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VMgO1-F 内容简介 X9/]<Y<! Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 (5R_q.Wu 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
v+qHH8 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 e!.r- v9 E!}~j 讯技科技股份有限公司 VFjNrngl
o.M.zkP a 目录 *7:HO{P>Y Preface 1 8 CN~o|uN 内容简介 2 J6W"t 目录 i
~N=$%C 1 引言 1 m*
JbZT 2 光学薄膜基础 2 _tO:,%dL 2.1 一般规则 2 XWNDpL`j5 2.2 正交入射规则 3 YDoVm? 2.3 斜入射规则 6 fkWTO"f- 2.4 精确计算 7
0gOB$W 2.5 相干性 8 [lbe_G; 2.6 参考文献 10 FNB4YZ6 3 Essential Macleod的快速预览 10 X4dXO5\ 4 Essential Macleod的特点 32 ;JAb8dyS2 4.1 容量和局限性 33 A@qwD300Vo 4.2 程序在哪里? 33 3Z-N*bhC 4.3 数据文件 35 +!9&zYu! 4.4 设计规则 35 \Czuf 4.5 材料数据库和资料库 37 ds|L'7 4.5.1材料损失 38 UKfpoDhEe 4.5.1材料数据库和导入材料 39 DP<[Uz& 4.5.2 材料库 41 $9m>(b/;n 4.5.3导出材料数据 43 ]5`Y^hS_g 4.6 常用单位 43 ._5"FUg 4.7 插值和外推法 46 BjsF5~+\ 4.8 材料数据的平滑 50 }!n90
9L 4.9 更多光学常数模型 54 :HTV 8;yc 4.10 文档的一般编辑规则 55 !
:XMP*g 4.11 撤销和重做 56 T3#KuiwU9 4.12 设计文档 57 +PGtO9}B 4.10.1 公式 58 3D*vNVI 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 P@pJ^5Jf 4.10.3 沉积密度 59 bi 8Qbo4 4.10.4 平行和楔形介质 60 p:@JC sH= 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 \]gUX- 4.10.4 性能 61 P]wCC`qi 4.10.5 保存设计和性能 64 gHe%N?' 4.10.6 默认设计 64 0b~{l; 4.11 图表 64 vh"> Z4 4.11.1 合并曲线图 67 @h$4M t7N 4.11.2 自适应绘制 68 l
S m7i 4.11.3 动态绘图 68 |E=8 4.11.4 3D绘图 69 ZB@Bj>,bp 4.12 导入和导出 73 +rcDA| 4.12.1 剪贴板 73 4~YPLu 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 z=/xv}, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 9u2Mra 4.13 背景 77 k6mC_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 |r%lJmBB 4.15 生成Rugate 84 ~D$?.,=l 4.16 参考文献 91 N5Rda2m 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 %A ^qm 5.1 Jobs 92 M);@XcS 5.2 创建一个新Job(工作) 93 f~{@(g&Gl 5.3 输入材料 94 oiL^$y/:;z 5.4 设计数据文件夹 95 pcl'!8&7 5.5 默认设计 95 s1| +LT,D 6 细化和合成 97 m\O|BMHn 6.1 优化介绍 97 ?.%'[n>P 6.2 细化 (Refinement) 98 V( A p|I:G 6.3 合成 (Synthesis) 100 13v# 6.4 目标和评价函数 101 Fs|aH-9\ 6.4.1 目标输入 102 Ebk_(Py\ 6.4.2 目标 103 X'W8 mqk 6.4.3 特殊的评价函数 104 *6b$l.Vs 6.5 层锁定和连接 104 u(92y]3, 6.6 细化技术 104 f#3U,n8: 6.6.1 单纯形 105 "`''eV3 6.6.1.1 单纯形参数 106 n fU\l< 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 tF@hH}{; 6.6.2.1 Optimac参数 108 /y~ "n4CK~ 6.6.3 模拟退火算法 109 1tMs\e- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 *#n?6KqZ 6.6.4 共轭梯度 111 XKEd~2h<y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @=kDaPme92 6.6.5 拟牛顿法 112 ,b/qcu_|- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 A,4|UA?- 6.6.6 针合成 113 E)h&<{% 6.6.6.1 针合成参数 114 6JYVC>i 6.6.7 差分进化 114 00d<V:Aoy 6.6.8非局部细化 115 k25:H[ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ?h*Ngbj> 6.7 我应该使用哪种技术? 116
0M^v%22 6.7.1 细化 116 ARt+"[.*p 6.7.2 合成 117 'Lb-+X, 6.8 参考文献 117 E"|LA[o
7 导纳图及其他工具 118 /y.+N`_ 7.1 简介 118 cJ>
#jl& 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Eoo[)V#x{ 7.2.1 四分之一波长规则 119 C~&~Ano, 7.2.2 导纳图 120 9]DMHA@ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 hCcAAF*I;5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 D$wl.r 7.5 斜入射导纳图 141 :@H&v%h(u 7.6 对称周期 141 .*bu:FuDE 7.7 参考文献 142 WHM|kt 8 典型的镀膜实例 143 /I>o6 CI 8.1 单层抗反射薄膜 145 bZB7t`C5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 9Un3La8PX 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 H(~:Ajj+zQ 8.4 W-膜层 148
x=%p~$C 8.5 V-膜层 149 #J,?oe=<4 8.6 V-膜层高折射基底 150 2{sx"/k\A 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 >5aZ?#TS1 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 uV@#;c4 8.9 四层抗反射薄膜 153 !ibdw_H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 P&s-U6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 i#lnSJ08 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 S?M'JoYy 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 []v t\I
; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Pr%Y!| 8.15十五层宽带抗反射膜 159 TBGN',, 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ey~5DY7 8.17 1/4波长堆栈 162 yyj?hR@rZ 8.18 陷波滤波器 163 K>tubLYh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 )5479Eb_ 8.20 褶皱 165 zv^km5by 8.21 消偏振分光器1 169 W@vt6v 8.22 消偏振分光器2 171 IYo{eX~= 8.23 消偏振立体分光器 172 m~#f L 8.24 消偏振截止滤光片 173 j!It1B 8.25 立体偏振分束器1 174 /5l"rni 8.26 立方偏振分束器2 177 J*n Q(*e 8.27 相位延迟器 178 $hn=MOMc 8.28 红外截止器 179 7H+IW4Ma 8.29 21层长波带通滤波器 180 /s'7[bSv 8.30 49层长波带通滤波器 181 'K L"i 8.31 55层短波带通滤波器 182 * 7<{Xbsj^ 8.32 47 红外截止器 183 907N;r 8.33 宽带通滤波器 184 &7i o/d\/ 8.34 诱导透射滤波器 186 q,8TOn 8.35 诱导透射滤波器2 188 wc%Wy|d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ~`uEZ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 _5nS!CN 8.35 增益平坦滤波器 193 ,#u"$Hz8p 8.38 啁啾反射镜 1 196 v/fo`]zP 8.39 啁啾反射镜2 198
xe~lV 8.40 啁啾反射镜3 199 A*$JF>`7 8.41 带保护层的铝膜层 200 _{]\} =@ 8.42 增加铝反射率膜 201 eVXlQO 8.43 参考文献 202 )\qA[rTG 9 多层膜 204 LkUYh3 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 TQ/EH~Sz 9.2 内部透过率 204 U/W<Sa\` 9.3 内部透射率数据 205 m ll-cp 9.4 实例 206 `Mh3v@K: 9.5 实例2 210 {Tps3{|wt 9.6 圆锥和带宽计算 212 SWX[|sjdB 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 i1(}E# 10 光学薄膜的颜色 216 >{seaihK 10.1 导言 216 [eWZ^Eh"I 10.2 色彩 216 )2t DX=D 10.3 主波长和纯度 220 EDl*UG83G 10.4 色相和纯度 221 e2~$=f- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 pQ_EJX) 10.6 色差 226 7z_EX8^ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 8l?mNapy 10.8 颜色渲染指数 234 va`/Dp)M 10.9 色差计算 235 z!M8lpIM 10.10 参考文献 236 A>?_\<Gp 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 K4G43P5q` 11.1 短脉冲 238 wX!q dII) 11.2 群速度 239 xF#'+Y 11.3 群速度色散 241 4R(H@p%+r2 11.4 啁啾(chirped) 245 THVF(M4v 11.5 光学薄膜—相变 245 &}:]uC 11.6 群延迟和延迟色散 246 @26gP:Um 11.7 色度色散 246 T4M"s;::1 11.8 色散补偿 249 ZM6`:/lc 11.9 空间光线偏移 256 =T?:b8yV 11.10 参考文献 258 B2R^oL'} 12 公差与误差 260 5~pQ$- 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]g3RVA%\l 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ep$C
nBwE 12.2.1 误差工具 267 LA837P 12.2.2 灵敏度工具 271 Az`c ?
W% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]T?Py) 12.2.2.2 灵敏度分布 275 RZ6[+Ygn 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 mSg{0_: 12.3 参考文献 276 XK";-7TZt 13 Runsheet 与Simulator 277 [f1'Qb 13.1 原理介绍 277 I*SrKZb 13.2 截止滤光片设计 277 wm'a)B? 14 光学常数提取 289 _K4E6c_ 14.1 介绍 289 j&
H4L 14.2 电介质薄膜 289 kL7n`o 14.3 n 和k 的提取工具 295 |+aUy^ 14.4 基底的参数提取 302 xpO'.xEs 14.5 金属的参数提取 306 {\-9^RL 14.6 不正确的模型 306 6w"_sK?
14.7 参考文献 311 !jySID?q 15 反演工程 313 =^9I)JW 15.1 随机性和系统性 313 J[k,S(Y 15.2 常见的系统性问题 314 ' 1 }ybSG 15.3 单层膜 314 X%Lhu6F 15.4 多层膜 314 z>6hK:27 15.5 含义 319 j6JK4{ 15.6 反演工程实例 319 &tJ!cTA.- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 LwI A4$d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 O7Z?y* 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^5GyW`a}
16.1 光学性质的热致偏移 329 DO^J=e 16.2 应力工具 335 [Zpx
:r} 16.3 均匀性误差 339 <Wwcd8d 16.3.1 圆锥工具 339 B1U<m=Y 16.3.2 波前问题 341 (v)/h>vS 16.4 参考文献 343 )@Vz,f\} 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 :kU-ol$ 17.1 引言 345 v|7=IJ 17.2 操作数 345 `xq/<U;i 18 如何在Function中编写脚本 351 ?=dp]E{ 18.1 简介 351 O6[4=4L 18.2 什么是脚本? 351 -Gyj]v5y`c 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 V#P`FX 18.4 基础 352 %*A|hK+G:W 18.4.1 Classes(类别) 352 \Qgc7ev 18.4.2 对象 352
y"L7.B 18.4.3 信息(Messages) 352 o?O> pK 18.4.4 属性 352 WSKubn?7B 18.4.5 方法 353 (>R 18.4.6 变量声明 353 B*3<(eI 18.5 创建对象 354 Wp
|qv 18.5.1 创建对象函数 355 j(>~:9I` 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 'O+)[D 18.5.3 丢弃对象 356 j`o_Stbg 18.5.4 总结 356 Gm.sl}, 18.6 脚本中的表格 357 I;g>r8N-Bu 18.6.1 方法1 357 ~x-v%x6 18.6.2 方法2 357 (rE.ft5$9 18.7 2D Plots in Scripts 358 J/(^Z?/~P! 18.8 3D Plots in Scripts 359 S%p.|! 18.9 注释 360 DfsPg':z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ?nCo?A 18.11 一个更高级的脚本 362 v(`9+* 18.12 <esc>键 364 )L0NX^jW; 18.13 包含文件 365 iU/v;T( 18.14 脚本被优化调用 366 !XqU'xxC 18.15 脚本中的对话框 368 Zn{Y+ce7d 18.15.1 介绍 368 .ED8b5t| 18.15.2 消息框-MsgBox 368 i!i=6m.q7 18.15.3 输入框函数 370 U(rY,4' 18.15.4 自定义对话框 371 |6O7_U#q 18.15.5 对话框编辑器 371 Rh :|ij>B 18.15.6 控制对话框 377 .dO8I/lhV 18.15.7 更高级的对话框 380 l8~s#:v6X 18.16 Types语句 384 8fSY@ 18.17 打开文件 385 [q!/YL3% 18.18 Bags 387 t}wwRWo2?f 18.13 进一步研究 388 6BdK)s 19 vStack 389 f6])M) 19.1 vStack基本原理 389 U0ZPY )7k 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 =3dR-3 19.3 五棱镜 393 mFgrT 19.4 光束距离 396 @QO^3%b8 19.5 误差 399 tu:W1? 19.6 二向分色棱镜 399 hCPyCq] 19.7 偏振泄漏 404 A:4?Jd> 19.8 波前误差—相位 405 0CpE,gg 19.9 其它计算参数 405 k~XDwmt; 20 报表生成器 406 BS|$-i5L 20.1 入门 406 '',g}WvRwe 20.2 指令(Instructions) 406 $e, N5/O 20.3 页面布局指令 406 I&wJK'GM` 20.4 常见的参数图和三维图 407 &Sdf0" 20.5 表格中的常见参数 408 H#/Hs# 20.6 迭代指令 408 c\le8C3 20.7 报表模版 408 +'0V6\y 20.8 开始设计一个报表模版 409 ' +f(9/ 21 一个新的project 413 AaLbJYuKd 21.1 创建一个新Job 414 _lBHZJ+ 21.2 默认设计 415 [:gp_Z& 21.3 薄膜设计 416 MS`XhFPS. 21.4 误差的灵敏度计算 420 cb5T-'hY
21.5 显色指数计算 422 .x'?&7#( 21.6 电场分布 424 p|>m 2(| 后记 426 nt_FqUJ +yI2G!
$T9 >+9:31p
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