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yzhuang:控制软件PID参数调整一下,一般是可以恒压的,当然,如果放气量很不稳定也可能导致控制失败 {}QB|IH` (2024-09-20 09:09) 8me ]JRw
度魔银:1.手动融料重复性不好 "Tm[t?FMbe 2镀膜机真空度是否有漏气现象 R |f~>JUF 3.充氧控制改固定参数 `'\t$nU 4.真空计污染导致真空不准确 (2024-09-20 09:54) <\0vR20/
UID:295883
ouyuu:真空计和冲氧口的位置和距离很重要,如果压力周期性波动的话,就调整真空计位置。 {B*W\[ns 但是现在看来好像是冲氧的压控问题。 Qp2I[Ioz3 真空计一般是用电压信号,要保证压控仪和真空计用的电压定义是一样的。 NNG}M(/V 另外要排除信号干扰,如果真空信号受干扰了,那么肯定无法稳定的进行控制。 ?EU\}N J 最后一个应 .. (2024-10-22 22:50) 51#"3S