Dvd.Q/f 内容简介 s%4)}w;z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
?_<ZCH 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
CoJaVLl 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
~Gwn||g78 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
F;q I^{m2 %*}JDx#@ 目录 Fdc bmQ Preface 1
Zpu>T2Tp 内容简介 2
VJ_E]}H 目录 i
Qt>yRt 1 引言 1
f+<-Jc 2 光学薄膜基础 2
2vj)3%:7#E 2.1 一般规则 2
8{?Oi'-|0 2.2 正交入射规则 3
%HYC-TF# 2.3 斜入射规则 6
8(Z*Vz uu 2.4 精确计算 7
P7u5Ykc* 2.5 相干性 8
hC6$>tl 2.6 参考文献 10
C8&)-v| 3 Essential Macleod的快速预览 10
k(VA5upCs 4 Essential Macleod的特点 32
{R1jysGtD 4.1 容量和局限性 33
6"_FjS3Sl 4.2 程序在哪里? 33
;PS[VdV 4.3 数据文件 35
*vBcT.|, 4.4 设计规则 35
[]LNNO],X 4.5 材料数据库和
资料库 37
BIcE3}dS8 4.5.1材料损失 38
HCHC~FNd 4.5.1材料数据库和导入材料 39
{'d?vm!r 4.5.2 材料库 41
L]HY*e 4.5.3导出材料数据 43
7z%zXDe~T[ 4.6 常用单位 43
u{>5 4.7 插值和外推法 46
TC R( 4.8 材料数据的平滑 50
;Rwr5 4.9 更多光学常数模型 54
MHxv@1)K|Y 4.10 文档的一般编辑规则 55
O^:Rm=,$ 4.11 撤销和重做 56
l'3NiIX 4.12 设计文档 57
NaVZ) 4.10.1 公式 58
kv(N/G 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
{Ja#pt 4.10.3 沉积密度 59
Z#4? /' 4.10.4 平行和楔形介质 60
PkG+`N 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
=BX<;vU 4.10.4 性能 61
$orhY D3gv 4.10.5 保存设计和性能 64
AeUwih.
4 4.10.6 默认设计 64
bcj7.rh]'h 4.11 图表 64
CiPD+I 4.11.1 合并曲线图 67
'>`bp25> 4.11.2 自适应绘制 68
cm7aL%D$c 4.11.3 动态绘图 68
y@_4OkR@ 4.11.4 3D绘图 69
WfO6Fvx% 4.12 导入和导出 73
~@sx}u 4.12.1 剪贴板 73
`7N[rs9|S 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
8Cm^#S,+ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
VK?,8Y 4.13 背景 77
urog.Q 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
KZDB \T 4.15 生成Rugate 84
Yq;S%. 4.16 参考文献 91
=VY[m-q5 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
L"('gc!W 5.1 Jobs 92
%A W 5.2 创建一个新Job(工作) 93
bLNQ%=FjO 5.3 输入材料 94
zo]7# 5.4 设计数据文件夹 95
6dg[ 5.5 默认设计 95
L:B&`,E 6 细化和合成 97
2@^8{ 6.1 优化介绍 97
wetkmd 6.2 细化 (Refinement) 98
t0?BU~f 6.3 合成 (Synthesis) 100
L'['7 6.4 目标和评价函数 101
cQ+V4cW
Z 6.4.1 目标输入 102
[_H9l) 6.4.2 目标 103
Rmd;ug9 6.4.3 特殊的评价函数 104
.GS|H d 6.5 层锁定和连接 104
B VPf8!- 6.6 细化技术 104
1>|p1YZ" 6.6.1 单纯形 105
Wxp^*._q3I 6.6.1.1 单纯形
参数 106
@rVmr{UE 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
>#>YoA@S 6.6.2.1 Optimac参数 108
nre8 F 6.6.3 模拟退火算法 109
#Q|$&b 6.6.3.1
模拟退火参数 109
(>)Y0ki} 6.6.4 共轭梯度 111
h!)(R< 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
kv5D=0r 6.6.5 拟牛顿法 112
y)(@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
AY * 6.6.6 针合成 113
:Eob"WH 6.6.6.1 针合成参数 114
VDQ&BmJE 6.6.7 差分进化 114
kuUH2:L 6.6.8非局部细化 115
u,'c:RMV 6.6.8.1非局部细化参数 115
S9xC> |< 6.7 我应该使用哪种技术? 116
o.j;dsZ 6.7.1 细化 116
J/
rQ42d 6.7.2 合成 117
,cbP yg 6.8 参考文献 117
\3Xt\1qN4 7 导纳图及其他工具 118
FiFZM 7.1 简介 118
1 bv L 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
dn`#N^Od 7.2.1 四分之一
波长规则 119
n287@Y4Ru 7.2.2 导纳图 120
=zbrXtp, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
-4HI9Czts 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Ob(j_{m 7.5 斜入射导纳图 141
4I2ppz 7.6 对称周期 141
,sJ{2,]~ 7.7 参考文献 142
'9RHwKu&s 8 典型的镀膜实例 143
tU?lfU[7 8.1 单层抗反射薄膜 145
5a_K|(~3I 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
OO\UF6MCU 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
'3<YZWS 8.4 W-膜层 148
B|!YGfL 8.5 V-膜层 149
[c3hwogf: 8.6 V-膜层高折射基底 150
V:l; 2rW 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
}*+ca>K 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
UkeW2l`: 8.9 四层抗反射薄膜 153
)DoY*'Cl 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
gE8>5_R| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
242lR0#aY 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
=P2T&Gb 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
v'Lckw@G4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
6i&WF<%D 8.15十五层宽带抗反射膜 159
zzPgLE55 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
9-L.?LG 8.17 1/4波长堆栈 162
NEK;'"~ 8.18 陷波滤波器 163
qt3\*U7x 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
n1!u
aUC 8.20 褶皱 165
McA, 8.21 消偏振分光器1 169
TrHBbyqk 8.22 消偏振分光器2 171
z+wBZn{0I 8.23 消偏振立体分光器 172
^>]p4Q3 6 8.24 消偏振截止滤光片 173
|n* I}w^ 8.25 立体偏振分束器1 174
=(@J+Ou 8.26 立方偏振分束器2 177
*UEo&B2+ 8.27 相位延迟器 178
*jDzh;H!w 8.28 红外截止器 179
Ee4oTU5Mb 8.29 21层长波带通滤波器 180
_D
z4}:9 8.30 49层长波带通滤波器 181
QvqX3FU 8.31 55层短波带通滤波器 182
[j:%O|h 8.32 47 红外截止器 183
bC"#.e 8.33 宽带通滤波器 184
UG1^G07s 8.34 诱导透射滤波器 186
r)h+pga5^E 8.35 诱导透射滤波器2 188
IWKQU/l! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
o2Z#
5- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
g3"`b)M 8.35 增益平坦滤波器 193
_L&C4 <e' 8.38 啁啾反射镜 1 196
!9V_U 8.39 啁啾反射镜2 198
P^.L0T5g 8.40 啁啾反射镜3 199
\}G/F! 8.41 带保护层的铝膜层 200
B;_M52-B 8.42 增加铝反射率膜 201
B&<Z#C:I 8.43 参考文献 202
My=p>{s 9 多层膜 204
8Gs{Zfp!D 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
LD#]"k 9.2 内部透过率 204
@YV-8;hO 9.3 内部透射率数据 205
W!+5}\? 9.4 实例 206
}0qgvw 9.5 实例2 210
MheP@ [w|@ 9.6 圆锥和带宽计算 212
[
tmJ6^s 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
"TG}aS 10 光学薄膜的颜色 216
"EHwv2Hm> 10.1 导言 216
Z\`uI+` 10.2 色彩 216
u9}=g%TV 10.3 主波长和纯度 220
=j}]-! 10.4 色相和纯度 221
dt;R 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
hb[K.`g 10.6 色差 226
Z>M0[DJ_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
@K2q*d 10.8 颜色渲染指数 234
FRX'"gIR0 10.9 色差计算 235
M0n@?S 10.10 参考文献 236
vvdC.4O 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
:Q!U;33aG 11.1 短脉冲 238
m$0T" `AP` 11.2 群速度 239
-:>Mi5/ s 11.3 群速度色散 241
E3sl"d;~ 11.4 啁啾(chirped) 245
\*a7DuVw 11.5 光学薄膜—相变 245
[
98)7 11.6 群延迟和延迟色散 246
:/d#U:I 11.7 色度色散 246
B-'Xk{ 11.8 色散补偿 249
BTGPP@p4 11.9 空间
光线偏移 256
} n_9d. 11.10 参考文献 258
8@Y]dzgjj 12 公差与误差 260
#t
po@pJsE 12.1 蒙特卡罗模型 260
I`zn#U' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
n:Ka@ 12.2.1 误差工具 267
Ws.F=kS>h 12.2.2 灵敏度工具 271
_Su$oOy(Ea 12.2.2.1 独立灵敏度 271
M|7xI 12.2.2.2 灵敏度分布 275
')+'m1N 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
O-5H7Kd- 12.3 参考文献 276
SUHyg/|F 13 Runsheet 与Simulator 277
d5UdRX]* 13.1 原理介绍 277
bp;b;f> 13.2 截止滤光片设计 277
`epO/Uu\~u 14 光学常数提取 289
x>Q\j>^ 14.1 介绍 289
Pr<.ld\ 14.2 电介质薄膜 289
S0,p:Wey 14.3 n 和k 的提取工具 295
$hn#T#J3 14.4 基底的参数提取 302
i|y8n7c 14.5 金属的参数提取 306
sHmzwvpLA 14.6 不正确的模型 306
+{4ziqYj 14.7 参考文献 311
.Hc]?R] 15 反演工程 313
*oKc4S+ 15.1 随机性和
系统性 313
?tV $o,11 15.2 常见的系统性问题 314
GUJx?V/[ 15.3 单层膜 314
Yfs60f 15.4 多层膜 314
|ILj}4ZA7 15.5 含义 319
-Wb/3X 15.6 反演工程实例 319
DO8@/W(
` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
$0+AR) 15.6.2 反演工程提取折射率 327
(O"Wa 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
/*B-y$WQk 16.1 光学性质的热致偏移 329
Qis[j-?: 16.2 应力工具 335
w0q.cj@nd 16.3 均匀性误差 339
v&(PM{3o 16.3.1 圆锥工具 339
V80g+)| 16.3.2 波前问题 341
T:q!>"5 16.4 参考文献 343
'n6D3Vse 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
;r B2Q H] 17.1 引言 345
7%b?[}y4 17.2 操作数 345
XFUlV;ek 18 如何在Function中编写脚本 351
8rx?mX,} 18.1 简介 351
6X$]d^)h{ 18.2 什么是脚本? 351
q5p!Ty" 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
]O,;t> 18.4 基础 352
x9hkE!{8 18.4.1 Classes(类别) 352
dmgoVF_qR 18.4.2 对象 352
]N!8U_U3 18.4.3 信息(Messages) 352
J-P>
~
L" 18.4.4 属性 352
/xUTm=w7u 18.4.5 方法 353
A9`& Wnw? 18.4.6 变量声明 353
V\5ZRLawP 18.5 创建对象 354
jgQn^ 18.5.1 创建对象函数 355
p~J|l$%0rQ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
U(4>e! 18.5.3 丢弃对象 356
(J
I4ibP 18.5.4 总结 356
U%.OH?;f 18.6 脚本中的表格 357
Bvk 8b 18.6.1 方法1 357
_a|-_p 18.6.2 方法2 357
^`XQ>-wWue 18.7 2D Plots in Scripts 358
UFr
]$m& 18.8 3D Plots in Scripts 359
$ @QF<?i~ 18.9 注释 360
jNd."[IrO 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
gY9HEfB 18.11 一个更高级的脚本 362
_r@
FWUZ 18.12 <esc>键 364
TmZsC5 18.13 包含文件 365
E4idEQ}H 18.14 脚本被
优化调用 366
`!V=~"ve 18.15 脚本中的对话框 368
6jyS]($q 18.15.1 介绍 368
JVy- Y 18.15.2 消息框-MsgBox 368
tbG^9d 18.15.3 输入框函数 370
wK>a&`< 18.15.4 自定义对话框 371
C^oj/}^ 18.15.5 对话框编辑器 371
jrJ!A(<) 18.15.6 控制对话框 377
XRARgWj 18.15.7 更高级的对话框 380
|h}/#qhR 18.16 Types语句 384
*m)+|v} 18.17 打开文件 385
,/*L|M/&5 18.18 Bags 387
4BF
\-lq~ 18.13 进一步研究 388
wl2P^Pj 19 vStack 389
`>'%!E9G 19.1 vStack基本原理 389
;:nx6wi 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
lrrNyaFn 19.3 五棱镜 393
n sW# 19.4 光束距离 396
moz*=a 19.5 误差 399
}h{8i_R 19.6 二向分色棱镜 399
>8%<ML 19.7 偏振泄漏 404
7-S?\:J 19.8 波前误差—相位 405
jMFLd 19.9 其它计算参数 405
noI>Fw<V 20 报表生成器 406
gkkT<hEV= 20.1 入门 406
&gGh%:`B 20.2 指令(Instructions) 406
9vX~gh{]~ 20.3 页面布局指令 406
A><w1-X&=o 20.4 常见的参数图和三维图 407
JO3"$s|t 20.5 表格中的常见参数 408
pSMF1Oy 20.6 迭代指令 408
*DBm"{q%&k 20.7 报表模版 408
TQhu$z<