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摘要 [kf6bf@ dhjX[7Bl9 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 Eq|5PE^7 E0AbVa. 设计和建模任务 QP/ZD|/ t1 \q\"=
ZUkM8M$c .N7<bt@~) 导入现有结构文件 BA[ uO3\4 ,^RZ1tLz ST2:&xH( 平面波 ^a<kp69qS 波长(486,587,656)nm g(9kc<`3'D 视场角(40°) Gt)ij?~ x方向线偏振光 /24}>oAH C]Y%dQh+a =R<92v 衍射透镜 J/IRCjQ} 波前相位相应 *d`KD64 真实衍射器件结构 D5!#c-Y- N0%q66]1
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