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课程编号CS240016 v4C3uNW :Fnzi0b 时间地点 PqI
jzQ I>u 易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，主要从事
光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率
激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空
镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。
;M-,HK4= umryA{Ps %_)b>C18 y 课程简介 _Qg{ ; C[g&F 0 6 随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计
模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。
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EFWo 课程大纲 FbuKZp+ R@&?i=gk 1. Essential Macleod软件介绍1.1 介绍
软件 PYaOH_X. 1.2 创建一个简单的设计1.3 绘图和制表来表示性能
.jCk#@+ 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann）
"(N-h\7Ex9 1.6 特定设计的公式技术1.7 交互式绘图
gsi<S6DQ8 2. 光学薄膜理论基础2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算
cmae&Atotw 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响
3. 材料管理 v >NTh 3.1 材料模型3.2 介质薄膜光学常数的提取
[XxA.S)x3 3.3 金属薄膜光学常数的提取3.4 基板光学常数的提取
q4 $sc_0i 4. 光学薄膜设计优化方法4.1 参考
波长与g
oR7 7` 4.2 四分之一规则4.3 导纳与导纳图
|N XFla 4.4 斜入射光学导纳4.5 光学薄膜设计的进展
m8p4U-*j 4.6 Macleod软件的设计与优化功能4.6.1 优化目标设置
4@gl4&<h 4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法）4.6.3 膜层锁定和链接
CO7CNN 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用5.1 减反射薄膜
uQ-WTz|* 5.2 分光膜5.3 高反射膜
6mX: =Q 5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片
pc^E 'h: 5.6 负滤光片5.7 非均匀膜与Rugate滤光片
8`6
LMQ 5.8 仿生蛾眼/复眼结构5.9 颜色膜
1/!nV 5.10 Vstack薄膜设计示例5.11 Stack应用范例说明
lf}?!*V`+ 6. 薄膜性能分析6.1 电场分布
ayHn _ 6.2 公差与灵敏度分析6.3 反演工程
5t TLMZ `o 6.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真
7. 真空技术 ]D?oQ$ q 7 7.1 常用真空泵介绍7.2 真空密封和检漏
4U:DJ_GN 8. 薄膜制备技术8.1 常见薄膜制备技术
dnk1M u< 9. 薄膜制备工艺9.1 薄膜制备工艺因素
VB}P Ng 9.2 薄膜均匀性修正技术9.3 光学薄膜监控技术
Gl=@>Dc% 10. 激光薄膜10.1 薄膜的损伤问题
r*xq(\v 10.2 激光薄膜的制备流程10.3 激光薄膜的制备技术
= xl7vHn7 11. 光学薄膜特性测量11.1 薄膜
光谱测量
A-}PpH~.Z 11.2 薄膜光学常数测量11.3 薄膜应力测量
sY&r bJ(P 11.4 薄膜损伤测量11.5 薄膜形貌、结构与组分分析
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