:bP <H 内容简介 T !pHT'J Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
!uKuO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
=*WfS^O 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
x}7Xd P.2$ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
)d5mZE!3
NCx)zJ\S 目录 %8"Aq Preface 1
@jr$4pM? 内容简介 2
Kku@!lv 目录 i
7ws[Rp8 1 引言 1
S.fb[gI] 2 光学薄膜基础 2
erV&N,cI 2.1 一般规则 2
\D! I"mr 2.2 正交入射规则 3
1Dm$:),^T} 2.3 斜入射规则 6
*pGbcBQ 2.4 精确计算 7
J\ ? 2.5 相干性 8
n*qn8Dq 2.6 参考文献 10
G7HvA46 3 Essential Macleod的快速预览 10
38RyUHL= 4 Essential Macleod的特点 32
hTAZGV( 4.1 容量和局限性 33
@%As>X<3t 4.2 程序在哪里? 33
^+dL7g?+ 4.3 数据文件 35
)}\J 4.4 设计规则 35
M0MvOO*ad 4.5 材料数据库和
资料库 37
W%}zwQ 4.5.1材料损失 38
Kx,<-]4 4.5.1材料数据库和导入材料 39
?CuwA-j 4.5.2 材料库 41
z`y^o*qc] 4.5.3导出材料数据 43
R?kyJ4S 4.6 常用单位 43
]*AQT7PH 4.7 插值和外推法 46
v}"DW? 4.8 材料数据的平滑 50
TP)}1@ 4.9 更多光学常数模型 54
/.@"wAw: 4.10 文档的一般编辑规则 55
{X&H 4.11 撤销和重做 56
wb-_CQ 4.12 设计文档 57
0a's[>-'A 4.10.1 公式 58
nA#dXckoc 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
$C&E3 'O 4.10.3 沉积密度 59
h Qbz}x 4.10.4 平行和楔形介质 60
?xCWg.#l4V 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
<a%RKjQvT 4.10.4 性能 61
O>2i)M-h9x 4.10.5 保存设计和性能 64
,y*|f0&"~ 4.10.6 默认设计 64
Ne2eBmY}( 4.11 图表 64
-xU4s 4.11.1 合并曲线图 67
BP0*`TY 4.11.2 自适应绘制 68
~fF;GtP 4.11.3 动态绘图 68
69{q*qCW 4.11.4 3D绘图 69
]hi5nA 4.12 导入和导出 73
FO
xZkU\e= 4.12.1 剪贴板 73
kR;Hb3hb 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
[Xo[J?w],2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
T
[2l32 4.13 背景 77
sb*)K,U 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
_B^Q;54c 4.15 生成Rugate 84
X?OH//co 4.16 参考文献 91
GUqBnRA8j 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
^1,VvLA+ 5.1 Jobs 92
|]x>|Z?/u 5.2 创建一个新Job(工作) 93
xU;;@9X 5.3 输入材料 94
IkJ-*vI6 5.4 设计数据文件夹 95
{3*Zx"e![ 5.5 默认设计 95
D1f}g 6 细化和合成 97
a}/ A]mu 6.1 优化介绍 97
Xg1QF^ 6.2 细化 (Refinement) 98
! $8 e6 6.3 合成 (Synthesis) 100
rl](0"Y0
t 6.4 目标和评价函数 101
E4N{;' 6.4.1 目标输入 102
'P3jUc) 6.4.2 目标 103
y` 6!Vj l 6.4.3 特殊的评价函数 104
[$%O-_x 6.5 层锁定和连接 104
Q}:#Hz?U 6.6 细化技术 104
{Z(kzJwN 6.6.1 单纯形 105
'o]8UD( 6.6.1.1 单纯形
参数 106
!juh}q&}| 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
|tuh/e@dx 6.6.2.1 Optimac参数 108
QL`Hb p 6.6.3 模拟退火算法 109
)TzQ8YpO} 6.6.3.1
模拟退火参数 109
o0:RsODl 6.6.4 共轭梯度 111
SK;c
D>) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
w>h\643 6.6.5 拟牛顿法 112
vKmV<*K 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
d\v1R-V 6.6.6 针合成 113
8XdgtYm 6.6.6.1 针合成参数 114
)>U7+ Me 6.6.7 差分进化 114
|kh7F0';" 6.6.8非局部细化 115
k?;B1D8-n 6.6.8.1非局部细化参数 115
7FGi+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
E]dmXH8A 6.7.1 细化 116
HGlQZwf 6.7.2 合成 117
`D={l29H 6.8 参考文献 117
5l4YYwd>v 7 导纳图及其他工具 118
w0`8el; 7.1 简介 118
=`Lci1#pu} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
'j(F=9) 7.2.1 四分之一
波长规则 119
+ Un(VTD 7.2.2 导纳图 120
3
G_0DS 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
aGq1YOD[$ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
r6gfxW5 7.5 斜入射导纳图 141
/Xk-xg+U 7.6 对称周期 141
ZfP$6%;_ 7.7 参考文献 142
6tF_u D 8 典型的镀膜实例 143
X_aC$_b 8.1 单层抗反射薄膜 145
U;#9^<^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
S^T
><C 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
sFV&e->AN\ 8.4 W-膜层 148
Zi=/w 8.5 V-膜层 149
lgQ"K(zY 8.6 V-膜层高折射基底 150
dpSNh1 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
!\5w<*p8 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
W!t =9i 8.9 四层抗反射薄膜 153
B"?ivxM:U 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
y,s`[=CT 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
U'k 0; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
zv0bE?W9 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
E.eUd4XG 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
aI;-NnC 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Oe
~g[I; 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
D0^h;wJ=4+ 8.17 1/4波长堆栈 162
#ADm^UT^ 8.18 陷波滤波器 163
{2F@OfuCF 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
SNtk1pG> 8.20 褶皱 165
^:~!@$*;6 8.21 消偏振分光器1 169
h?'~/@ 8.22 消偏振分光器2 171
]Bj2; <@y 8.23 消偏振立体分光器 172
U*4r<y9R 8.24 消偏振截止滤光片 173
G&
m~W 8.25 立体偏振分束器1 174
y#zO1Nig` 8.26 立方偏振分束器2 177
7!Qu+R 8.27 相位延迟器 178
i936+[ 8.28 红外截止器 179
[h63* & 8.29 21层长波带通滤波器 180
S#:l17e3 8.30 49层长波带通滤波器 181
\zKO5,qw 8.31 55层短波带通滤波器 182
;2 P 8.32 47 红外截止器 183
CorV!H4
8.33 宽带通滤波器 184
DS=$*
Trk 8.34 诱导透射滤波器 186
L3=5tuQ[5 8.35 诱导透射滤波器2 188
h8dFW"cpC 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Bmt^*;WY+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
2Gh&h( 8.35 增益平坦滤波器 193
-}3nIk<N 8.38 啁啾反射镜 1 196
pO92cGJ8 8.39 啁啾反射镜2 198
\@[,UZ 8.40 啁啾反射镜3 199
l];/,J^ 8.41 带保护层的铝膜层 200
dTjDVq&Hz 8.42 增加铝反射率膜 201
O,JS*jXl 8.43 参考文献 202
P ; h8 9 多层膜 204
vUCmm<y 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
mv7W03 9.2 内部透过率 204
&`oybm-p( 9.3 内部透射率数据 205
0SDnMij&bf 9.4 实例 206
gxx#<=` 9.5 实例2 210
5;+KMM:zb 9.6 圆锥和带宽计算 212
B"8jEYT5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
k%BU&%?1 10 光学薄膜的颜色 216
te4= 10.1 导言 216
"}V_.I*+ 10.2 色彩 216
4*&k~0#t 10.3 主波长和纯度 220
.+,U9e:% 10.4 色相和纯度 221
PMUW<UI 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
5owK2 10.6 色差 226
zz
/4 ()u 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
inip/&P?V 10.8 颜色渲染指数 234
\W]gy_=D{ 10.9 色差计算 235
mRa\ wEg% 10.10 参考文献 236
zy5FO<-> 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
?}uuTNLl) 11.1 短脉冲 238
HItNd 11.2 群速度 239
@S=9@3m{w; 11.3 群速度色散 241
f,4erTBH 11.4 啁啾(chirped) 245
tv26eK
38 11.5 光学薄膜—相变 245
QFMAy>Gdn 11.6 群延迟和延迟色散 246
Ek1c >s,t 11.7 色度色散 246
Nte$cTjX 11.8 色散补偿 249
/ywP
0 11.9 空间
光线偏移 256
N<1+aL\ 11.10 参考文献 258
q
k6 12 公差与误差 260
K{{_qFj@<y 12.1 蒙特卡罗模型 260
kRc+OsY9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
X'-Yz7J?o 12.2.1 误差工具 267
xJ2I@*DN 12.2.2 灵敏度工具 271
BM`6<Z "3q 12.2.2.1 独立灵敏度 271
N#2ldY * 12.2.2.2 灵敏度分布 275
1[T7;i$ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
*= ?|n 12.3 参考文献 276
2 rr=FJ 13 Runsheet 与Simulator 277
X\/M(byn 13.1 原理介绍 277
r*]pL< 13.2 截止滤光片设计 277
>=|p30\b 14 光学常数提取 289
BjeD4 14.1 介绍 289
J|].h 14.2 电介质薄膜 289
W"^ =RY 14.3 n 和k 的提取工具 295
~7 U~ 14.4 基底的参数提取 302
fum.G{} 14.5 金属的参数提取 306
fjVy;qJ32S 14.6 不正确的模型 306
Id##367R 14.7 参考文献 311
H#DvCw 15 反演工程 313
r:;.?f@ 15.1 随机性和
系统性 313
10i$ b<O 15.2 常见的系统性问题 314
uINdeq 7|F 15.3 单层膜 314
? ep#s$i 15.4 多层膜 314
0=#>w_B 15.5 含义 319
-^lc-$0 15.6 反演工程实例 319
{X&lgj 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
r]UF<*$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
,_fz)@) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
dw3Hk$"h 16.1 光学性质的热致偏移 329
:#pdyJQ_ 16.2 应力工具 335
3_~iq>l 16.3 均匀性误差 339
%KXiB6<4 16.3.1 圆锥工具 339
X
3$ W60Q 16.3.2 波前问题 341
:t]HY2 16.4 参考文献 343
;,C]WZ.w 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
iBd6&?E?< 17.1 引言 345
Z(T{K\)uN 17.2 操作数 345
yGf7k>K' 18 如何在Function中编写脚本 351
:t{~Mi=T 18.1 简介 351
[YfoQ1 18.2 什么是脚本? 351
w{6C4~0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
67YC;J]n=z 18.4 基础 352
ksOGCd^G7 18.4.1 Classes(类别) 352
hd(FOKOP 18.4.2 对象 352
AO$AT_s 18.4.3 信息(Messages) 352
a+E&{pV 18.4.4 属性 352
&~
y)b`r 18.4.5 方法 353
kkF)Tro\ 18.4.6 变量声明 353
>sfg`4 18.5 创建对象 354
{P]C> 18.5.1 创建对象函数 355
6:]N% 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
X,7y| tb 18.5.3 丢弃对象 356
&)%+DUV| 18.5.4 总结 356
S{rltT- 18.6 脚本中的表格 357
.h7s.p? 18.6.1 方法1 357
L^3&
18.6.2 方法2 357
_`|1B$@x 18.7 2D Plots in Scripts 358
K>@yk9)vi 18.8 3D Plots in Scripts 359
\ ;npdFy 18.9 注释 360
xzm]v9k& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
Nr4:Gih 18.11 一个更高级的脚本 362
<Ep L<K% 18.12 <esc>键 364
bf"'xn9 18.13 包含文件 365
)U?_&LY)[M 18.14 脚本被
优化调用 366
a /sj W 18.15 脚本中的对话框 368
G^~[|a4` 18.15.1 介绍 368
:$MOdL[ir 18.15.2 消息框-MsgBox 368
&12KpEyf 18.15.3 输入框函数 370
2J ZR"P 18.15.4 自定义对话框 371
=|S%Rzsk 18.15.5 对话框编辑器 371
[1VA`:?W 18.15.6 控制对话框 377
+jGHR&A t 18.15.7 更高级的对话框 380
*1b|j|5v 18.16 Types语句 384
.$qa?$@ 18.17 打开文件 385
|h>PUt@LL 18.18 Bags 387
fFjpQ~0 18.13 进一步研究 388
%lF*g 19 vStack 389
Je1d|1!3 19.1 vStack基本原理 389
`Y#At3{ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
)/H;5 cn 19.3 五棱镜 393
r]DiB:. 19.4 光束距离 396
I&;>(@K 19.5 误差 399
,,'jyqD 19.6 二向分色棱镜 399
I0Pw~Jj{ 19.7 偏振泄漏 404
~s!Q0G^G 19.8 波前误差—相位 405
\<4N'|: 19.9 其它计算参数 405
4G c
M 20 报表生成器 406
1i76u!{U 20.1 入门 406
9%/hoA) 20.2 指令(Instructions) 406
9y7N}T6 20.3 页面布局指令 406
ze+YQF 20.4 常见的参数图和三维图 407
zfIo]M` 20.5 表格中的常见参数 408
,N.8 20.6 迭代指令 408
liKlc]oM 20.7 报表模版 408
:C~Ar] 20.8 开始设计一个报表模版 409
^SdF\uk{?6 21 一个新的project 413
9u B?-. 21.1 创建一个新Job 414
pP. _%5 21.2 默认设计 415
lvs
XL 21.3 薄膜设计 416
XE}gl&\ 21.4 误差的灵敏度计算 420
_4ag-'5 21.5 显色指数计算 422
)ZG;.j
21.6 电场分布 424
ZZw`8 E 后记 426
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