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摘要 ,%yjEO X >C*(/a 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 hbzU?_} OZs^c2
W 设计和建模任务 TU7 Qt< j:\MrYt0H
6:#zlKYJ s9@/(_ 导入现有结构文件 V-Oy< K1]H~' b_:]Y<{> f 平面波 p,Qr9p3y 波长(486,587,656)nm pMKnA.| 视场角(40°) VE6
V^6SL x方向线偏振光 kR3g,P{L n0:'h}^ tQ&.;{5[f 衍射透镜 ~q5" ' 波前相位相应 # 4L[8(+V 真实衍射器件结构 3Gubq4r "k o?AUt
-1;BwlL PV<=wc^ 离焦 g[!t@K <,$(,RX
M,7A|?O 6sJN@dFA 球差 s`B]+ AKk6kI8F
BT.;l I c=p`5sN) 像散 }OZp[V 61L
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FR&4i" + &MKG#Y} 二阶彗差 ^ ]02)cK `?r]OVe{y
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