y+$a}=cb0 内容简介 XZj3x',; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
<(BIWm* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
-;GB Xq 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
F-2Q3+7$ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
%Wt F\p ro18%'RRI 目录 kjOI7` DU Preface 1
M0woJt[& 内容简介 2
r9~I R 目录 i
lk4$c1ao2@ 1 引言 1
h`Xl~= 2 光学薄膜基础 2
?)e6:T( 2.1 一般规则 2
+"PME1 2.2 正交入射规则 3
J|e3
UikA 2.3 斜入射规则 6
L}>ts(!q& 2.4 精确计算 7
gX/? 2.5 相干性 8
0t)5K O 2.6 参考文献 10
KZ|p_{0& 3 Essential Macleod的快速预览 10
10m`LG 4 Essential Macleod的特点 32
CjLiLB
4.1 容量和局限性 33
UZu.B!4 4.2 程序在哪里? 33
@gm!D`YL 4.3 数据文件 35
*.+N?%sAP) 4.4 设计规则 35
2z9N/SyN 4.5 材料数据库和
资料库 37
k<%y+v 4.5.1材料损失 38
s h}eKwh 4.5.1材料数据库和导入材料 39
ccgV-'IG9 4.5.2 材料库 41
lt#3&@<v
4.5.3导出材料数据 43
G[Jz(/yNH 4.6 常用单位 43
6v&@Rlg 4.7 插值和外推法 46
29f4[V X 4.8 材料数据的平滑 50
/mnV$+BE 4.9 更多光学常数模型 54
nT@FSt 4.10 文档的一般编辑规则 55
mWH;-F*% 4.11 撤销和重做 56
{\ogw0X 4.12 设计文档 57
)h/Qxf 4.10.1 公式 58
l,ra24 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
@|@6pXR. 4.10.3 沉积密度 59
g HKA:j`c 4.10.4 平行和楔形介质 60
me@EKspX 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
?wMS[Kj 4.10.4 性能 61
3y*dBw 4.10.5 保存设计和性能 64
A"~Oi 4.10.6 默认设计 64
M/jdMfU 4.11 图表 64
(2r808^2 4.11.1 合并曲线图 67
- _BjzA| 4.11.2 自适应绘制 68
oNRp 4.11.3 动态绘图 68
p
i \SRDP 4.11.4 3D绘图 69
iU4Z9z! 4.12 导入和导出 73
p.!p6ve){ 4.12.1 剪贴板 73
VBe&of+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
2yA+zJ
46B 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
=v~$&@ 4.13 背景 77
Q=#!wWVP 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
z=DK(b;$z 4.15 生成Rugate 84
]}nX$xy 4.16 参考文献 91
&F|Wk,y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
pe-%`1iC0> 5.1 Jobs 92
O\^D
6\ v 5.2 创建一个新Job(工作) 93
IdciGS6t 5.3 输入材料 94
dlc'=M 5.4 设计数据文件夹 95
$TavvO%# 5.5 默认设计 95
);fPir?+ 6 细化和合成 97
j4Y] 8 6.1 优化介绍 97
A}n7A
6.2 细化 (Refinement) 98
qim|= 6.3 合成 (Synthesis) 100
)|<g\>/ 6.4 目标和评价函数 101
]H=P(Z- 6.4.1 目标输入 102
*|)O 6.4.2 目标 103
bs_rw+ 6.4.3 特殊的评价函数 104
}r:8w*47 6.5 层锁定和连接 104
"Kf4v|6; 6.6 细化技术 104
D0rqte 6.6.1 单纯形 105
+fG~m:E 6.6.1.1 单纯形
参数 106
(eO_]<wmky 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
anFl:= 6.6.2.1 Optimac参数 108
[N1[khY` 6.6.3 模拟退火算法 109
z.
xRJ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
mJS-x-@ 6.6.4 共轭梯度 111
fh@/fd 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
rvBKJ!b0 6.6.5 拟牛顿法 112
d$v{oC} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
73(5.'F 6.6.6 针合成 113
|sV@j_TX 6.6.6.1 针合成参数 114
((tWgSZ3 6.6.7 差分进化 114
<F+9#- 6.6.8非局部细化 115
k1M?6TW& 6.6.8.1非局部细化参数 115
[`=:uUf3 6.7 我应该使用哪种技术? 116
2T}FX4' 6.7.1 细化 116
E0"DHjR 6.7.2 合成 117
f'B#h;` 6.8 参考文献 117
ceNJXK 7 导纳图及其他工具 118
(r$QQO)/ 7.1 简介 118
"'mr0G9X 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
3G-f+HN^E 7.2.1 四分之一
波长规则 119
K@;ls 7.2.2 导纳图 120
!6{b)P 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
3Tr}t.mt 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
q|.K&@_'K 7.5 斜入射导纳图 141
<N\#6m 7.6 对称周期 141
d,%@*v]S 7.7 参考文献 142
\DRYqLT` 8 典型的镀膜实例 143
vKNxL^x 8.1 单层抗反射薄膜 145
v@
OM 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
s&Qil07Vl 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
K2t|d[r 8.4 W-膜层 148
?&r>`H E 8.5 V-膜层 149
_JXb|FIp 8.6 V-膜层高折射基底 150
($:JI3e[; 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
5 }F6s 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
PVUNi: h 8.9 四层抗反射薄膜 153
C$fQ[@ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
m4kUA"n5 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
sK`pV8&xq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
[[d@P%X& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
E9n7P'8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
p&,2@(Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Vr%!rQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
O8S"B6?$~' 8.17 1/4波长堆栈 162
Y4n;[nHQ( 8.18 陷波滤波器 163
pM7xnL4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
@ei:/~y3 8.20 褶皱 165
OPwO`pN 8.21 消偏振分光器1 169
t"Djh^=y 8.22 消偏振分光器2 171
RVb}R<yU+ 8.23 消偏振立体分光器 172
bLi>jE.%. 8.24 消偏振截止滤光片 173
](H
vx 8.25 立体偏振分束器1 174
cE0Kvqe` 8.26 立方偏振分束器2 177
@ 6{U*vs 8.27 相位延迟器 178
D^W?~7e^r 8.28 红外截止器 179
;R.l?Bg 8.29 21层长波带通滤波器 180
#3act)m 8.30 49层长波带通滤波器 181
B#;yko 8.31 55层短波带通滤波器 182
bAqaf#}e 8.32 47 红外截止器 183
rC!~4xj- 8.33 宽带通滤波器 184
SgocHpyg 8.34 诱导透射滤波器 186
(~FLG I 8.35 诱导透射滤波器2 188
r)SwV!b 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
=1Mh%/y 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
9K
F`9Y 8.35 增益平坦滤波器 193
1p9+c~4l: 8.38 啁啾反射镜 1 196
#.n%$r 8.39 啁啾反射镜2 198
l+1GA0'JP 8.40 啁啾反射镜3 199
N/fH% AtM 8.41 带保护层的铝膜层 200
Pkw` o # 8.42 增加铝反射率膜 201
@7aSq-(_l* 8.43 参考文献 202
,:QDl 9 多层膜 204
+e%U6&l{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
s8<)lO<SV. 9.2 内部透过率 204
0jN?5j 9.3 内部透射率数据 205
Z[{ :
` 9.4 实例 206
8L7ZWw
d 9.5 实例2 210
qSWnv`hL 9.6 圆锥和带宽计算 212
:h+gSvn: 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
"*E%?MG 10 光学薄膜的颜色 216
U3yIONlt 10.1 导言 216
s$ 2@ |; 10.2 色彩 216
Qm X(s 10.3 主波长和纯度 220
~y(-j[ 10.4 色相和纯度 221
L4'FL?~I 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
IL]VY1'# 10.6 色差 226
yS[Z%]bvU 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
P]G`Y>#$r 10.8 颜色渲染指数 234
-a[]#v9 10.9 色差计算 235
I JAWG 10.10 参考文献 236
R2af>R 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
fscAG\>8 11.1 短脉冲 238
@*gm\sU4 11.2 群速度 239
a9GLFA8Vq 11.3 群速度色散 241
Z)zWfv} 11.4 啁啾(chirped) 245
%?3\gFvBo 11.5 光学薄膜—相变 245
N}3$1=@Y 11.6 群延迟和延迟色散 246
5Go&+|c vJ 11.7 色度色散 246
Ppzd.=E 11.8 色散补偿 249
\&p MF 11.9 空间
光线偏移 256
N@>,gm@UU 11.10 参考文献 258
#D$vH 12 公差与误差 260
ji[O? 12.1 蒙特卡罗模型 260
x^|J- 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
*kXSl73 k 12.2.1 误差工具 267
d4#Q<!r 12.2.2 灵敏度工具 271
<z*SO
a 12.2.2.1 独立灵敏度 271
xPY/J#X$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
vRLkz4z 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
Xh/i5}5 t 12.3 参考文献 276
j3bTa|UdT 13 Runsheet 与Simulator 277
yVyh'd:Ik 13.1 原理介绍 277
tZ]|3wp 13.2 截止滤光片设计 277
D@i,dPz5Zl 14 光学常数提取 289
U3+{!}gn 14.1 介绍 289
DG x9 \8^ 14.2 电介质薄膜 289
\:8 eN}B 14.3 n 和k 的提取工具 295
@83h/Wcxd 14.4 基底的参数提取 302
:4"SJ 14.5 金属的参数提取 306
^IxT.g 14.6 不正确的模型 306
_be*B+?2 t 14.7 参考文献 311
4'W| '4'b 15 反演工程 313
zv]-(<B 15.1 随机性和
系统性 313
zn T85#]\@ 15.2 常见的系统性问题 314
%($qg-x 15.3 单层膜 314
YWSo:)LY 15.4 多层膜 314
,uD F#xjl, 15.5 含义 319
!<!sB) 15.6 反演工程实例 319
\fphM6([RK 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
^A^,/3 15.6.2 反演工程提取折射率 327
I72UkmK` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
9x,Aqr$t 16.1 光学性质的热致偏移 329
*hAeA+: 16.2 应力工具 335
SzR0Mu3uK 16.3 均匀性误差 339
:z%vNKy1 16.3.1 圆锥工具 339
O~g_rcG 16.3.2 波前问题 341
cWl)ZE<hM 16.4 参考文献 343
z= -u89] 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
p;:tzH\l 17.1 引言 345
2B_6un];W 17.2 操作数 345
^CTgo,uf6H 18 如何在Function中编写脚本 351
TR rO- 18.1 简介 351
mD:d,,~ 18.2 什么是脚本? 351
owTW_V 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
rm>;B
*; 18.4 基础 352
Eo\#*Cv* 18.4.1 Classes(类别) 352
J"8bRp=/| 18.4.2 对象 352
D>,]EE- 18.4.3 信息(Messages) 352
EH"iK2n\9 18.4.4 属性 352
Dn _D6H 18.4.5 方法 353
V-CPq 18.4.6 变量声明 353
5j`"@C5;O 18.5 创建对象 354
+~=>72/r 18.5.1 创建对象函数 355
J={$q1@lq 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
S(5.y%"< 18.5.3 丢弃对象 356
??{ (.`}R~ 18.5.4 总结 356
j4le../N 18.6 脚本中的表格 357
StWDNAf) 18.6.1 方法1 357
Tfhg\++u 18.6.2 方法2 357
5oplV(<?*S 18.7 2D Plots in Scripts 358
geWis(#J 18.8 3D Plots in Scripts 359
*Xt#04_ 18.9 注释 360
kf0zL3| 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
AqvRzi(Y 18.11 一个更高级的脚本 362
m?xzx^xs/ 18.12 <esc>键 364
|hehROUn 18.13 包含文件 365
dY/=-ymW 18.14 脚本被
优化调用 366
{$>*~.Wu 18.15 脚本中的对话框 368
rx'},[b]3 18.15.1 介绍 368
<"/Y`/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
JiP]FJ; 18.15.3 输入框函数 370
F&;g<
SD 18.15.4 自定义对话框 371
a@zKi; 18.15.5 对话框编辑器 371
fu9y3` 18.15.6 控制对话框 377
TclZdk]%T 18.15.7 更高级的对话框 380
4r-jpVN~ 18.16 Types语句 384
5?k_Q"~ 18.17 打开文件 385
e}f!zA 18.18 Bags 387
WE4:Jy 18.13 进一步研究 388
P
/wc9Yt 19 vStack 389
eGvHU ;@ 19.1 vStack基本原理 389
b=-<4Vu*\ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
Kom$i<O?48 19.3 五棱镜 393
gPe*M =iF 19.4 光束距离 396
zUXqTcj 19.5 误差 399
9+9}^B5@A 19.6 二向分色棱镜 399
dnNC
=
siY 19.7 偏振泄漏 404
{8Hrb^8! 19.8 波前误差—相位 405
V>@NkQ<|y 19.9 其它计算参数 405
kJ>l,AD/ 20 报表生成器 406
5h+g^{BE 20.1 入门 406
u7fae$:&