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AR8zCKBc^ 内容简介 .W>LEz' Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 7|bzopLJk 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 =n7QL QU 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #2{H!jr
<m7m 讯技科技股份有限公司 vVBu/)
X?kw=x{2P 目录 l/ufu[x!a Preface 1 J'4Pp< 内容简介 2 a/p}
?!\ 目录 i qJN!L)) 1 引言 1 - >_rSjnM{ 2 光学薄膜基础 2 kMd1)6%6A 2.1 一般规则 2 p^J=*jm)x 2.2 正交入射规则 3 g4z*6L,u 2.3 斜入射规则 6 7\.{O$Q 2.4 精确计算 7 ^6g^ Q*" 2.5 相干性 8 J;8M._ 2.6 参考文献 10 :Q]P=-Y8 3 Essential Macleod的快速预览 10 pg0Sq9qCN 4 Essential Macleod的特点 32 rlMahY"C 4.1 容量和局限性 33 Q^trKw~XNy 4.2 程序在哪里? 33 '/O >#1 4.3 数据文件 35 L/*D5k%J 4.4 设计规则 35 /hF@Xh%hY 4.5 材料数据库和资料库 37 w&F.LiX^ 4.5.1材料损失 38 ;8Qx~:c 4.5.1材料数据库和导入材料 39
}%)]b*3 4.5.2 材料库 41 \k
9EimT} 4.5.3导出材料数据 43 <b>g^ `}?D 4.6 常用单位 43 HAKB@h) 4.7 插值和外推法 46 8@rddk 4.8 材料数据的平滑 50 t nvCtuaR 4.9 更多光学常数模型 54 r{mj[N'@ 4.10 文档的一般编辑规则 55
:d)y 4.11 撤销和重做 56 xky +" 4.12 设计文档 57 H"5=z7w 4.10.1 公式 58 -}x( MZ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 VPi*9(LS 4.10.3 沉积密度 59 z*,J0)<Q 4.10.4 平行和楔形介质 60 o{[w6^D7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 u,~/oTgO 4.10.4 性能 61 %^KNY ;E 4.10.5 保存设计和性能 64 nI_UL 4.10.6 默认设计 64 4"^v]&I 4.11 图表 64 Yx[B*] 2 4.11.1 合并曲线图 67 5do49H_ 4.11.2 自适应绘制 68 ZVIlVuZ} 4.11.3 动态绘图 68 pOq9J7BS 4.11.4 3D绘图 69 4ux^K:z 4.12 导入和导出 73 _ci8!PP 4.12.1 剪贴板 73 i K,^|Q8 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
:q34KP 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 7MZ(tOR 4.13 背景 77 c9O0YQ3&8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 vw2yOLRX 4.15 生成Rugate 84 iy-~CPNB_ 4.16 参考文献 91 CbW>yr 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 L)"E _ 5.1 Jobs 92 sI<PYi={-6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 b=PB" - 5.3 输入材料 94 01w}8a( 5.4 设计数据文件夹 95 =wquFA!c 5.5 默认设计 95 9f #6Q*/ 6 细化和合成 97 PblO?@~O 6.1 优化介绍 97 eKvQS}11 6.2 细化 (Refinement) 98 IeT1Jwe 6.3 合成 (Synthesis) 100 _z6 " C8W 6.4 目标和评价函数 101 5H!6m_,w 6.4.1 目标输入 102 d$5\{YLy 6.4.2 目标 103 6Eu"T9( 6.4.3 特殊的评价函数 104 UFPSQ 6.5 层锁定和连接 104 x5(B(V@b 6.6 细化技术 104 tlyDXB~+ 6.6.1 单纯形 105 @)x8< 6.6.1.1 单纯形参数 106 uRnSwJ"hE 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 IA~wmOF 6.6.2.1 Optimac参数 108 }@TtX\7(D 6.6.3 模拟退火算法 109 gJYX 6.6.3.1 模拟退火参数 109 B&Iy_; 6.6.4 共轭梯度 111 w,VUWja 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 5pz(6gA 6.6.5 拟牛顿法 112 3?r?)$Jk 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 oi\e[qE 6.6.6 针合成 113 q[5& 6.6.6.1 针合成参数 114 Dssecc' 6.6.7 差分进化 114 Yq0j w&v
6.6.8非局部细化 115 dkAY%z two 6.6.8.1非局部细化参数 115 cr>"LAi 6.7 我应该使用哪种技术? 116 eb=#{ 6.7.1 细化 116 #,;X2% c 6.7.2 合成 117 h
e1= 6.8 参考文献 117 &BE'~G 7 导纳图及其他工具 118 js F96X{ 7.1 简介 118 ^"{txd?6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &Ef_p-e-P 7.2.1 四分之一波长规则 119 LWIPq" 7.2.2 导纳图 120 0u=FlQ
}h 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 AfX lV-v 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 HOb0\X 7.5 斜入射导纳图 141 dW9Ci"~v 7.6 对称周期 141 dS)c~:&+ 7.7 参考文献 142 'eg;)e:`b+ 8 典型的镀膜实例 143 dFzlcKFFD 8.1 单层抗反射薄膜 145 't#E-+o 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 tWa_-Un3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 V)3S.*] 8.4 W-膜层 148 -iySU 6 8.5 V-膜层 149 ?X~U[dV? 8.6 V-膜层高折射基底 150 vI0::ah/ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 P<MNwdf(+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 j7v?NY 8.9 四层抗反射薄膜 153 5o2|QL 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {i| $^A3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 <69Uq8GI 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1zWEK]2.R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 0k6S`e9gI 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 %bZ}vJ5b 8.15十五层宽带抗反射膜 159 e> Q_&6L 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 uBA84r%{QQ 8.17 1/4波长堆栈 162 OE[N$,4I* 8.18 陷波滤波器 163 ? yek\X 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 xAJuIR1Hi 8.20 褶皱 165 ![hVTZ,hyZ 8.21 消偏振分光器1 169 PNG!q}(c 8.22 消偏振分光器2 171 NTy0NH 8.23 消偏振立体分光器 172 IrTMZG 8.24 消偏振截止滤光片 173 Ika(ip#]= 8.25 立体偏振分束器1 174 Jwe9L^gL 8.26 立方偏振分束器2 177 +lED6]+% 8.27 相位延迟器 178 K-,8~8[ 8.28 红外截止器 179 ylPDM7Ka 8.29 21层长波带通滤波器 180 Hl b%/& 8.30 49层长波带通滤波器 181 r0fEW9wL 8.31 55层短波带通滤波器 182 zqs|~W]c 8.32 47 红外截止器 183 +"F 9yb 8.33 宽带通滤波器 184
s2;b-0 8.34 诱导透射滤波器 186 (^;Fyf/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 yp\sJc` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 V>:ubl8j0l 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 2-x#|9
8.35 增益平坦滤波器 193 RqE|h6/ 8.38 啁啾反射镜 1 196 U]W+ers 8.39 啁啾反射镜2 198 >Z&Y!w'A|u 8.40 啁啾反射镜3 199 J)"g`)\2 + 8.41 带保护层的铝膜层 200 0MX``/Z72 8.42 增加铝反射率膜 201 jw$[b=sa 8.43 参考文献 202 $*z>t*{7 9 多层膜 204 6%t>T~x 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 a@}A;y'd 9.2 内部透过率 204 3+d_5l;m) 9.3 内部透射率数据 205 UCL aCt - 9.4 实例 206 8}<4f|? 9.5 实例2 210 t182&gpd` 9.6 圆锥和带宽计算 212 #0gwN2Nv"L 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Sz#dld Mz 10 光学薄膜的颜色 216 *9I/h~I 10.1 导言 216 \\9$1yg 10.2 色彩 216 5V"g,]'Nd 10.3 主波长和纯度 220 <yz&>
+9, 10.4 色相和纯度 221 i{5,mS& 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 /R!/)sg 10.6 色差 226 iQJ[?l` 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 WC
*e#QP 10.8 颜色渲染指数 234 _pe_w{V-b6 10.9 色差计算 235 w0!4@ 10.10 参考文献 236 b$k|D)_| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 (S=RFd 11.1 短脉冲 238 R0_O/o+{ 11.2 群速度 239 [6{o13mCWE 11.3 群速度色散 241 YNV4' 11.4 啁啾(chirped) 245 >4@/x{{ 11.5 光学薄膜—相变 245 4 g}'/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 S=.7$PY 11.7 色度色散 246 ;Uv/#"r 11.8 色散补偿 249 8dYPn+` 11.9 空间光线偏移 256 rj> _L 11.10 参考文献 258 Z[pMlg6Z 12 公差与误差 260 OPP^n-iPr 12.1 蒙特卡罗模型 260 8,m3]Lg 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 `R+I(Cb 12.2.1 误差工具 267 mpysnKH 12.2.2 灵敏度工具 271 TqN4OkCm/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ()+PP}:$A 12.2.2.2 灵敏度分布 275 2qkZ B0[ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 g7 r_jj%ow 12.3 参考文献 276 k}h\RCy%f 13 Runsheet 与Simulator 277 _0: }"!Gq 13.1 原理介绍 277 y+g01z 13.2 截止滤光片设计 277 ? j8S.d~ 14 光学常数提取 289 Vim*4^[#L 14.1 介绍 289 V.U9Q{y" 14.2 电介质薄膜 289 4IH,:w=ofN 14.3 n 和k 的提取工具 295 1{pU:/_W 14.4 基底的参数提取 302 BJ,9C.| 14.5 金属的参数提取 306 a/v!W@Zz} 14.6 不正确的模型 306 DLP
G 14.7 参考文献 311 dqu+-43I| 15 反演工程 313 4Cn%
h)w 15.1 随机性和系统性 313 cEc_S42Z 15.2 常见的系统性问题 314 TC$)::C1 15.3 单层膜 314 yv2N5IQ>{V 15.4 多层膜 314 r3_O?b 15.5 含义 319 n^P~]1i 15.6 反演工程实例 319 |1[3RnGS 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]/klKqz 15.6.2 反演工程提取折射率 327 eKw!%97> 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 G!L(K 16.1 光学性质的热致偏移 329 Spqbr@j 16.2 应力工具 335 8nSEAr~ 16.3 均匀性误差 339 THl={,Rw` 16.3.1 圆锥工具 339 {BS}9jZx 16.3.2 波前问题 341 A)j',jE&1 16.4 参考文献 343 2/ES.>K!. 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 h]{V/ 17.1 引言 345 7yM "G $ 17.2 操作数 345 !um~P 18 如何在Function中编写脚本 351 psaPrE 18.1 简介 351 V~%C me 18.2 什么是脚本? 351 ]QbT%0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 k/;%{@G) 18.4 基础 352 Vw>AD<Rl 18.4.1 Classes(类别) 352 7}r6mr0vpm 18.4.2 对象 352 g,61'5\ 18.4.3 信息(Messages) 352 4[VW~x07 18.4.4 属性 352 -\dcs? 18.4.5 方法 353 g;n6hXq4 18.4.6 变量声明 353 7XU$O$C 18.5 创建对象 354 Am @o}EC 18.5.1 创建对象函数 355 XGCjB{IV 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $]`rWSYtv` 18.5.3 丢弃对象 356 aF!Im} 18.5.4 总结 356 &Fg|52 18.6 脚本中的表格 357 B}U:c] 18.6.1 方法1 357 ZCC T 18.6.2 方法2 357 49?wEm# 18.7 2D Plots in Scripts 358 `:>N.9'o 18.8 3D Plots in Scripts 359 =lOdg3#\a 18.9 注释 360 3Ud{W$Ym 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 oH]_2[
! 18.11 一个更高级的脚本 362 mNk@WY_F 18.12 <esc>键 364 <<M1:1 18.13 包含文件 365 5"WI^"6b: 18.14 脚本被优化调用 366 GnFm*L 18.15 脚本中的对话框 368 "pInb5F 18.15.1 介绍 368 ]p-xds#d 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "PePiW(i+ 18.15.3 输入框函数 370 E gD$A!6N8 18.15.4 自定义对话框 371 Mc@_[q!xY? 18.15.5 对话框编辑器 371 XEe$Wh
18.15.6 控制对话框 377 !+V."*]l 18.15.7 更高级的对话框 380 vKFEA7 18.16 Types语句 384 4o69t 18.17 打开文件 385 Xf%vfAf 18.18 Bags 387 >.1d1#+b 18.13 进一步研究 388 ;BmPP, 19 vStack 389 )zv"<>Q 6 19.1 vStack基本原理 389 %u!)1oOIz 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @=NTr 19.3 五棱镜 393 \f-@L;8# 19.4 光束距离 396 ym;I(TC+ 19.5 误差 399 ~oX`Gih 19.6 二向分色棱镜 399 Z/e^G f#i 19.7 偏振泄漏 404 [O@U@bD9 19.8 波前误差—相位 405 ]MmFtdvE 19.9 其它计算参数 405 Hg04pZupN 20 报表生成器 406 =v(&qh9Q2 20.1 入门 406 044Q>Qz, 20.2 指令(Instructions) 406 @*&`1 20.3 页面布局指令 406 #9rCF 3P 20.4 常见的参数图和三维图 407 AK//]
20.5 表格中的常见参数 408 oEJxey]B7 20.6 迭代指令 408 ufB9\yl{~ 20.7 报表模版 408 %zYTTPLZ 20.8 开始设计一个报表模版 409 9ePR6WS4 21 一个新的project 413 2=
)V"lR\ 21.1 创建一个新Job 414 qS/
'Kyp_ 21.2 默认设计 415 ~sVbg$]\ G 21.3 薄膜设计 416 Im"8+756 21.4 误差的灵敏度计算 420 -#`tS 21.5 显色指数计算 422 y3Ul}mVhA 21.6 电场分布 424 B,4
3b O 后记 426 ]vjMfT%]W ow4|GLU^; lFV\Go 对此镀膜书有兴趣,可以扫码加微联系 $VJE&b
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