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摘要 A3$
rPb8 [FF%HRce,. 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Z%(aBz7Et z)43+8 ;
D~NH 4B FT `y3~ 1. 建模任务 \&@Tq-o [rqq*_eB
f7d) 9e=F 2. 结果 jY87NHg *bmk(%g
3_^w/-7`B d cPh@3
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