(ybtXoQs 内容简介 <FUqD0sQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
M`9orq< 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
%!ER @&1f& 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
E6k?+i
w 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
h}anTFKP $L<_uqSk 目录 C>w9
{h Preface 1
X] JpS 内容简介 2
p:[`%<j0 目录 i
ADLa.{ 1 引言 1
;+r) j"W 2 光学薄膜基础 2
)AnlFO+V 2.1 一般规则 2
Ac5o K 2.2 正交入射规则 3
|l6<GWG+ 2.3 斜入射规则 6
Oi
kU$~| 2.4 精确计算 7
5I8FD".i 2.5 相干性 8
s%L"
c 2.6 参考文献 10
xu%!
b0 3 Essential Macleod的快速预览 10
)5GdvqA 4 Essential Macleod的特点 32
>?G|Yz*kEJ 4.1 容量和局限性 33
}Ll3AR7\ 4.2 程序在哪里? 33
Z!*8JaMT 4.3 数据文件 35
4P O%qO 4.4 设计规则 35
e~t}z_>F 4.5 材料数据库和
资料库 37
A/$KA'jX 4.5.1材料损失 38
T}w*K[z
$ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
@Q$/eL 4.5.2 材料库 41
9?g]qy,1) 4.5.3导出材料数据 43
"x:)$@ 4.6 常用单位 43
-KIVnV=&m 4.7 插值和外推法 46
|oBdryi 4.8 材料数据的平滑 50
."!8B9s 4.9 更多光学常数模型 54
'&pf 4.10 文档的一般编辑规则 55
,rH)}C<Q+ 4.11 撤销和重做 56
+/@ZnE9s 4.12 设计文档 57
VHgF#6' 4.10.1 公式 58
3I>S:|=K 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
+%Bf
y4F6 4.10.3 沉积密度 59
+9Hk+. 4.10.4 平行和楔形介质 60
[KimY 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
I(?|Ox9"? 4.10.4 性能 61
4ye`;hXy 4.10.5 保存设计和性能 64
Hz3 S^o7 4.10.6 默认设计 64
U&w5&W{F} 4.11 图表 64
6XOpB^@ 4.11.1 合并曲线图 67
-9H!j4]T? 4.11.2 自适应绘制 68
3'sWlhf; 4.11.3 动态绘图 68
QN}3S0 4.11.4 3D绘图 69
S\v&{ 4.12 导入和导出 73
+4:+qGAJ{ 4.12.1 剪贴板 73
M[
~2,M&H 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
'a-5UTT 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
t7!>5e)C} 4.13 背景 77
ktw!T{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
#a'x)$2;R| 4.15 生成Rugate 84
>Rki[SNb-b 4.16 参考文献 91
MR)KLM0 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
$vw}p. 5.1 Jobs 92
XJxs4a1[t 5.2 创建一个新Job(工作) 93
/_k hFw 5.3 输入材料 94
/[0 /8f6 5.4 设计数据文件夹 95
!(ux.T0 5.5 默认设计 95
]!tYrSM! 6 细化和合成 97
E!}-qbH^ 6.1 优化介绍 97
$p6Xa;j$ 9 6.2 细化 (Refinement) 98
sen{f^U 6.3 合成 (Synthesis) 100
@Pb 1QLiz 6.4 目标和评价函数 101
"PX3%II 6.4.1 目标输入 102
SG|i/K|7 6.4.2 目标 103
L$u&~"z- 6.4.3 特殊的评价函数 104
7].IT( 6.5 层锁定和连接 104
bhm~Ii 6.6 细化技术 104
VU+ s7L0 6.6.1 单纯形 105
|L_g/e1 A3 6.6.1.1 单纯形
参数 106
K_lL\ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
GaK_9Eg-2 6.6.2.1 Optimac参数 108
E-U;8cOMv 6.6.3 模拟退火算法 109
dW^_tzfF7 6.6.3.1
模拟退火参数 109
!DX/^b 6.6.4 共轭梯度 111
c7nk~K[6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
fkv{\zN 6.6.5 拟牛顿法 112
Lq
$4.l[j 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
hA,rSq 6.6.6 针合成 113
q/2K=BOh 6.6.6.1 针合成参数 114
!K^kKP*l 6.6.7 差分进化 114
;AL@<,8 6.6.8非局部细化 115
-Ib+ /' 6.6.8.1非局部细化参数 115
Uo[5V|>X6 6.7 我应该使用哪种技术? 116
-TU{r_!Z( 6.7.1 细化 116
H'h4@S 6.7.2 合成 117
8.Own=G? 6.8 参考文献 117
zR JKIm 7 导纳图及其他工具 118
xc]C#q 7.1 简介 118
#&2N,M!Q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
SSsQu^A 7.2.1 四分之一
波长规则 119
iJKm27 "> 7.2.2 导纳图 120
D)~nAkVq 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
+uiH0iGS 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
%K7EF_% 7.5 斜入射导纳图 141
wR<QeH'V 7.6 对称周期 141
<:;:*s3] 7.7 参考文献 142
I^\bS 8 典型的镀膜实例 143
/
-qt} 8.1 单层抗反射薄膜 145
QGz3id6 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
$*)(8C l 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
~CdseSo9 8.4 W-膜层 148
6k=Wt7C 8.5 V-膜层 149
rIWN!@.J 8.6 V-膜层高折射基底 150
Pc;
14M 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
;7`um 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
sd@gEp)L 8.9 四层抗反射薄膜 153
q>.t~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
R6@~ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
nTy,Jml 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
G8DIig< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
^sn>p}Tg 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
8J?`_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
L\?g/l+k 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
kR~4O$riG 8.17 1/4波长堆栈 162
E4aCGg 8.18 陷波滤波器 163
k+GK1Yl 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
d!z).G 8.20 褶皱 165
-[7,ph 8.21 消偏振分光器1 169
VJtTbt;> 8.22 消偏振分光器2 171
d8
Nh0! 8.23 消偏振立体分光器 172
iXS-EB/ 8.24 消偏振截止滤光片 173
CU^3L|f2N 8.25 立体偏振分束器1 174
EC!Cv;' 8.26 立方偏振分束器2 177
#\S$$gP 8.27 相位延迟器 178
Jq<`j<'9 8.28 红外截止器 179
KY34 'Di 8.29 21层长波带通滤波器 180
S9#N%{8P 8.30 49层长波带通滤波器 181
PEn^.v@ 8.31 55层短波带通滤波器 182
RTA=|q 8.32 47 红外截止器 183
x|i3e&D 8.33 宽带通滤波器 184
xI\s9_"Qy 8.34 诱导透射滤波器 186
TvG:T{jwy 8.35 诱导透射滤波器2 188
B|$13dHfa 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
o@` E.4 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
C2|2XL'l(C 8.35 增益平坦滤波器 193
z2q5f:d8 8.38 啁啾反射镜 1 196
k:@Ls 8.39 啁啾反射镜2 198
@`8 B}
C 8.40 啁啾反射镜3 199
k3.p@8@: 8.41 带保护层的铝膜层 200
$yqq.#1 8.42 增加铝反射率膜 201
QuRg(K%: 8.43 参考文献 202
` +UMZc 9 多层膜 204
E0A|+P
'? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
zjh9ZLu[ 9.2 内部透过率 204
s@[t5R
9.3 内部透射率数据 205
gWH9=%! 9.4 实例 206
l@J|p# 0q 9.5 实例2 210
Ns= b&Uyc 9.6 圆锥和带宽计算 212
mXM>6>;y 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
,fJ(.KI0 10 光学薄膜的颜色 216
J9c3d~YW 10.1 导言 216
v/+}FS= 10.2 色彩 216
f>/ 1KV 10.3 主波长和纯度 220
v!hs~DnUZ 10.4 色相和纯度 221
]3u'Qv}o 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
z\d2T%^:g( 10.6 色差 226
'J0s%m|j 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
w$:)wyR- 10.8 颜色渲染指数 234
aDv/kFfn 10.9 色差计算 235
i*w-Q= 10.10 参考文献 236
QLU;.& 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
NG!Q< !Y 11.1 短脉冲 238
fqs p1m$ 11.2 群速度 239
Wc>)/y5$ 11.3 群速度色散 241
mg/kyua^ 11.4 啁啾(chirped) 245
.ehvhMuG| 11.5 光学薄膜—相变 245
=>%%]0 11.6 群延迟和延迟色散 246
"Am0.c/ 11.7 色度色散 246
<@!kR$Rd 11.8 色散补偿 249
N;pr: 11.9 空间
光线偏移 256
/l%qq*Ew 11.10 参考文献 258
AlaN; 12 公差与误差 260
ByvqwJY 12.1 蒙特卡罗模型 260
c7!`d.{90 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
)qXe`3d5 12.2.1 误差工具 267
tg3JU\ 12.2.2 灵敏度工具 271
EXzNehO~e 12.2.2.1 独立灵敏度 271
A"VXs1>_^ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Cfb-:e$0 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
gt (nZ 12.3 参考文献 276
3Dv koV 13 Runsheet 与Simulator 277
E'6P>6l5 13.1 原理介绍 277
bxe 97] 13.2 截止滤光片设计 277
yOz Kux8kB 14 光学常数提取 289
bY$!"b~ 14.1 介绍 289
T-i]O*u 14.2 电介质薄膜 289
iPpJ`i#@+ 14.3 n 和k 的提取工具 295
,#OG/r-H 14.4 基底的参数提取 302
<yO9j 14.5 金属的参数提取 306
h
l'k_<a* 14.6 不正确的模型 306
'u/HQg* 14.7 参考文献 311
P;p g+L.I 15 反演工程 313
;#yz i2f 15.1 随机性和
系统性 313
=@XR$Uud6 15.2 常见的系统性问题 314
o}Np}PE6 15.3 单层膜 314
oe"ShhT 15.4 多层膜 314
@??
6)C 15.5 含义 319
Mg/2w 15.6 反演工程实例 319
y36aoKH 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
ur7a%NH 15.6.2 反演工程提取折射率 327
R)Fl@
Tn 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
&2pM3re/f 16.1 光学性质的热致偏移 329
W78-'c 16.2 应力工具 335
!Sh5o'D28 16.3 均匀性误差 339
Te#[+B? 16.3.1 圆锥工具 339
yo6IY 16.3.2 波前问题 341
_'a4I; 16.4 参考文献 343
\Da$bJ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
%&(\dt&R1h 17.1 引言 345
0M -AIQ5 17.2 操作数 345
R~-q!nC 18 如何在Function中编写脚本 351
IxR:a( 18.1 简介 351
E #p6A5 18.2 什么是脚本? 351
K\Q
1/}) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
\vQ ( 18.4 基础 352
x#j_}L!V; 18.4.1 Classes(类别) 352
')RK(I 18.4.2 对象 352
3i~{x[Jc 18.4.3 信息(Messages) 352
I =pd jD 18.4.4 属性 352
6d8 18.4.5 方法 353
CP^^ct-C 18.4.6 变量声明 353
iJeT+} 18.5 创建对象 354
)dcGV$4t[ 18.5.1 创建对象函数 355
v8N1fuP} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
v}@6"\ 18.5.3 丢弃对象 356
&LYZQ?| 18.5.4 总结 356
8/v_ uEG 18.6 脚本中的表格 357
PeaD] 18.6.1 方法1 357
5S bSz!s`$ 18.6.2 方法2 357
2c]O Mtk 18.7 2D Plots in Scripts 358
PnvLXE}F 18.8 3D Plots in Scripts 359
K)ib{V(50 18.9 注释 360
IRB;Q(Z
18.10 脚本管理器调用Scripts 360
:Fl: bRH+ 18.11 一个更高级的脚本 362
nr;/:[F 18.12 <esc>键 364
*L_wRhhk 18.13 包含文件 365
St<\qC 18.14 脚本被
优化调用 366
ERplDSfO- 18.15 脚本中的对话框 368
4e sf&-gG 18.15.1 介绍 368
d[de5Xra 18.15.2 消息框-MsgBox 368
>EjBknl 18.15.3 输入框函数 370
59u7q( 18.15.4 自定义对话框 371
GEgf_C!%@ 18.15.5 对话框编辑器 371
~Tolz H! 18.15.6 控制对话框 377
T^W8_rm*3 18.15.7 更高级的对话框 380
Emo]I[<&q 18.16 Types语句 384
5Jp>2d 18.17 打开文件 385
HAXx`r< 18.18 Bags 387
Sob+l'U$ 18.13 进一步研究 388
8~7EWl 19 vStack 389
V-57BKeDz 19.1 vStack基本原理 389
r38CPdE;} 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
ezeGw?/ 19.3 五棱镜 393
Gf>T{Q`,is 19.4 光束距离 396
^z1WPI 19.5 误差 399
HU'}c*d] 19.6 二向分色棱镜 399
(RF6K6~ 19.7 偏振泄漏 404
BDA\9m^3 19.8 波前误差—相位 405
@<+(40`* 19.9 其它计算参数 405
O<5bsKw'r 20 报表生成器 406
#cA}B
L!3 20.1 入门 406
99x]DY 20.2 指令(Instructions) 406
8G=4{,(A 20.3 页面布局指令 406
f|EWu 20.4 常见的参数图和三维图 407
Sc(2c.HO* 20.5 表格中的常见参数 408
'
x|B' 20.6 迭代指令 408
VrDv d 20.7 报表模版 408
h$3Y,-4 20.8 开始设计一个报表模版 409
6Dch+*4*@ 21 一个新的project 413
%PQC9{hUy$ 21.1 创建一个新Job 414
/#HY-b 21.2 默认设计 415
"dt3peH 21.3 薄膜设计 416
/3fo=7G6 21.4 误差的灵敏度计算 420
MTQdyTDHl 21.5 显色指数计算 422
?mMd6U&J 21.6 电场分布 424
Q8O38uZ 后记 426
?tOzhrv 您可以扫码加微联系咨询 }'3V(;9