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dhX$b!DA 内容简介 ')Q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _<E.?K$gbU 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 DsB30 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 E2xK GK +\doF 讯技科技股份有限公司 jn
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'^]Zx 目录 .5" s[(S Preface 1 8J#U=qYei 内容简介 2 oVTXn=cYDp 目录 i S$O5jX 0 1 引言 1 +v2)'?BS 2 光学薄膜基础 2 {RGQX"k 2.1 一般规则 2 _Sg "|g 2.2 正交入射规则 3 O #<F"e;$ 2.3 斜入射规则 6 <{+U- ^rzR 2.4 精确计算 7 UX2@eyejQ7 2.5 相干性 8 (@ 1>G
^% 2.6 参考文献 10 *HsA.W~2W 3 Essential Macleod的快速预览 10 BM~6P|&qD 4 Essential Macleod的特点 32 ew \WV" 4.1 容量和局限性 33 ur:8`+"
( 4.2 程序在哪里? 33 4Q!|fn0Sv 4.3 数据文件 35 hj=qWGRgI 4.4 设计规则 35 4]HW!J 4.5 材料数据库和资料库 37 %a I,K0\ 4.5.1材料损失 38 ddS3;Rk2 4.5.1材料数据库和导入材料 39 }S$OE))u 4.5.2 材料库 41
Y( 4.5.3导出材料数据 43 :GN++\1pw 4.6 常用单位 43 MK- +[K 4.7 插值和外推法 46 xnC:?d 4.8 材料数据的平滑 50 D^QL.Du, 4.9 更多光学常数模型 54 r$1b=m,0d 4.10 文档的一般编辑规则 55 n0LNAhM 4.11 撤销和重做 56 q;lR|NOh 4.12 设计文档 57 67;6nXG0K 4.10.1 公式 58 &mW7FR'( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 r#A*{4wz 4.10.3 沉积密度 59 Qgf\"s 4.10.4 平行和楔形介质 60 27+~!R~Yw 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 f|=u{6 4.10.4 性能 61 oiIl\#C 4.10.5 保存设计和性能 64 bU/4KZ'-^ 4.10.6 默认设计 64 v}J0j 4.11 图表 64 9Trk&OB 4.11.1 合并曲线图 67 -dWg1`; 4.11.2 自适应绘制 68 &"?99E> 4.11.3 动态绘图 68 }$'XV. 4.11.4 3D绘图 69 #K`0b$ 4.12 导入和导出 73 NiFe#SLA 4.12.1 剪贴板 73 +J85Re ` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 0~EGrEt 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 LzJ`@0RrX 4.13 背景 77 ,N_/J4Us 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Qcks:|5 4.15 生成Rugate 84 qDTdYf 4.16 参考文献 91 v
k=|TE 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 d&+0JI< 5.1 Jobs 92 hj&~Dn( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 gkX7,J-0 5.3 输入材料 94 tUuARo7# 5.4 设计数据文件夹 95 d/T&J= 5.5 默认设计 95 }a/z.&x]V 6 细化和合成 97 Fg 8lX9L 6.1 优化介绍 97 5HsF# 6.2 细化 (Refinement) 98 +*w}H
0Z 6.3 合成 (Synthesis) 100 ZqdoYU' 6.4 目标和评价函数 101 -Bl^TT 6.4.1 目标输入 102 +I-BqA9 6.4.2 目标 103 Ozhn`9L+1! 6.4.3 特殊的评价函数 104 z@J>A![m 6.5 层锁定和连接 104 K@JaN/OM 6.6 细化技术 104 $Mj\ 3 6.6.1 单纯形 105 qo$ls\[X 6.6.1.1 单纯形参数 106 S*>T%#F6Uo 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 R8:5N3Fx 6.6.2.1 Optimac参数 108 VM:|I~gJ 6.6.3 模拟退火算法 109 kMK0|+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 *`|xa@1v` 6.6.4 共轭梯度 111 /Wcx%P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 O) TS$ 6.6.5 拟牛顿法 112 6-uLK'E 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Xtfs)" 6.6.6 针合成 113 DRR)mQBb 6.6.6.1 针合成参数 114 Qclq^|O0 6.6.7 差分进化 114 {;E6jw@ 6.6.8非局部细化 115 Cl9rJ oT 6.6.8.1非局部细化参数 115 t1 U+7nM 6.7 我应该使用哪种技术? 116 A)4XQF 6.7.1 细化 116 ?pfr^
!@$ 6.7.2 合成 117 <YtjE!2 6.8 参考文献 117 52 Qr 7 导纳图及其他工具 118 "/RMIS
K[; 7.1 简介 118 AD^I1]2f 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'e' p`* 7.2.1 四分之一波长规则 119 Zhv%mUj~ 7.2.2 导纳图 120 m(?{#aaq 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 79cM_O 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 YvcV801Go 7.5 斜入射导纳图 141 F81EZ/ 7.6 对称周期 141 R|'W#"{@ 7.7 参考文献 142 $.kJBRgV* 8 典型的镀膜实例 143 K6
>\4'q 8.1 单层抗反射薄膜 145 8Z_ 4%vUBg 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 9&uf
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 pqb`g@ 8.4 W-膜层 148 qB,0(I1-! 8.5 V-膜层 149 ^9Cu?!xu0 8.6 V-膜层高折射基底 150 'fGKRd|) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 jwAYlnQ^EM 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ypG*41 8.9 四层抗反射薄膜 153 F[$cE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 e3W~6P 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 K0_gMi+bR 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 U|Gy 9" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [:#K_EI5% 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 -y$6gCRY 8.15十五层宽带抗反射膜 159 P_NF;v5v 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 M-@X&bm,S 8.17 1/4波长堆栈 162 rIJPgF 8.18 陷波滤波器 163 r~h# 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 W[*xr{0V 8.20 褶皱 165 Y1I)w^}: 8.21 消偏振分光器1 169 xlJWCA*> 8.22 消偏振分光器2 171 _p%n%Oce 8.23 消偏振立体分光器 172 P
"IR3= 8.24 消偏振截止滤光片 173 ;>jEeIlT 8.25 立体偏振分束器1 174 ;h+~xxu=X 8.26 立方偏振分束器2 177 sH;_U)ssH 8.27 相位延迟器 178 ?#xm6oe#aH 8.28 红外截止器 179 \>Rfa+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 aK
-x{ 8.30 49层长波带通滤波器 181 B+U:=591 8.31 55层短波带通滤波器 182 ^7gKs2M 8.32 47 红外截止器 183 oC49c~`8 8.33 宽带通滤波器 184 1u7D:h># 8.34 诱导透射滤波器 186 |,:p[Oy 8.35 诱导透射滤波器2 188 8$A0q%n 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _Iav2=0Wi 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 gee~>l 8.35 增益平坦滤波器 193 ?..BA&zRk 8.38 啁啾反射镜 1 196 th[v"qD9G 8.39 啁啾反射镜2 198 t~j6w sx; 8.40 啁啾反射镜3 199 UAhWJ$(C 8.41 带保护层的铝膜层 200 6{]F#ig= 8.42 增加铝反射率膜 201 @}g3\xLiK 8.43 参考文献 202 fxPg"R!1i 9 多层膜 204 3MNM<Ih 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4xmJQ>/ 9.2 内部透过率 204 j\~,Gtn>Z 9.3 内部透射率数据 205 o4WQA"VxM 9.4 实例 206 5X)M)"rq;V 9.5 实例2 210 Dk^AnMx%_ 9.6 圆锥和带宽计算 212 {<gv1Yht 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 A8vd@0 10 光学薄膜的颜色 216 4BCe;Q^6 10.1 导言 216 $$NWN?H~ 10.2 色彩 216 *}lLV.+A 10.3 主波长和纯度 220 N=<`|I 10.4 色相和纯度 221 IUv#nB3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 oC>J{z 10.6 色差 226 O;<wDh)Yt 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 !P=Cv= 10.8 颜色渲染指数 234 KoNu{TJ 10.9 色差计算 235 s{' Sl{-Eu 10.10 参考文献 236 {sC Ni 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 G5/A{1sz& 11.1 短脉冲 238 /ki-Tha 11.2 群速度 239 {+WY,%e 11.3 群速度色散 241
F/5G~17 11.4 啁啾(chirped) 245 u7hu8U= 11.5 光学薄膜—相变 245 .yZLC%} 11.6 群延迟和延迟色散 246 .A<Hk1(-) 11.7 色度色散 246 F&czD;F 11.8 色散补偿 249 x5Lbe5/P 11.9 空间光线偏移 256 3 Vc}Q'&Y 11.10 参考文献 258 0d_)C>gcF 12 公差与误差 260 ~#3{5*
M 12.1 蒙特卡罗模型 260 MIIl+ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 C(G.yd 12.2.1 误差工具 267 JpfA+r 12.2.2 灵敏度工具 271 BjvQ6M{Y"+ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 1 6zxPSTr} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <C'_:&M 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .u7}p# 12.3 参考文献 276 bLai@mL&a 13 Runsheet 与Simulator 277 ?/3wO/7[ 13.1 原理介绍 277 V)<>W_g 13.2 截止滤光片设计 277 ,]2?S5R 14 光学常数提取 289 c{/R?< 14.1 介绍 289 '2r 14.2 电介质薄膜 289 1WMZ$vsQUb 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;b0Q%TDh 14.4 基底的参数提取 302 V@`b7GM 14.5 金属的参数提取 306 v zg^tJ 14.6 不正确的模型 306 2 L4[~> 14.7 参考文献 311 N ^rpPq 15 反演工程 313 p<r<Y% 15.1 随机性和系统性 313 ISpV={$Zd 15.2 常见的系统性问题 314 k-|g 15.3 单层膜 314 Qjj }k) 15.4 多层膜 314 a|u#w~ 15.5 含义 319 &IUA[{o~e 15.6 反演工程实例 319 EE 1D>I 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $?PI>9g! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 gt}Atr6>_ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 SF:98#pg 16.1 光学性质的热致偏移 329 $k\bP9
16.2 应力工具 335 1YV1Xnn, 16.3 均匀性误差 339 L[2qCxB'^ 16.3.1 圆锥工具 339 a 20w.6F 16.3.2 波前问题 341 .Od:#(aq 16.4 参考文献 343 PuP"(
M 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 71nZi`AR 17.1 引言 345 utZI'5i 17.2 操作数 345 }gv'r
"; 18 如何在Function中编写脚本 351 ^@V*:n^ 18.1 简介 351 C|&tdh :g 18.2 什么是脚本? 351 #EzhtuHxn 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 s1 >8uW 18.4 基础 352
]20:8l' 18.4.1 Classes(类别) 352 MF"*xr v 18.4.2 对象 352 1yE',9? 18.4.3 信息(Messages) 352 FAnz0p+t 18.4.4 属性 352 Z3TCi7,m 18.4.5 方法 353 zq</(5H 18.4.6 变量声明 353 &s`)_P[ 18.5 创建对象 354 FvT4?7- 18.5.1 创建对象函数 355 %0-oZL 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $Lstq_x+ 18.5.3 丢弃对象 356 kc2B_+Y1 18.5.4 总结 356 |Gz<I 18.6 脚本中的表格 357 0BC@wV 18.6.1 方法1 357 UmVn: a 18.6.2 方法2 357 j_rO_m <8 18.7 2D Plots in Scripts 358 =cl#aS}e8 18.8 3D Plots in Scripts 359 vb~%u;zrC@ 18.9 注释 360 @sn:%/x _ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 j>JBZ#g 18.11 一个更高级的脚本 362 B1}i0pV,, 18.12 <esc>键 364 >V(C>^%-> 18.13 包含文件 365 4xW~@meNB 18.14 脚本被优化调用 366 66?`7j X 18.15 脚本中的对话框 368 T/|!^qLF 18.15.1 介绍 368 HMUx/M.j 18.15.2 消息框-MsgBox 368 /1LN\Eu 18.15.3 输入框函数 370 !b`fykC 18.15.4 自定义对话框 371 DLbP$&o 18.15.5 对话框编辑器 371 -I5]#%eX^ 18.15.6 控制对话框 377 C,W@C 18.15.7 更高级的对话框 380 e2=}qE7 18.16 Types语句 384 {O _X/y~ 18.17 打开文件 385 k H65k ( 18.18 Bags 387 <o()14
18.13 进一步研究 388 %@:>hQ2; 19 vStack 389 G%~V b 19.1 vStack基本原理 389 c(hC'Cp 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 &;ddnxFI
19.3 五棱镜 393 -btNwE6[. 19.4 光束距离 396 &pI\VIx ? 19.5 误差 399 |5;,]lbt 19.6 二向分色棱镜 399 KN_n :`cH{ 19.7 偏振泄漏 404 O])vR< [ 19.8 波前误差—相位 405 ! =21K0~t# 19.9 其它计算参数 405 =&pR=vl 20 报表生成器 406 ?3N/# 20.1 入门 406 Z|@-=S(. 20.2 指令(Instructions) 406 eM$a~4!d 20.3 页面布局指令 406 [UkcG9 20.4 常见的参数图和三维图 407 ~W>{Dd(J_ 20.5 表格中的常见参数 408 0i[t[_sce 20.6 迭代指令 408 \&vXp"-@ 20.7 报表模版 408 Y_*KAr'{P 20.8 开始设计一个报表模版 409 o
Rk 'I 21 一个新的project 413 |6-9vU!LK? 21.1 创建一个新Job 414 $!G|+OuTR 21.2 默认设计 415 MkVv5C 21.3 薄膜设计 416 n2*Ua/J-8 21.4 误差的灵敏度计算 420 E7h@c>IK 21.5 显色指数计算 422 51s\)d%l 21.6 电场分布 424 5%( 后记 426 KD#zsL)3 Qq{tX `ci
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