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yzhuang:控制软件PID参数调整一下,一般是可以恒压的,当然,如果放气量很不稳定也可能导致控制失败 oj+hQ+> (2024-09-20 09:09) kc`Tdn
度魔银:1.手动融料重复性不好 +ksVtG, 2镀膜机真空度是否有漏气现象 zIAD9mQex 3.充氧控制改固定参数 0flRh)[J 4.真空计污染导致真空不准确 (2024-09-20 09:54) \ }G>8^
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ouyuu:真空计和冲氧口的位置和距离很重要,如果压力周期性波动的话,就调整真空计位置。 gL/9/b4 但是现在看来好像是冲氧的压控问题。 E}Uc7G 真空计一般是用电压信号,要保证压控仪和真空计用的电压定义是一样的。 Dk5 1z@ 另外要排除信号干扰,如果真空信号受干扰了,那么肯定无法稳定的进行控制。 5'u<iSmBo 最后一个应 .. (2024-10-22 22:50) S)"Jf?