5{PT 内容简介 pW
y+oZ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
5 R* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
B.Szp_$ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
fRt`]o:Om 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
|H . Y&![2o.Q 目录 9"g!J|+ Preface 1
C>MEgGP 内容简介 2
dcn/|"jr 目录 i
@ P'("qb~ 1 引言 1
;2&ym)` 2 光学薄膜基础 2
C6PlO 2.1 一般规则 2
7NFRCCXHQ 2.2 正交入射规则 3
?z[k.l+6w 2.3 斜入射规则 6
PLV-De 2.4 精确计算 7
"sD[P3 2.5 相干性 8
D#.N)@\ 2.6 参考文献 10
m9Pzy^g1 3 Essential Macleod的快速预览 10
)<~v~|re 4 Essential Macleod的特点 32
?=},%^ 4.1 容量和局限性 33
gP13n!7 4.2 程序在哪里? 33
qr<+@Q 4.3 数据文件 35
`[(.Q 4.4 设计规则 35
rGqT[~{t 4.5 材料数据库和
资料库 37
VoGyjGt& 4.5.1材料损失 38
J
,s9,(" 4.5.1材料数据库和导入材料 39
Fr|Ts>Kx 4.5.2 材料库 41
#~JR_oQE! 4.5.3导出材料数据 43
f|r+qe 4.6 常用单位 43
A8zh27[w% 4.7 插值和外推法 46
&tjv.t 4.8 材料数据的平滑 50
y@'~fI!E4 4.9 更多光学常数模型 54
*a[iq`499 4.10 文档的一般编辑规则 55
(rT1wup 4.11 撤销和重做 56
iD(+\:E 4.12 设计文档 57
PF+SHT'4}# 4.10.1 公式 58
LJh^-FQ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Kqn{q4L 4.10.3 沉积密度 59
3
{OZdl| 4.10.4 平行和楔形介质 60
z0F'zN3J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
tsWzM9Yf 4.10.4 性能 61
aSEzh78 4.10.5 保存设计和性能 64
}rKKIF^f\S 4.10.6 默认设计 64
aj|gt 4.11 图表 64
DxvD 1u 4.11.1 合并曲线图 67
3;F+.{Icc 4.11.2 自适应绘制 68
u 6"v}gN 4.11.3 动态绘图 68
scZSnCrR 4.11.4 3D绘图 69
TNj WZ 4.12 导入和导出 73
qJZ:\u8oO 4.12.1 剪贴板 73
x 3C^ S~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
hlO,mU 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
\)/dFo\l 4.13 背景 77
:dML+R#Ymh 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
][[\!og 4.15 生成Rugate 84
IV]2#;OO? 4.16 参考文献 91
Gc0/*8u/ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
An2Wj 5.1 Jobs 92
0XLoGQ= 5.2 创建一个新Job(工作) 93
)2Dm{T 5.3 输入材料 94
bmd3fJb`r 5.4 设计数据文件夹 95
WvVf+|Km 5.5 默认设计 95
>=VtL4K^ 6 细化和合成 97
6d#:v"^, 6.1 优化介绍 97
n u!tk$Q 6.2 细化 (Refinement) 98
,b!]gsds 6.3 合成 (Synthesis) 100
vq_v;$9} 6.4 目标和评价函数 101
O@)D%*;v 6.4.1 目标输入 102
cpJ(77e 6.4.2 目标 103
#-^y9B 6.4.3 特殊的评价函数 104
.G/2CVMj 6.5 层锁定和连接 104
,f3Ck*M 6.6 细化技术 104
o8h1 6.6.1 单纯形 105
]4
q6N 6.6.1.1 单纯形
参数 106
iI@m e= 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
>"%}x{| 6.6.2.1 Optimac参数 108
j%TcW!D-_ 6.6.3 模拟退火算法 109
okSCM#&:[2 6.6.3.1
模拟退火参数 109
=zXA0% 6.6.4 共轭梯度 111
/2jw]ekQ' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
<}z,!w8 6.6.5 拟牛顿法 112
KU5|~1t 4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
#>[5NQ;$' 6.6.6 针合成 113
#CcWsI>+w> 6.6.6.1 针合成参数 114
W4V
!7_ 6.6.7 差分进化 114
n+94./Mh 6.6.8非局部细化 115
f !D~aJ 6.6.8.1非局部细化参数 115
r!WXD9# 6.7 我应该使用哪种技术? 116
X{-[
E^X 6.7.1 细化 116
NUjo5.7 6.7.2 合成 117
=c1t]%P, 6.8 参考文献 117
u''~nSR3& 7 导纳图及其他工具 118
HLp9_Y{X. 7.1 简介 118
48t_?2> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
\UR/tlw+/ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
_6/q. 7.2.2 导纳图 120
!ZC0 n` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
O%R*1
P9 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
GJB=5nE 7.5 斜入射导纳图 141
gZ&' J\ 7.6 对称周期 141
uZA^o 7.7 参考文献 142
,f2tG+P 8 典型的镀膜实例 143
HaiaDY) 8.1 单层抗反射薄膜 145
Btu=MUS 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
fD:>cje 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
VfON{ 1g 8.4 W-膜层 148
;+W9EbY2 8.5 V-膜层 149
@ApX43U( 8.6 V-膜层高折射基底 150
FaVeP%v 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
JAA{5@ST 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
Qk_`IlSd 8.9 四层抗反射薄膜 153
@w]z"UCwV@ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
w\f>.N 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
SGUu\yS&s 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Gi*GFv%xB 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
PRi3=3oF 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
]%8f-_fSy 8.15十五层宽带抗反射膜 159
`*to(
) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
xw5LPz;B 8.17 1/4波长堆栈 162
oY$L 8.18 陷波滤波器 163
``j8T[g 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
7\e96+j|f 8.20 褶皱 165
g\O&gNq<)- 8.21 消偏振分光器1 169
v?S~ =$. 8.22 消偏振分光器2 171
LG6k
KG 8.23 消偏振立体分光器 172
( 8}'JvSu 8.24 消偏振截止滤光片 173
3Q-[)Z ) 8.25 立体偏振分束器1 174
&GetRDr 8.26 立方偏振分束器2 177
057$b!A-a 8.27 相位延迟器 178
cHO8%xu` 8.28 红外截止器 179
R:}u(N 8.29 21层长波带通滤波器 180
rDvz2p"R 8.30 49层长波带通滤波器 181
7=gv4arRwt 8.31 55层短波带通滤波器 182
:(o6^%x 8.32 47 红外截止器 183
y!;PBsU%Sx 8.33 宽带通滤波器 184
fvUD'sx 8.34 诱导透射滤波器 186
=Lyo]8>,X 8.35 诱导透射滤波器2 188
acdWU"< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
!o k6*m 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
jj&4Sv#> 8.35 增益平坦滤波器 193
1FO T 8.38 啁啾反射镜 1 196
J|D$ 8.39 啁啾反射镜2 198
[Q+qu>&HB7 8.40 啁啾反射镜3 199
iH#b"h{w 8.41 带保护层的铝膜层 200
3-T}8VsiP 8.42 增加铝反射率膜 201
ag
\d4y6 8.43 参考文献 202
3>I 9 多层膜 204
QaMB=wVr 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
QV@NA@;XZ 9.2 内部透过率 204
i$Sq.NU 9.3 内部透射率数据 205
dU4G! 9.4 实例 206
xO<$xx 9.5 实例2 210
#ErIot 9.6 圆锥和带宽计算 212
OSsxO(;g 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
nfV32D|3 10 光学薄膜的颜色 216
l`}Ag8Q 10.1 导言 216
cIIt ;q[ 10.2 色彩 216
k;?Oi?] 10.3 主波长和纯度 220
dT9ekNQB 10.4 色相和纯度 221
xa?#wY
b 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
O!c b- 10.6 色差 226
KfVLb4@16_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
VZJ[h{ 6 10.8 颜色渲染指数 234
rq.S0bzH 10.9 色差计算 235
ZSu0e% 10.10 参考文献 236
BIr24N 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
5}/TB_W7j 11.1 短脉冲 238
?5oeyBA@ 11.2 群速度 239
5"]t{-PD 11.3 群速度色散 241
g+-=/Ge 11.4 啁啾(chirped) 245
vGT#BS% 11.5 光学薄膜—相变 245
dK45&JHoW^ 11.6 群延迟和延迟色散 246
D<m+M@u 11.7 色度色散 246
-p:X]Ov 11.8 色散补偿 249
#''q :^EQ 11.9 空间
光线偏移 256
L,XWX8 11.10 参考文献 258
1{.=T&eG# 12 公差与误差 260
Viu+#J;l 12.1 蒙特卡罗模型 260
+gQn,HX 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
>+ZD 6l/ 12.2.1 误差工具 267
( _{\tgSm 12.2.2 灵敏度工具 271
<Y(lRM{ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
{[&_)AW6m% 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Z{|U!tn 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
BK_x5mGu3 12.3 参考文献 276
cN{-&\
6L 13 Runsheet 与Simulator 277
*1Lkde@|{ 13.1 原理介绍 277
]/p)XHKo 13.2 截止滤光片设计 277
G(puC4 "& 14 光学常数提取 289
?Q< o-o;B 14.1 介绍 289
3']yjj(gHr 14.2 电介质薄膜 289
!U@?Va~Zn 14.3 n 和k 的提取工具 295
l9J ]<gG 14.4 基底的参数提取 302
|Ki\Q3O1 14.5 金属的参数提取 306
k]n=7vw; 14.6 不正确的模型 306
{ER%r'(4Z 14.7 参考文献 311
8qEK6- 15 反演工程 313
jZm57{C#*? 15.1 随机性和
系统性 313
COx<X\ 15.2 常见的系统性问题 314
kW#{[,7r 15.3 单层膜 314
#l(cBM9sz 15.4 多层膜 314
(L)tC*Qjc
15.5 含义 319
@+v;B: 15.6 反演工程实例 319
P|[i{h 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
]Y3|*t(\ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
rsp?N{e 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
1,p[4k~Ww 16.1 光学性质的热致偏移 329
:>Gm&w
(n 16.2 应力工具 335
axl!zu* 16.3 均匀性误差 339
H-Uy~Ry*T 16.3.1 圆锥工具 339
!,*#e 16.3.2 波前问题 341
~$0Qvyb> 16.4 参考文献 343
EH'?wh|Yp 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
X^PR];V:$ 17.1 引言 345
He4sP`&I 17.2 操作数 345
;P-xKRU!Xx 18 如何在Function中编写脚本 351
f!`,!dZgkd 18.1 简介 351
b@OL!?JP 18.2 什么是脚本? 351
}ST9&wi~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
(9N75uCa 18.4 基础 352
H4HWr6 18.4.1 Classes(类别) 352
"RG.27 18.4.2 对象 352
hi>sDU<x 18.4.3 信息(Messages) 352
Z=sC YLm 18.4.4 属性 352
xud 18.4.5 方法 353
Z#wmEc.}C 18.4.6 变量声明 353
mCtuR*z_ 18.5 创建对象 354
QD0upYG 18.5.1 创建对象函数 355
Z6}B}5@y 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
+"!,rZ7,A 18.5.3 丢弃对象 356
x}G["ZU}v] 18.5.4 总结 356
P`'Nv 18.6 脚本中的表格 357
7XE/bhe%S 18.6.1 方法1 357
Z2Bl$ \ 18.6.2 方法2 357
qA<PF+f 18.7 2D Plots in Scripts 358
"WTnC0< 18.8 3D Plots in Scripts 359
c~0YIk>] 18.9 注释 360
q%=`PCty 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
UW+|1Bj_: 18.11 一个更高级的脚本 362
T jO}P\p 18.12 <esc>键 364
%3 ecV$ 18.13 包含文件 365
C3af>L@} 18.14 脚本被
优化调用 366
#c V_p 18.15 脚本中的对话框 368
$cri"G 18.15.1 介绍 368
~y+QL{P4~ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
Mg.xGST 18.15.3 输入框函数 370
Vcg$H8m 18.15.4 自定义对话框 371
,TTt<&c 18.15.5 对话框编辑器 371
NTk"W!<Cl2 18.15.6 控制对话框 377
n&=3Knbd@d 18.15.7 更高级的对话框 380
L$7
NT}L 18.16 Types语句 384
r%hnl9 18.17 打开文件 385
B
Mh949; 18.18 Bags 387
~Dw.3P:- 18.13 进一步研究 388
3tMFJ ;*` 19 vStack 389
{~a=aOS 19.1 vStack基本原理 389
Akf?BB3bC 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
"
1YARGu 19.3 五棱镜 393
Zqke8q 19.4 光束距离 396
s@C@q(i6 19.5 误差 399
y; Up@.IG 19.6 二向分色棱镜 399
l6.z-Qw 19.7 偏振泄漏 404
$u`y 19.8 波前误差—相位 405
g]9!Pi8jn 19.9 其它计算参数 405
2{zFO3i<3 20 报表生成器 406
=$UDa`}D 20.1 入门 406
AD4KoT& 20.2 指令(Instructions) 406
2HBYReQ 20.3 页面布局指令 406
'G3B02* 20.4 常见的参数图和三维图 407
w{3
B 20.5 表格中的常见参数 408
%ci/(wL 20.6 迭代指令 408
PuAcsYQhN 20.7 报表模版 408
Dh0`t@ 20.8 开始设计一个报表模版 409
-"iGcVV 21 一个新的project 413
r{.DRbn 21.1 创建一个新Job 414
UUy|/z% 21.2 默认设计 415
~p{.4n2: 21.3 薄膜设计 416
XCO{}wU)> 21.4 误差的灵敏度计算 420
pC0l}hnUg 21.5 显色指数计算 422
dI<s)! 21.6 电场分布 424
7vR JQe) 后记 426
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