射镜3 199 -b4#/q+bb+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 ZAG iaq 8.42 增加铝反射率膜 201 #*<*|AwoW| 8.43 参考文献 202 F9Ag687w 9 多层膜 204 l`vb 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 R]7-6 9.2 内部透过率 204 ]$>O-- 9.3 内部透射率数据 205 -K_p?
l 9.4 实例 206 z|V5/" 9.5 实例2 210 ~Zc=FP:1 9.6 圆锥和带宽计算 212 y2U^7VrO 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 2y&m8_s-p 10 光学薄膜的颜色 216 O,kzU,zOs 10.1 导言 216 (,gpR4O[ 10.2 色彩 216 %Hk9.1hn5 10.3 主波长和纯度 220 HCI|6{k 10.4 色相和纯度 221 V2I"m 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 rR4_=S<Mi: 10.6 色差 226 ]S6`",+)<f 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 mOb*VH 10.8 颜色渲染指数 234 YFVNkBO% 10.9 色差计算 235 4X@
<PX5 10.10 参考文献 236 V #0F2GV<, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 DB'd9< 11.1 短脉冲 238 3f2%+2Zjt, 11.2 群速度 239 /-qSYS( 11.3 群速度色散 241 hZE" 8%\q 11.4 啁啾(chirped) 245 ' {L5 3cH= 11.5 光学薄膜—相变 245 g{zvks~it 11.6 群延迟和延迟色散 246 9U_uw
Rv2 11.7 色度色散 246 \G?GX 11.8 色散补偿 249 xm}9(EJ 11.9 空间光线偏移 256 (RR:{4I 11.10 参考文献 258 G/nSF:r p 12 公差与误差 260 :@:i*2= 12.1 蒙特卡罗模型 260 Zz<k^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 }dl[~iKW 12.2.1 误差工具 267 R&cOhUj22J 12.2.2 灵敏度工具 271 :esHtkyML 12.2.2.1 独立灵敏度 271 oh
k.; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 IcM99'P( 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 |0A"3w 12.3 参考文献 276 v`"z
13 Runsheet 与Simulator 277 Q`"gKBN1 13.1 原理介绍 277 HJVi:;o
13.2 截止滤光片设计 277
p&SxR}h 14 光学常数提取 289 W=fw*ro 14.1 介绍 289 4!pMZ<$3 14.2 电介质薄膜 289 uES|jU{]b 14.3 n 和k 的提取工具 295 U{vt9t 14.4 基底的参数提取 302 0j^QY6 14.5 金属的参数提取 306 8E:8iNbF 14.6 不正确的模型 306 Zl69d4vG 14.7 参考文献 311 I%]~]a 15 反演工程 313 }pJ6CW 15.1 随机性和系统性 313 $TON`+lB 15.2 常见的系统性问题 314 9 )1 8 15.3 单层膜 314 '?Mt*%J@=$ 15.4 多层膜 314 }Ut*Y* 15.5 含义 319 CdCo+U5z{ 15.6 反演工程实例 319 Yj/aa0Ka4 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 p5 |.E 15.6.2 反演工程提取折射率 327 rBd}u+:* 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 |,*N>e 16.1 光学性质的热致偏移 329 ]Ek6EuaK 16.2 应力工具 335 !_Z\K$Ns 16.3 均匀性误差 339 D#ZzhHHP 16.3.1 圆锥工具 339 C&\MDOjx 16.3.2 波前问题 341 +gZg7]!Z 16.4 参考文献 343 M#BM`2!s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 q\2q3}n 17.1 引言 345 k[9~Er+ 17.2 操作数 345 ~=$0=)c 18 如何在Function中编写脚本 351 >WfkWUb 18.1 简介 351 {MP8B'r-6 18.2 什么是脚本? 351 {BkTJQ) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 L *a:j 18.4 基础 352 xq`mo 18.4.1 Classes(类别) 352 T r|B:)X 18.4.2 对象 352 ]ow$VF{y 18.4.3 信息(Messages) 352 42* y27Dtm 18.4.4 属性 352 BHoy:Tp 18.4.5 方法 353 Gk<M@d^hQ 18.4.6 变量声明 353 :@BAiKa[wa 18.5 创建对象 354 bXVH7F y 18.5.1 创建对象函数 355 =L,s6J8_' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 {+`'ZU6C 18.5.3 丢弃对象 356 ;DQ{6( 18.5.4 总结 356 #&fi[|%X$ 18.6 脚本中的表格 357 -~ w5yd 18.6.1 方法1 357 eIZ7uSl 18.6.2 方法2 357 cK()_RB# 18.7 2D Plots in Scripts 358 |;~kHc$W 18.8 3D Plots in Scripts 359 %sd1`1In 18.9 注释 360 (OA-Mgyc 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 W6~aL\[ 18.11 一个更高级的脚本 362 DRp h?V\ 18.12 <esc>键 364 M]FA
y "E 18.13 包含文件 365 iME)Jl& 18.14 脚本被优化调用 366 $ z4JUr!m 18.15 脚本中的对话框 368 g+g0iS 18.15.1 介绍 368 'CF?pxNQ l 18.15.2 消息框-MsgBox 368 R,]J~TfPK 18.15.3 输入框函数 370 Y[_{tS#u 18.15.4 自定义对话框 371 <+7]EwVcn^ 18.15.5 对话框编辑器 371 S&yKi 18.15.6 控制对话框 377 ~3f`= r3/. 18.15.7 更高级的对话框 380 |6]2X W 18.16 Types语句 384 ;iol 2 18.17 打开文件 385 1L~y!il 18.18 Bags 387 ~>& |