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摘要 LLU>c]a 6zNN 8 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 {@3=vBl%O+ t8^*s<O 设计和建模任务 rhUZ9Fdv [Zua7&( 5
'7=*n_l #u2PAZ@qd 导入现有结构文件 G-:DMjvN OZv&{_b_ uZ'5&k96T 平面波 k5PzY!N 波长(486,587,656)nm hpw;w}m 视场角(40°) Uz62!) x方向线偏振光 v'iQLUgI _e-a>y o= 8yp2vG 衍射透镜 @lBH@HR=C 波前相位相应 ?dTz?C.w 真实衍射器件结构 Lh. L~M1X Dljq
+)F8YMg
e Q.8Jgel1 离焦 \ oL+O| OrRve$U*|
I/@Xr D1Fc7!TV 球差 |X_yL3`Zb hz/5k%%UX
=!{dKz-& !}vz_6) 像散 i\PN lOEbh
f< '~K iI_Fbw8 彗差 2Nj0 Hqjq
t qER;L
*/qv} UkGUxQ,GU 二阶彗差 VX- f~ %b_zUFHPp
2h/`RefHJ z3$PrK% 三叶草像差 ciXAyT cG 1o$<pZZ
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