@ajM^L!O 内容简介 :vQM>9l7 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
p&3>
`C 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
6Rz[?-mkLO 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
e4.&aIC[ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
;$!I&<) i\p:#'zk5 目录 *Bw #c
j Preface 1
Tsz
NlRxc 内容简介 2
+ld;k/ 目录 i
;KcFy@ 6q5 1 引言 1
arj$dAW 2 光学薄膜基础 2
s4t0f_vj` 2.1 一般规则 2
6?SFNDQ"C 2.2 正交入射规则 3
z="L4 2.3 斜入射规则 6
uec|S\~M 2.4 精确计算 7
mJMq{6; 2.5 相干性 8
E`)Qs[?Gk 2.6 参考文献 10
dAxp ,):&J 3 Essential Macleod的快速预览 10
DuNcX$%% 4 Essential Macleod的特点 32
(cs~@ 4.1 容量和局限性 33
<lo`q<q 4.2 程序在哪里? 33
}gCHQ;U7` 4.3 数据文件 35
dVGbe07 4.4 设计规则 35
`clB43i 4.5 材料数据库和
资料库 37
~@fR[sg< 4.5.1材料损失 38
.#!mDlY; 4.5.1材料数据库和导入材料 39
=kFuJ
x)f 4.5.2 材料库 41
_!:@w9 4.5.3导出材料数据 43
D 'L{wm 4.6 常用单位 43
)w"0w( 4.7 插值和外推法 46
)iSy@*nY 4.8 材料数据的平滑 50
t)I0lnbs 4.9 更多光学常数模型 54
kaFnw(xa 4.10 文档的一般编辑规则 55
;|30QUYh 4.11 撤销和重做 56
Z[}
$n-V 4.12 设计文档 57
295w.X(J 4.10.1 公式 58
'h}7YP, w 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
OCW+?B; 4.10.3 沉积密度 59
B||c(ue 4.10.4 平行和楔形介质 60
x!?Z*v@I 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
sXB+s 4.10.4 性能 61
I:t^S., 4.10.5 保存设计和性能 64
;r!\-]5$ 4.10.6 默认设计 64
w3bIb$12 4.11 图表 64
263*: Y 4.11.1 合并曲线图 67
:6u~aT/ 4.11.2 自适应绘制 68
UC|JAZL 4.11.3 动态绘图 68
%F5 =n" 4.11.4 3D绘图 69
ZQ[~*) 4.12 导入和导出 73
g1qi\axm 4.12.1 剪贴板 73
`Bu9Nq 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
xOIg|2^8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
7;xKy'B\ 4.13 背景 77
@L;C_GEa 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
$4Y&j}R 4.15 生成Rugate 84
F+*Q <a4 4.16 参考文献 91
B] i:) 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
7@P656{ 5.1 Jobs 92
yW>R RE; 5.2 创建一个新Job(工作) 93
-f.R#J$2 5.3 输入材料 94
|nm2Uy/0 5.4 设计数据文件夹 95
`a'`$'j 5.5 默认设计 95
N84qcc 6 细化和合成 97
,n5a] )Dg 6.1 优化介绍 97
XRa#21pQ 6.2 细化 (Refinement) 98
J wFned#T 6.3 合成 (Synthesis) 100
':sTd^V 6.4 目标和评价函数 101
$8@+j[> 6.4.1 目标输入 102
hbnS~sva 6.4.2 目标 103
'w6hW7"L 6.4.3 特殊的评价函数 104
CB]l[hM$ 6.5 层锁定和连接 104
V}:'Xgp*N 6.6 细化技术 104
w_H2gaQ 6.6.1 单纯形 105
hVZo"XUb 6.6.1.1 单纯形
参数 106
(}0S1)7t 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
^0Q'./A{& 6.6.2.1 Optimac参数 108
,'_(DJX 6.6.3 模拟退火算法 109
K;C_Z/<% 6.6.3.1
模拟退火参数 109
dXO=ZU/N 6.6.4 共轭梯度 111
A'~#9@l< 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
p1^0{ILx 6.6.5 拟牛顿法 112
qUg9$oh{LI 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
4:`[q E3 6.6.6 针合成 113
wA",SBGX 6.6.6.1 针合成参数 114
H:Lt$ 6.6.7 差分进化 114
$_bZA;EMQ 6.6.8非局部细化 115
:<UtHf<=k 6.6.8.1非局部细化参数 115
Hf_'32e3< 6.7 我应该使用哪种技术? 116
>[P%Ty); 6.7.1 细化 116
Yj3*)k 6.7.2 合成 117
G"C;A`6 6.8 参考文献 117
O+vcs4 7 导纳图及其他工具 118
cz>mhD 7.1 简介 118
\!4|tBKVY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
j%5a+(H,z; 7.2.1 四分之一
波长规则 119
mQ=sNZ-d] 7.2.2 导纳图 120
m9Il\PoTq 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
o}W;Co 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
.FJj 7.5 斜入射导纳图 141
)-#i8?y3C 7.6 对称周期 141
@Wz%KdXA 7.7 参考文献 142
OA5f} + 8 典型的镀膜实例 143
~4+8p9f 8.1 单层抗反射薄膜 145
D&f!( n 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
%yKKUZ~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
Z:c*!`F 8.4 W-膜层 148
dm 2EH 8.5 V-膜层 149
`x*/UCy\ 8.6 V-膜层高折射基底 150
OF-WUa4t 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
) H+d.Y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
GVZTDrC 8.9 四层抗反射薄膜 153
L?Tu)<Mn 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Oc~VHT 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
1~L\s}|2d 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
{RJ52Gx( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
<k5`&X!+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
lfRH`u 8.15十五层宽带抗反射膜 159
g+3Hwtl 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
/D8EI 8.17 1/4波长堆栈 162
[!Ao,rt?Vg 8.18 陷波滤波器 163
?f f
[$ab 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
yH+c#w 8.20 褶皱 165
wO89&XZ< 8.21 消偏振分光器1 169
jVs(x
8.22 消偏振分光器2 171
wE8]'o 8.23 消偏振立体分光器 172
B/rzh? b 8.24 消偏振截止滤光片 173
G4O3h Y.` 8.25 立体偏振分束器1 174
g kn)V~ij 8.26 立方偏振分束器2 177
n@_)fFD% 8.27 相位延迟器 178
xlk5Gob* 8.28 红外截止器 179
K9^ "NS3 8.29 21层长波带通滤波器 180
x?gQ\0S< 8.30 49层长波带通滤波器 181
:k\}Ik 8.31 55层短波带通滤波器 182
ZLuPz# 8.32 47 红外截止器 183
h*l
cEzG?A 8.33 宽带通滤波器 184
lZBv\JE 8.34 诱导透射滤波器 186
1Lc8fP$ 8.35 诱导透射滤波器2 188
t)KPp|& 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
C&e8a9*,(a 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
>I|<^$/ 8.35 增益平坦滤波器 193
X4Lsvvz%@ 8.38 啁啾反射镜 1 196
*s~i 2} 8.39 啁啾反射镜2 198
IE|,~M2 8.40 啁啾反射镜3 199
lqauk)(A0 8.41 带保护层的铝膜层 200
k}#@8n|b 8.42 增加铝反射率膜 201
^SgN(-QH 8.43 参考文献 202
d0TgqO{ 9 多层膜 204
|MVV +.X 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
y]w )`}Ax 9.2 内部透过率 204
g4i #1V= 9.3 内部透射率数据 205
JOPTc] 9.4 实例 206
}&C dsCM>2 9.5 实例2 210
3eJ\aVI>pE 9.6 圆锥和带宽计算 212
eXc[3ceUr 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
PMQb\%iE" 10 光学薄膜的颜色 216
{rz>^ 10.1 导言 216
s
*K:IgJ/ 10.2 色彩 216
.a5X*M] 10.3 主波长和纯度 220
~R)1nN| 10.4 色相和纯度 221
aE}=^%D 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
uht(3 10.6 色差 226
DhHtz.6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
w8O hJv 10.8 颜色渲染指数 234
>}mNi:6xq 10.9 色差计算 235
. c#90RP 10.10 参考文献 236
&:-GI)[o 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
$x/J+9Ww 11.1 短脉冲 238
)eVzS j>MT 11.2 群速度 239
<. ezw4ju 11.3 群速度色散 241
makaI0M 11.4 啁啾(chirped) 245
n<=y"* 11.5 光学薄膜—相变 245
Ca$y819E2 11.6 群延迟和延迟色散 246
F_K 11.7 色度色散 246
hjw4Xzju 11.8 色散补偿 249
gfV]^v 11.9 空间
光线偏移 256
\A` gK\/h 11.10 参考文献 258
$ V3n~.= 12 公差与误差 260
w 7Cne%J8 12.1 蒙特卡罗模型 260
dvC0 <*V 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
H^ESAs6 12.2.1 误差工具 267
7?+5%7- 12.2.2 灵敏度工具 271
5aa}FdUq 12.2.2.1 独立灵敏度 271
/5&3WG&<u 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Cm9 9?K 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
L00Sp#$\ 12.3 参考文献 276
]6jHIk| 13 Runsheet 与Simulator 277
)Uc$t${en 13.1 原理介绍 277
?a*fy}A| 13.2 截止滤光片设计 277
~GAlNIv] 14 光学常数提取 289
9Ilfv 14.1 介绍 289
_3s~!2 14.2 电介质薄膜 289
dl7Riw-J 14.3 n 和k 的提取工具 295
JHnk%h0 14.4 基底的参数提取 302
0*/mc9 6 14.5 金属的参数提取 306
"bv,I-\ 14.6 不正确的模型 306
:(5]Z^ 14.7 参考文献 311
3L'en 15 反演工程 313
6-)7:9y 15.1 随机性和
系统性 313
!%SdTaC{T 15.2 常见的系统性问题 314
yg]suU<z] 15.3 单层膜 314
Oz"@yL} 15.4 多层膜 314
W@R$'r,@O 15.5 含义 319
oG|?F4l* 15.6 反演工程实例 319
_lP4ez
Y 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
"`gf y 15.6.2 反演工程提取折射率 327
h;cB_6vt 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
6ON 16.1 光学性质的热致偏移 329
?$>u!V<' 16.2 应力工具 335
Y&ct+w]% 16.3 均匀性误差 339
QO1A976o 16.3.1 圆锥工具 339
Dme(Knly 16.3.2 波前问题 341
/\IAr,w[ 16.4 参考文献 343
I!C(K^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
)R
[@G. 17.1 引言 345
jKY Aid{- 17.2 操作数 345
g=8|z#S 18 如何在Function中编写脚本 351
*7:u-}c! 18.1 简介 351
@lb=-oR!~ 18.2 什么是脚本? 351
SX1Fyy6
w 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
>Hd~Ca> 18.4 基础 352
[%gK^Zt 18.4.1 Classes(类别) 352
g]EQ2g_N1 18.4.2 对象 352
N}.Q%&6: 18.4.3 信息(Messages) 352
.ruz l(6 18.4.4 属性 352
Thht_3_C,f 18.4.5 方法 353
,H#qgnp 18.4.6 变量声明 353
$S($97IU= 18.5 创建对象 354
G#9o? 18.5.1 创建对象函数 355
N\CEocU 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
#z-iL!? 18.5.3 丢弃对象 356
r{Qs9 18.5.4 总结 356
W<cW;mO
18.6 脚本中的表格 357
)7Ho n 18.6.1 方法1 357
[0**&.obz 18.6.2 方法2 357
886 (' 18.7 2D Plots in Scripts 358
Q G=-LXv:@ 18.8 3D Plots in Scripts 359
e4>L@7 18.9 注释 360
Pq[0vZ_}dN 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Se;?j- 18.11 一个更高级的脚本 362
WwCK K 18.12 <esc>键 364
u~naVX\3b 18.13 包含文件 365
&kXGWp 18.14 脚本被
优化调用 366
^t/'dfF 18.15 脚本中的对话框 368
Mo/2,DiI5 18.15.1 介绍 368
&2<&X( ) 18.15.2 消息框-MsgBox 368
fY,@2VxyfA 18.15.3 输入框函数 370
Hb@G*L$ 18.15.4 自定义对话框 371
eaYkYuS/ 18.15.5 对话框编辑器 371
*`S)@'@:( 18.15.6 控制对话框 377
,
$D&WH 18.15.7 更高级的对话框 380
r[UyI3(i^ 18.16 Types语句 384
"Dmw- 18.17 打开文件 385
2RSHBo 18.18 Bags 387
>H=Q$gI 18.13 进一步研究 388
pdcwq~4~% 19 vStack 389
5b{yA~ty 19.1 vStack基本原理 389
=?`y(k4a 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
c9ov;Bw6S 19.3 五棱镜 393
5u
u2 _B_L 19.4 光束距离 396
yG4LQE 19.5 误差 399
!e#I4,f n 19.6 二向分色棱镜 399
YjIED,eRv 19.7 偏振泄漏 404
&)"7am(S` 19.8 波前误差—相位 405
_]?Dt%MkD 19.9 其它计算参数 405
p.TiTFu/ 20 报表生成器 406
v,!Y=8~9 20.1 入门 406
q _T?G e 20.2 指令(Instructions) 406
wCC~tuTpr 20.3 页面布局指令 406
iuU3*yyn 20.4 常见的参数图和三维图 407
23u1nU[0 20.5 表格中的常见参数 408
<p L;- 20.6 迭代指令 408
r3BDq 20.7 报表模版 408
`
HE:D2b 20.8 开始设计一个报表模版 409
13>3R+o 21 一个新的project 413
zoJkDr=jn 21.1 创建一个新Job 414
#iqhm,u7D 21.2 默认设计 415
13_+$DhU-L 21.3 薄膜设计 416
>gOI]*!5 21.4 误差的灵敏度计算 420
Edn$0D68u_ 21.5 显色指数计算 422
2
Zjb/ 21.6 电场分布 424
yK>0[6l 后记 426
~a8G 5M 您可以扫码加微联系咨询 EB3o8