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摘要 p=odyf1hK huW,kk<]y 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 7hTpjox2 ea]qX6)UZ 设计和建模任务 I]hjv ` FOCX;
`mA;1S *<X1M~p$ 导入现有结构文件 (cyvE}g KIp^|
k7> 'v9M`` 平面波 *ow`}Q 波长(486,587,656)nm Q6D>(H#"0 视场角(40°) R:$E'PSx x方向线偏振光 8d_J9Ho r8?p6E 8&M<?oe 衍射透镜 dr c-5{M 波前相位相应 (Gw*xsn 1 真实衍射器件结构 {Wi*B( 3n)$\aBE
|'z24 :8 CAC%lp 离焦 @HPr;m! Cf9{lhE8
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xT]t3'y|- ~\<$H' 像散 fgeh;cD e4,SR(O>
jU~ x^Y :L@n(buRN 彗差 +<.o,3 ]WY V
CgmAxcK f}"eN/T 二阶彗差 <g%A2lI =Y81h-
ch:rAx |Q%P4S"B? 三叶草像差 ah hl C#nT@;VO5
A&)2m tT>LOI_z VirtualLab Fusion 技术 ?tL' X !u@P\8M}
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