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ouyuu:真空计和冲氧口的位置和距离很重要,如果压力周期性波动的话,就调整真空计位置。 sLV bFN` 但是现在看来好像是冲氧的压控问题。 W*q[f!@ 真空计一般是用电压信号,要保证压控仪和真空计用的电压定义是一样的。 zS*X9|p 另外要排除信号干扰,如果真空信号受干扰了,那么肯定无法稳定的进行控制。 bF88F_ 最后一个应 .. (2024-10-22 22:50) =TDK$Ek
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度魔银:1.手动融料重复性不好 RS G\3( 2镀膜机真空度是否有漏气现象 ;2 oR?COW 3.充氧控制改固定参数 ba^cw}5 4.真空计污染导致真空不准确 (2024-09-20 09:54) U]lXw+&
yzhuang:控制软件PID参数调整一下,一般是可以恒压的,当然,如果放气量很不稳定也可能导致控制失败 @*'|8% (2024-09-20 09:09) +Ck F#H ~
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