D'#Q`H 内容简介 @9gZH_ur>E Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
XTJD> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
-o6rY9\_! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
8I#ir4z#< 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
n_e'n|T UUJQc~= 目录 L9D`hefz Preface 1
k k3^m1 内容简介 2
sV 目录 i
MCT1ZZpPr 1 引言 1
M`Er&nQs 2 光学薄膜基础 2
|/*Pimk 2.1 一般规则 2
^QRg9s,T< 2.2 正交入射规则 3
y~
=H`PAE 2.3 斜入射规则 6
J/?Nf2L4 2.4 精确计算 7
p?:5U[KM 2.5 相干性 8
YZBh}l6t 2.6 参考文献 10
37/n"\4 3 Essential Macleod的快速预览 10
WKEb
'^ 4 Essential Macleod的特点 32
my.EvN 4.1 容量和局限性 33
]yU"J:/ 4.2 程序在哪里? 33
!LI<%P) 4.3 数据文件 35
n~* ".ZC'Y 4.4 设计规则 35
<=q}
Nd\ 4.5 材料数据库和
资料库 37
_95296 4.5.1材料损失 38
g\JJkXjD# 4.5.1材料数据库和导入材料 39
`a& kD|Yh 4.5.2 材料库 41
zN4OrG0 4.5.3导出材料数据 43
Nz,yd%ua 4.6 常用单位 43
pIJXP$v3 4.7 插值和外推法 46
`C+<!)2 4.8 材料数据的平滑 50
Pd*[i7zhC 4.9 更多光学常数模型 54
n{;j 4.10 文档的一般编辑规则 55
W_\zx<m 4.11 撤销和重做 56
<$(B [T 4.12 设计文档 57
IY`p7 )#i 4.10.1 公式 58
??rS h Mu 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
?['!0PF 4.10.3 沉积密度 59
7~/ cz_ 4.10.4 平行和楔形介质 60
@w[i%F,&` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
]k0
jmE 4.10.4 性能 61
cj/`m$ 4.10.5 保存设计和性能 64
\c=I!<9 4.10.6 默认设计 64
Lx^ eaP5 4.11 图表 64
?{{w[U6NE 4.11.1 合并曲线图 67
:]^e-p!z 4.11.2 自适应绘制 68
!_<6}:ZB 4.11.3 动态绘图 68
IHl q27O 4.11.4 3D绘图 69
c3A\~tHW 4.12 导入和导出 73
P#,u9EIJ 4.12.1 剪贴板 73
SUncQJJ0S* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
BX,)G HE 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
ggr 4.13 背景 77
)O]T}eI 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
}]?Si6_ZZ 4.15 生成Rugate 84
Ifj&S'(): 4.16 参考文献 91
6OES'3 Cy 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
'y8{,R4C 5.1 Jobs 92
'X`Z1L/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
)D)5
`n) 5.3 输入材料 94
rz?Cn
X.t 5.4 设计数据文件夹 95
kI\m0];KnQ 5.5 默认设计 95
nV;'UpQw 6 细化和合成 97
&|>+LP@8 6.1 优化介绍 97
{f!/:bM 6.2 细化 (Refinement) 98
@
D+ftb/ 6.3 合成 (Synthesis) 100
xvr5$x|h 6.4 目标和评价函数 101
]T4/dk&|o^ 6.4.1 目标输入 102
t8Zo9q> 6.4.2 目标 103
Hd|l6/[xz 6.4.3 特殊的评价函数 104
W?
iA P 6.5 层锁定和连接 104
.J"N} 6.6 细化技术 104
{|+Y;V` 6.6.1 单纯形 105
IUcL* 6.6.1.1 单纯形
参数 106
iHK~?qd} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
Nkdv'e\ 6.6.2.1 Optimac参数 108
CT|+? 6.6.3 模拟退火算法 109
30Q
p^)K 6.6.3.1
模拟退火参数 109
!Brtao"m 6.6.4 共轭梯度 111
=P-&dN 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
INZVe(z 6.6.5 拟牛顿法 112
,g`%+s7 u 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
T5BZD
+Ta 6.6.6 针合成 113
S)rZE*~2 6.6.6.1 针合成参数 114
R`?l.0 6.6.7 差分进化 114
+jN}d=N- 6.6.8非局部细化 115
|m19fg3u 6.6.8.1非局部细化参数 115
=lXj%V^8N 6.7 我应该使用哪种技术? 116
fn#8=TIDf 6.7.1 细化 116
B{-7 6.7.2 合成 117
'm%{Rz>j 6.8 参考文献 117
73WSW/^F 7 导纳图及其他工具 118
dn6B43w 7.1 简介 118
cpY{o^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
prBLNZp 7.2.1 四分之一
波长规则 119
l{3B}_, 7.2.2 导纳图 120
j)1y v. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
]-PzN'5\' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Rd?}<L 7.5 斜入射导纳图 141
1C[9}} 7.6 对称周期 141
D-3[#~MV 7.7 参考文献 142
aD/Rr3v> 8 典型的镀膜实例 143
FB=oGgwwq 8.1 单层抗反射薄膜 145
A=CeeC]} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
k#*-<1 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
o3ZN0j69| 8.4 W-膜层 148
3KLUH=)P 8.5 V-膜层 149
h\m35'v! 8.6 V-膜层高折射基底 150
<J[le= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
8WP>u8& 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
>&L|oq7$ 8.9 四层抗反射薄膜 153
-H1=N 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
E3L?6Qfx> 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
~PQ.l\C 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
;rh.6D l 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
^s,3*cAU 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
lwnO 8.15十五层宽带抗反射膜 159
iP/v"g"g 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
BEZ~<E&0H 8.17 1/4波长堆栈 162
!Jg;%%E3:i 8.18 陷波滤波器 163
)!y>2$20 r 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
^({)t 8.20 褶皱 165
a"~o'W7 8.21 消偏振分光器1 169
T.q2tC[bR 8.22 消偏振分光器2 171
Nk~}aj 8.23 消偏振立体分光器 172
J5@08bZm 8.24 消偏振截止滤光片 173
)W@ug,y 8.25 立体偏振分束器1 174
Xo^8o0xi 8.26 立方偏振分束器2 177
+^I0>\ 8.27 相位延迟器 178
6K2e]r 8.28 红外截止器 179
p_r` " 8.29 21层长波带通滤波器 180
4Z)4WGp! 8.30 49层长波带通滤波器 181
3WV(Ok 8.31 55层短波带通滤波器 182
|%_C$s% 8.32 47 红外截止器 183
{N(qS'N 8.33 宽带通滤波器 184
\BOoY# !a 8.34 诱导透射滤波器 186
n
`j._G
8.35 诱导透射滤波器2 188
;w{<1NH2+. 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
I?KN7(9u? 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
%lKw+D 8.35 增益平坦滤波器 193
GR,2^]<{ 8.38 啁啾反射镜 1 196
-15e 8.39 啁啾反射镜2 198
\u=d`}E 8.40 啁啾反射镜3 199
{sTf4S\S 8.41 带保护层的铝膜层 200
,CE/o7.FG 8.42 增加铝反射率膜 201
=4ygbk 8.43 参考文献 202
LPs%^*8(2 9 多层膜 204
?2<QoS 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
$0* sjXV 9.2 内部透过率 204
WR+j?Fcf 9.3 内部透射率数据 205
u09Tlqh0 3 9.4 实例 206
|jsI-?%8J 9.5 实例2 210
gqaM<!] 9.6 圆锥和带宽计算 212
>OG189O 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
0JR/V68$ 10 光学薄膜的颜色 216
$C16}^ 10.1 导言 216
!E7gIqo 10.2 色彩 216
w,~*ead 10.3 主波长和纯度 220
,f03TBD} 10.4 色相和纯度 221
o'Bd. B 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
W 4{ T< 10.6 色差 226
ci,(]T+! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
$KcAB0 B8 10.8 颜色渲染指数 234
t]c<HDCK 10.9 色差计算 235
t@KTiJI
] 10.10 参考文献 236
opX07~1 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
ITPE2x 11.1 短脉冲 238
o.s'0xP] 11.2 群速度 239
:J;U~emq 11.3 群速度色散 241
Gz`Jzh
j 11.4 啁啾(chirped) 245
;R$G.5h 11.5 光学薄膜—相变 245
" <bjS 11.6 群延迟和延迟色散 246
z:'m50' 11.7 色度色散 246
-:}vf? 11.8 色散补偿 249
Q\oa<R
D5 11.9 空间
光线偏移 256
XY0kd&N8 11.10 参考文献 258
gI:g/ R 12 公差与误差 260
Q0*E&;| 12.1 蒙特卡罗模型 260
\F
_1C= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
cGot0' mB 12.2.1 误差工具 267
z/Lb1ND8 12.2.2 灵敏度工具 271
4^(x)r
&(? 12.2.2.1 独立灵敏度 271
jAQ{H 12.2.2.2 灵敏度分布 275
3mgvWR 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
&BVUK"}P 12.3 参考文献 276
%<i sdvF 13 Runsheet 与Simulator 277
U$:^^Zt`B 13.1 原理介绍 277
%Z;RY5 13.2 截止滤光片设计 277
1N/4W6 14 光学常数提取 289
C&O8fNB_ 14.1 介绍 289
%Tp9GGt 14.2 电介质薄膜 289
v]JET9hY 14.3 n 和k 的提取工具 295
"jZZ>\ 14.4 基底的参数提取 302
{/[@uMS_6] 14.5 金属的参数提取 306
8~ y!X0Ov! 14.6 不正确的模型 306
sbvP1|P8% 14.7 参考文献 311
DVQr7tQf 15 反演工程 313
\Y xG 15.1 随机性和
系统性 313
@= <{_p 15.2 常见的系统性问题 314
0GMb?/
15.3 单层膜 314
3qV^RW& 15.4 多层膜 314
'm0WPS/6E 15.5 含义 319
rpk8 15.6 反演工程实例 319
Z@Rqm:e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
G>~/ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
U<6)CW1; 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
^P^"t^O 16.1 光学性质的热致偏移 329
_ $PeFE2 16.2 应力工具 335
rEr=Mi2 16.3 均匀性误差 339
^%oH LsY9 16.3.1 圆锥工具 339
H c/7x). 16.3.2 波前问题 341
2e6P?pX~2 16.4 参考文献 343
6>?qBWW 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
NbWEP\dS'z 17.1 引言 345
$`xpn#lz 17.2 操作数 345
~HY)$Yp; 18 如何在Function中编写脚本 351
Dw=L]i
:0v 18.1 简介 351
mbAzn 18.2 什么是脚本? 351
#m#IBRD : 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
fMwF|; 18.4 基础 352
pIIp61=$ 18.4.1 Classes(类别) 352
CXUF=IE 18.4.2 对象 352
mmQC9nZ 18.4.3 信息(Messages) 352
uVYn,DB` 18.4.4 属性 352
&4E|c[HN 18.4.5 方法 353
%<~Ewno T 18.4.6 变量声明 353
u`EK^\R 18.5 创建对象 354
a,rXG 18.5.1 创建对象函数 355
/@"mQx~[q 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
<mX5VGY9^ 18.5.3 丢弃对象 356
#h ud_ 18.5.4 总结 356
7$7|~k 18.6 脚本中的表格 357
1uo |a 18.6.1 方法1 357
58?WO} 18.6.2 方法2 357
7L+Wj }m 18.7 2D Plots in Scripts 358
w !kk(QMV 18.8 3D Plots in Scripts 359
HubG>] 18.9 注释 360
Ov"wcJ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Wz^;:6F 18.11 一个更高级的脚本 362
. (&6gB 18.12 <esc>键 364
Qfe u3AT 18.13 包含文件 365
9u~C?w 18.14 脚本被
优化调用 366
u!xgLf'` 18.15 脚本中的对话框 368
[voc_o7AI 18.15.1 介绍 368
-0uGzd+m* 18.15.2 消息框-MsgBox 368
9X[378f+( 18.15.3 输入框函数 370
'+_-r'2 18.15.4 自定义对话框 371
uWGp>;m eO 18.15.5 对话框编辑器 371
yI=nu53BV 18.15.6 控制对话框 377
(9bU\4F\ 18.15.7 更高级的对话框 380
5hqXMs 18.16 Types语句 384
DKo6lP` 18.17 打开文件 385
!B[Y?b: 18.18 Bags 387
:~ s"]*y 18.13 进一步研究 388
j % MY6" 19 vStack 389
VK9E{~0= 19.1 vStack基本原理 389
uP7|#>1% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
r:xg#&"* 19.3 五棱镜 393
@"cnPLh& 19.4 光束距离 396
1`II%mf[ 19.5 误差 399
zt((TD2 19.6 二向分色棱镜 399
mj9|q8v{+ 19.7 偏振泄漏 404
4o''C |ND 19.8 波前误差—相位 405
WKr4S<B8mr 19.9 其它计算参数 405
yR F+ 20 报表生成器 406
n n[idw 20.1 入门 406
%to.'R 20.2 指令(Instructions) 406
;8F6a:\v 20.3 页面布局指令 406
>yyu:dk-; 20.4 常见的参数图和三维图 407
")boY/ P/w 20.5 表格中的常见参数 408
WbFCj0 20.6 迭代指令 408
v&sp;%I6= 20.7 报表模版 408
4&]NC2I 20.8 开始设计一个报表模版 409
)`=N+k] 21 一个新的project 413
>iJxq6! 21.1 创建一个新Job 414
7DW-brd
21.2 默认设计 415
9<Zm}PE32 21.3 薄膜设计 416
M/[9ZgDc 21.4 误差的灵敏度计算 420
nP=/XiCj 21.5 显色指数计算 422
PC=s:`Y}R 21.6 电场分布 424
s5b<KQ. 后记 426
acpc[^' 您可以扫码加微联系咨询 B_r:da CS: