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4z:#I; 内容简介 E?PGu!&u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )[&_scSa 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Y{ f7
f'_ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 1u]P4Gf= e=/&(Y 讯技科技股份有限公司 d0er^ ~
1'6cGpZY 目录 |'HLz=5\ Preface 1 S"snB/ 内容简介 2 &h$|j 目录 i $2z
_{@Z 1 引言 1 Q
|i9aE 2 光学薄膜基础 2 OQlG+| 2.1 一般规则 2 S+x_c4 T 2.2 正交入射规则 3 v.Ogf5 2.3 斜入射规则 6 w,.qCp T$_ 2.4 精确计算 7 j!#OG 2.5 相干性 8 i6no;}j 2.6 参考文献 10 Y'"N"$n'_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 ((DzUyK 4 Essential Macleod的特点 32 j033%p+Xc 4.1 容量和局限性 33 `U`#I,Ln[ 4.2 程序在哪里? 33 S0@T0y# 4.3 数据文件 35 ysXx%k 4.4 设计规则 35 &d$~6'x* 4.5 材料数据库和资料库 37 *:_~Nn9_R; 4.5.1材料损失 38 2M6dMvS 4.5.1材料数据库和导入材料 39 O+.*lo 4.5.2 材料库 41 setLdEi 4.5.3导出材料数据 43 <O857j 4.6 常用单位 43 jMpa?Jp 1 4.7 插值和外推法 46 r4knN
2: 4.8 材料数据的平滑 50 !sIwFv) 4.9 更多光学常数模型 54 H7IW"UkBR 4.10 文档的一般编辑规则 55 3o8\/-*< 4.11 撤销和重做 56 2cnj@E:5l 4.12 设计文档 57 LdWc
X`K 4.10.1 公式 58 #\FT EY! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 79ZxqvB\ 4.10.3 沉积密度 59 9Q[>.): 4.10.4 平行和楔形介质 60 v}`1)BUeF 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 o~~ 9!\ 4.10.4 性能 61 9O >z4o 4.10.5 保存设计和性能 64 sc xLB; 4.10.6 默认设计 64 8R/
*6S=& 4.11 图表 64 rWr/ p^~ 4.11.1 合并曲线图 67 ks:{TA27 4.11.2 自适应绘制 68 f)Y 4.11.3 动态绘图 68 w6U
@tW 4.11.4 3D绘图 69 pG28M]\ 4.12 导入和导出 73 AN10U;p/O 4.12.1 剪贴板 73 22vq=RO7Z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [$:@X V( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 b;{h?xc6 4.13 背景 77 wP`sXPSmIu 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ysth{[<5F3 4.15 生成Rugate 84 Sh$U-ch@ 4.16 参考文献 91 \^s2W:c 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 u:5IjOb2^ 5.1 Jobs 92 vzy!3Hiw 5.2 创建一个新Job(工作) 93 GC?S];PL 5.3 输入材料 94 %yhI;M^ 5.4 设计数据文件夹 95 J!<#Nc 5.5 默认设计 95 `vX4!@Tw 6 细化和合成 97 &CO|Y(+ 6.1 优化介绍 97 bqNLkw# 6.2 细化 (Refinement) 98 *o2#eI 6.3 合成 (Synthesis) 100 Wx k;g 6.4 目标和评价函数 101 PvuAg(? 6.4.1 目标输入 102 *+W6 P.K 6.4.2 目标 103 O(Td:Zdp 6.4.3 特殊的评价函数 104 >F|qb*Tm7 6.5 层锁定和连接 104 i\vpGlx 6.6 细化技术 104 IadK@?X6j 6.6.1 单纯形 105 ? KF=W 6.6.1.1 单纯形参数 106 K+-z Y[3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )Oo2<:" 6.6.2.1 Optimac参数 108 q
/:T1a7! 6.6.3 模拟退火算法 109 -B,c B 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ,b4~!V 6.6.4 共轭梯度 111 g@}6N.]# 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 j7,13,t1- 6.6.5 拟牛顿法 112 {9 Db9K^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~R'BU=!;F 6.6.6 针合成 113 b24di 6.6.6.1 针合成参数 114 Mc!2mE%47m 6.6.7 差分进化 114 xl|ghjn 6.6.8非局部细化 115 7
TmK 6.6.8.1非局部细化参数 115 5d%_Wb' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 x<Iy<v7- 6.7.1 细化 116 Imke/ =h 6.7.2 合成 117 g(KK9Unu 6.8 参考文献 117 $1b]xQ 7 导纳图及其他工具 118 4v0dd p 7.1 简介 118 j/~VP2R` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Z(l9>A7! 7.2.1 四分之一波长规则 119 f 5mY;z" 7.2.2 导纳图 120 U.Pa7tn 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 'lxLnX 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 B,r5kQI4 7.5 斜入射导纳图 141 e',hC0&S 7.6 对称周期 141 ?OdV1xB 7.7 参考文献 142 |GJBwrL^0 8 典型的镀膜实例 143 r(PJ~8)(= 8.1 单层抗反射薄膜 145 &
8ccrw 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 37J\i ] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Lr K9F^c 8.4 W-膜层 148 32M6EEmPG 8.5 V-膜层 149 5wT',U"+ 8.6 V-膜层高折射基底 150 jB*9 !xrd, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9` OG 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 H4P\hOK7r 8.9 四层抗反射薄膜 153 ztRWIkI
q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 hdo+Qezu: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 l*~"5f03 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 +J\L4ri k
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 L-^# 02 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 z44 8.15十五层宽带抗反射膜 159 i n[n Aa 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]hCWe0F 8.17 1/4波长堆栈 162 wxdh?sQ 8.18 陷波滤波器 163 O JZ!|J8? 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 a7QlU=\ 8.20 褶皱 165
?K= gg< 8.21 消偏振分光器1 169 T{5M1r 8.22 消偏振分光器2 171 KUl
Zk^a 8.23 消偏振立体分光器 172 h$#4ebp 8.24 消偏振截止滤光片 173 X=S}WKu 8.25 立体偏振分束器1 174 ?M*C*/R 8.26 立方偏振分束器2 177 xEd#~`Jmr 8.27 相位延迟器 178
jgZX~D 8.28 红外截止器 179 bTA14&&q 8.29 21层长波带通滤波器 180 E-*>f"<h 8.30 49层长波带通滤波器 181 pn ~/!y 8.31 55层短波带通滤波器 182 cG~_EX$ 8.32 47 红外截止器 183 ;iwD/=Y 8.33 宽带通滤波器 184 bUipp\[aV 8.34 诱导透射滤波器 186 m%BMd 8.35 诱导透射滤波器2 188 (AyRs7Dkn 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 LiHXWi{s 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
YV2pERl 8.35 增益平坦滤波器 193 (>)+;$Dr,\ 8.38 啁啾反射镜 1 196 !'6J;Fb# 8.39 啁啾反射镜2 198 f6/\JVi)- 8.40 啁啾反射镜3 199 //4p1^% 8.41 带保护层的铝膜层 200 .n^O)|Z 8.42 增加铝反射率膜 201 Cbf,X[u 8.43 参考文献 202 e2VL/>y` 9 多层膜 204 i >/@]2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 XQJV.SVS 9.2 内部透过率 204 ,M9hb<:m 9.3 内部透射率数据 205 /fcwz5~ 9.4 实例 206 JqH.QnKcv 9.5 实例2 210 Qg8eq_m( 9.6 圆锥和带宽计算 212 z<C~DH 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ES:p^/ =* 10 光学薄膜的颜色 216 E Zu 10.1 导言 216 s$=B~l 10.2 色彩 216 Snvj9Nr 10.3 主波长和纯度 220 H"Em|LX^ 10.4 色相和纯度 221 7C6BZ$( 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f<xt3 10.6 色差 226 @rDv
(W 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 NIcNL(] 10.8 颜色渲染指数 234 h: (l+jr 10.9 色差计算 235 %>QSeX 10.10 参考文献 236 ?2
O-EiWjZ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 boHm1hPKS 11.1 短脉冲 238 1,sO =p)Yg 11.2 群速度 239 i_Q4bhVj 11.3 群速度色散 241 #p^pvdvh3 11.4 啁啾(chirped) 245 ]{ l
O 11.5 光学薄膜—相变 245 "\P~Re"EH 11.6 群延迟和延迟色散 246 =I*ZOE3n 11.7 色度色散 246 75cr!+ 11.8 色散补偿 249 NhaeAD
$e 11.9 空间光线偏移 256 [AK %~Kg9 11.10 参考文献 258 UM;bVf? 12 公差与误差 260 [ZpG+VAJ8 12.1 蒙特卡罗模型 260 *xX0]{49q 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?>Ci`XlLr 12.2.1 误差工具 267 hB1 iSm 12.2.2 灵敏度工具 271 j-\^
}K.& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 oA^
]x> 12.2.2.2 灵敏度分布 275 yvnrZ&x: 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 dJgOfg^ 12.3 参考文献 276 C3
c|@7FU 13 Runsheet 与Simulator 277 '48|f`8$ 13.1 原理介绍 277 T%xL=STJNy 13.2 截止滤光片设计 277 )qQg n] 14 光学常数提取 289 0hr)tYW,G 14.1 介绍 289 )HiTYV)]' 14.2 电介质薄膜 289 {ca^yHgGy 14.3 n 和k 的提取工具 295 rY+1s^F 14.4 基底的参数提取 302 ."g5+ xX 14.5 金属的参数提取 306 Jywz27j 14.6 不正确的模型 306 R-0Ohj 14.7 参考文献 311 1T^L) %&p_ 15 反演工程 313 ]t0S_UH$ 15.1 随机性和系统性 313 Q/SC7R&"t 15.2 常见的系统性问题 314 $6+P&"8 15.3 单层膜 314 $CV'p/^En 15.4 多层膜 314 ^d=@RTyo/ 15.5 含义 319 Z1}zf(JU 15.6 反演工程实例 319 %HS!^j3C% 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 z-E4-\a
15.6.2 反演工程提取折射率 327 \d`Sz
* 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )4C6+63OD& 16.1 光学性质的热致偏移 329 XsMphZnK 16.2 应力工具 335 J<O_N~$$* 16.3 均匀性误差 339 Q2PwO;E.`C 16.3.1 圆锥工具 339 }J
lW\# 16.3.2 波前问题 341 .DsYR/ 16.4 参考文献 343 `a9>4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 *a.*Ha 17.1 引言 345 u{d` 17.2 操作数 345 -JQg{A 18 如何在Function中编写脚本 351 \5_^P{p7< 18.1 简介 351 32/P(- 18.2 什么是脚本? 351 IH}L1i A) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 (`*wiu+i 18.4 基础 352 <5^(l$IBj 18.4.1 Classes(类别) 352 .`RC,R`C 18.4.2 对象 352 m^+~pC5 18.4.3 信息(Messages) 352 AXI:h"so 18.4.4 属性 352 2J;CiEB 18.4.5 方法 353 p+?WhxG) 18.4.6 变量声明 353 uwzT? C A6 18.5 创建对象 354 I-hhHm<@ 18.5.1 创建对象函数 355 U]$3NIe 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 a"4 6_> 18.5.3 丢弃对象 356 Jp0.h8i 18.5.4 总结 356 Wg& |