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摘要 `aOFs+<) s
n8Qk=K 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 aS>u,=C Na<pwC 设计和建模任务 CXH&U@57{ ))qy;Q,
.#EFLXs 1y:-N6 导入现有结构文件 .j ?W>F b!+hH Hv: 8=!D$t\3 平面波 Lc}LGq! 波长(486,587,656)nm y5vvu>nd 视场角(40°) &5>Kl}7 x方向线偏振光 EfqX
y>W Q-(zwAaE ,<.V7(|t) 衍射透镜 &j;wCvE4+ 波前相位相应 Q3 ea{!r 真实衍射器件结构 |NlO7aQ>2H <;lkUU(WT2
Q1Kfi8h}' \<bx[,? 离焦 ]>!K3kB xH ]Ct~md
pd?Mf=># [DuttFX^x 球差 jVi) Efy EAUEQk?9
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GC-5X`Sq cTifC1Pf 彗差 hDDn,uzpd I^.Om])
/WcG{Wdp Z{*\S0^ST 二阶彗差 sJKI! /PVk{3
&$+AXzn }{Pp]*I<A 三叶草像差 9X6h 3l~^06D
xo^b&ktQd l$KA)xbI VirtualLab Fusion 技术 A`%k:@ w7L{_aom
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