K.{:H4_ 内容简介 m:{ws~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
EP;TfWc}1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
[l9iWs'M 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
l_`DQ8L` 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
5m e|dvk :vqfWK6mv 目录 .S{Q }S Preface 1
@aX$} 内容简介 2
k8~/lE.Wy 目录 i
'aFj yY?% 1 引言 1
'W>Zr}: 2 光学薄膜基础 2
@\_l%/z{ 2.1 一般规则 2
)w.\xA~| 2.2 正交入射规则 3
ELlTR/NW 2.3 斜入射规则 6
in/ITy- 2.4 精确计算 7
mR OXwzL 2.5 相干性 8
$G_,$U! 2.6 参考文献 10
8LH"j(H 3 Essential Macleod的快速预览 10
~S='~ g) 4 Essential Macleod的特点 32
z
5T_ 4.1 容量和局限性 33
h)vRvfcmY 4.2 程序在哪里? 33
2?)bpp$WZ 4.3 数据文件 35
DV,rh83.ip 4.4 设计规则 35
0."TSe83\ 4.5 材料数据库和
资料库 37
[^U#ic>cT 4.5.1材料损失 38
kDrqV{_ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
`k>h2(@9S
4.5.2 材料库 41
RH+'"f 4.5.3导出材料数据 43
U!0 Qf7D 4.6 常用单位 43
tc_D8Q_ 4.7 插值和外推法 46
pX nY= 4.8 材料数据的平滑 50
"HuV' 4.9 更多光学常数模型 54
UX9r_U5) 4.10 文档的一般编辑规则 55
Xg](V.B6 4.11 撤销和重做 56
s /?&H- 4.12 设计文档 57
7:Jyu/*] 4.10.1 公式 58
E903T' 's 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
~sI$xX! 4.10.3 沉积密度 59
(Nky?* 4.10.4 平行和楔形介质 60
v0ngM)^q 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
7H1 ii 4.10.4 性能 61
|+ ^-b}0 4.10.5 保存设计和性能 64
;U
+;NsCH 4.10.6 默认设计 64
RawK9K_1 4.11 图表 64
E>BP b 4.11.1 合并曲线图 67
~BNLzt3%O 4.11.2 自适应绘制 68
; U)a)l'y 4.11.3 动态绘图 68
q 16jL,i 4.11.4 3D绘图 69
I1H} 5bf3 4.12 导入和导出 73
6Q&*V7EO 4.12.1 剪贴板 73
*mc]Oa
4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Whf7J' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
NW.<v
/?=, 4.13 背景 77
nbnbG0r: 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
n.[0#Ur&} 4.15 生成Rugate 84
m]bv2S+5 y 4.16 参考文献 91
3lyk/', 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
%'}L.OvG 5.1 Jobs 92
k
\|[= 5.2 创建一个新Job(工作) 93
[w%MECTe 5.3 输入材料 94
GP%83T 5.4 设计数据文件夹 95
KPGX/l 5.5 默认设计 95
$II[b-X?S 6 细化和合成 97
kKFSCl/g 6.1 优化介绍 97
hSgfp 6.2 细化 (Refinement) 98
o@ ?3i+%}8 6.3 合成 (Synthesis) 100
X(-e-:B4; 6.4 目标和评价函数 101
AxaabS$\ 6.4.1 目标输入 102
VQm)32' 6.4.2 目标 103
1_Um6vS# 6.4.3 特殊的评价函数 104
4T-9F 6.5 层锁定和连接 104
KfU4#2} 6.6 细化技术 104
$c-h'o 6.6.1 单纯形 105
RLypWjMx$ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
"t<${ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
)`RF2Y-A7 6.6.2.1 Optimac参数 108
?|8QL9Q"| 6.6.3 模拟退火算法 109
{gE19J3 6.6.3.1
模拟退火参数 109
>K{/ Jx& 6.6.4 共轭梯度 111
iOB]72dh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
73$^y)AvY 6.6.5 拟牛顿法 112
H61,pr> 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
m6aq_u{W 6.6.6 针合成 113
W;]*&P[[
6.6.6.1 针合成参数 114
?_e2)+q8YG 6.6.7 差分进化 114
KzeTf?G 6.6.8非局部细化 115
m6BIQ(l 6.6.8.1非局部细化参数 115
G<kslTPyq 6.7 我应该使用哪种技术? 116
z6)SaSYE 6.7.1 细化 116
|-N\?N9" 6.7.2 合成 117
1 l'Wb2g>A 6.8 参考文献 117
:t\pi.uWt 7 导纳图及其他工具 118
'`q&UPg] 7.1 简介 118
(F$V m 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
.:tAZZ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
kji*7a?y 7.2.2 导纳图 120
V#?GDe}[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
\UI7H1XDH 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
^l#Z*0@><~ 7.5 斜入射导纳图 141
7|6uY 7.6 对称周期 141
@O}%sjC1 7.7 参考文献 142
y4aSf2 8 典型的镀膜实例 143
_ x&Y'X| 8.1 单层抗反射薄膜 145
nB ?$W4 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
4,m
aA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
VnUWUIVJ 8.4 W-膜层 148
=6b^j]1 8.5 V-膜层 149
^[}^+ 8.6 V-膜层高折射基底 150
$m`?x5rL8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
o5gt`H" 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
`7qZ6Z3z@ 8.9 四层抗反射薄膜 153
*<n]"- 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
"nXL7N0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
@Otom'O 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
T:aYv;#0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
<6`_Xr7) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
w66iLQ\@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
{D1"bDZ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
(tV/.x*G 8.17 1/4波长堆栈 162
~:r:?PwWG 8.18 陷波滤波器 163
42aYM! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
NF <|3| 8.20 褶皱 165
6q
._8% 8.21 消偏振分光器1 169
WpE\N0Yg 8.22 消偏振分光器2 171
x@3Ix,b' 8.23 消偏振立体分光器 172
)Xxu-/- 8.24 消偏振截止滤光片 173
fOEw]B#@ 8.25 立体偏振分束器1 174
@K; 4'b~ 8.26 立方偏振分束器2 177
4S>A}rWz 8.27 相位延迟器 178
b: UTq
7^ 8.28 红外截止器 179
o5dPE{f 8.29 21层长波带通滤波器 180
O,"4HZG 8.30 49层长波带通滤波器 181
nZe2bai 8.31 55层短波带通滤波器 182
E7-il;`cKn 8.32 47 红外截止器 183
>%k:++b{ 8.33 宽带通滤波器 184
BtS#I[-p_ 8.34 诱导透射滤波器 186
bcFG$},k 8.35 诱导透射滤波器2 188
lAU`7uE 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
jovI8Dw
>
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
2Z
4Ekq0@ 8.35 增益平坦滤波器 193
B2QttcJ
8.38 啁啾反射镜 1 196
SW|{)L, 8.39 啁啾反射镜2 198
F)'kN2 8.40 啁啾反射镜3 199
fB+4mEG@ 8.41 带保护层的铝膜层 200
CAdq oCz| 8.42 增加铝反射率膜 201
Lu,72i0O ^ 8.43 参考文献 202
};"-6e/9 9 多层膜 204
c8!q_H~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
zil^^wT0J 9.2 内部透过率 204
R{"Kh2q_ 9.3 内部透射率数据 205
e E:J
9.4 实例 206
@&(0]kZ6 9.5 实例2 210
$'FPsoH 9.6 圆锥和带宽计算 212
Os--@5e 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
T$[50~ 10 光学薄膜的颜色 216
M:6Yy@#T. 10.1 导言 216
Vx$ ?)& 10.2 色彩 216
"J|{'k` 10.3 主波长和纯度 220
^ Q]I)U 10.4 色相和纯度 221
EaaLN<i@0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
53efF bo 10.6 色差 226
o?zA'5q 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
J{fTx@?( 10.8 颜色渲染指数 234
BEWDTOY[ 10.9 色差计算 235
RV^
N4q4 10.10 参考文献 236
jd]Om
r! 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
<4r3ZV;' 11.1 短脉冲 238
*HiN:30DZ 11.2 群速度 239
.!|\Y!]^r 11.3 群速度色散 241
1vw[{.wC 11.4 啁啾(chirped) 245
'/l<\b/E 11.5 光学薄膜—相变 245
r ]JV!'R 11.6 群延迟和延迟色散 246
(JV [7u - 11.7 色度色散 246
1.29%O8V_ 11.8 色散补偿 249
MvV\?Lzj 11.9 空间
光线偏移 256
8NCu;s 11.10 参考文献 258
F/33#
U 12 公差与误差 260
E6+c{4 1B 12.1 蒙特卡罗模型 260
6! `^}4 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
>1luLp/,$ 12.2.1 误差工具 267
ndW]S 7 12.2.2 灵敏度工具 271
o@T-kAEf-. 12.2.2.1 独立灵敏度 271
44@yQ? 12.2.2.2 灵敏度分布 275
:(7icHa 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
<5).(MTa 12.3 参考文献 276
tZ|0wPp 13 Runsheet 与Simulator 277
L>xecep 13.1 原理介绍 277
G,o5JL"t 13.2 截止滤光片设计 277
>#pZ`oPEAv 14 光学常数提取 289
j_]#Ew\q 14.1 介绍 289
1nGpW$Gx 14.2 电介质薄膜 289
E}-Y!,v^ 14.3 n 和k 的提取工具 295
D1G9^7:^E 14.4 基底的参数提取 302
(rTn6[* 14.5 金属的参数提取 306
s}w?Dvo \ 14.6 不正确的模型 306
?rauhTVnJ 14.7 参考文献 311
&Ul8h,qw 15 反演工程 313
\3K%> 15.1 随机性和
系统性 313
a ][t#` 15.2 常见的系统性问题 314
t[=-4; 15.3 单层膜 314
7bk=D~/nSg 15.4 多层膜 314
u9c^:Op 15.5 含义 319
Cpg>5N~;L 15.6 反演工程实例 319
QVT|6znw 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
4eD>DW 15.6.2 反演工程提取折射率 327
>]dH1@@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
o57r ,`N 16.1 光学性质的热致偏移 329
/9QC$Z):< 16.2 应力工具 335
"+dByaY 16.3 均匀性误差 339
bf4QW JZD 16.3.1 圆锥工具 339
OdSglB 16.3.2 波前问题 341
6j2mr6o 16.4 参考文献 343
4CH/~b1( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
AQ)DiH 17.1 引言 345
zEBUR%9 17.2 操作数 345
DH IC:6EY 18 如何在Function中编写脚本 351
2=]Xe#5J=
18.1 简介 351
\bXusLI!l 18.2 什么是脚本? 351
%+8"-u 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
P >>VBh? 18.4 基础 352
;N(9nX}%) 18.4.1 Classes(类别) 352
U*Sjb%
Qb 18.4.2 对象 352
tS[@3h 18.4.3 信息(Messages) 352
B'}pZOa[Wb 18.4.4 属性 352
jA'7@/F/ 18.4.5 方法 353
i8nzPKF2$3 18.4.6 变量声明 353
hI6Tp>b*~ 18.5 创建对象 354
qmy3pnL 18.5.1 创建对象函数 355
07
E9[U[ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
>{1 i8 b@ 18.5.3 丢弃对象 356
E7`Q=4@e 18.5.4 总结 356
4NK{RN3 18.6 脚本中的表格 357
k1_"}B5 18.6.1 方法1 357
4
Q<c I2| 18.6.2 方法2 357
jCK 0+,; 18.7 2D Plots in Scripts 358
c,L{Qv"n{ 18.8 3D Plots in Scripts 359
Oj]4jRew 18.9 注释 360
5fDp"- 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
{lO>i&mx 18.11 一个更高级的脚本 362
:ceT8-PBRx 18.12 <esc>键 364
Y'U]!c9 18.13 包含文件 365
(dnaT-M3 18.14 脚本被
优化调用 366
>HRL@~~Z 18.15 脚本中的对话框 368
8#h~J>u. 18.15.1 介绍 368
@Wl2E.)K; 18.15.2 消息框-MsgBox 368
{8e4TD9E0 18.15.3 输入框函数 370
V2oXg 18.15.4 自定义对话框 371
t2Y2v2 J 18.15.5 对话框编辑器 371
spG3"Eodi 18.15.6 控制对话框 377
AAc*\K 18.15.7 更高级的对话框 380
*-,jIaL; 18.16 Types语句 384
lU8X{SV! 18.17 打开文件 385
LUKt!I0l 18.18 Bags 387
4S\S t< 18.13 进一步研究 388
Vg^,Ky, 19 vStack 389
f7v|N) 19.1 vStack基本原理 389
%pUA$oUt 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
&s~b1Va 19.3 五棱镜 393
neBcS[ 19.4 光束距离 396
.vov ,J!Y 19.5 误差 399
&]S\GnqlU] 19.6 二向分色棱镜 399
"NvB@>S 19.7 偏振泄漏 404
fqm-?vy} 19.8 波前误差—相位 405
DTN)#GCtF 19.9 其它计算参数 405
m
?#WQf 20 报表生成器 406
(X/dP ~ 20.1 入门 406
P;V5f8r? 20.2 指令(Instructions) 406
cL+bMM$4r~ 20.3 页面布局指令 406
b~Un=-@5a 20.4 常见的参数图和三维图 407
%d^ =$Q 20.5 表格中的常见参数 408
$TY1'#1U; 20.6 迭代指令 408
M-zqD8D 20.7 报表模版 408
`%$l
b:e 20.8 开始设计一个报表模版 409
|'!9mvt= 21 一个新的project 413
F-GrQd:O= 21.1 创建一个新Job 414
xY@<