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摘要 CN ( : B
E8_.> 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ; 8DtnnE n@ba>m4{
/huh}&NNu 'A.5T%n- 1. 建模任务 3%(r,AD "GZ}+K*GG
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2. 结果 y[.lfW?) FWW@t1)
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