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Fq4 内容简介 !vr">@}K Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 L'J$jB5cP 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Q5;Km1( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 q!7z4Cn $d:/cN
8E 讯技科技股份有限公司 IxYuJpi
1oFU4+{ 4 目录 {b<p~3%+Hc Preface 1 KG'4;Z5J 内容简介 2 >9esZA^'; 目录 i 4M i*bN, 1 引言 1 K~+y<z E 2 光学薄膜基础 2 ;pU9ov4) 2.1 一般规则 2 -F4CHpua 2.2 正交入射规则 3 2"'0OQN0\ 2.3 斜入射规则 6 4^w>An6 2.4 精确计算 7 Al$"k[-Uin 2.5 相干性 8 5[al^'y 2.6 参考文献 10 g/lv>*+gS 3 Essential Macleod的快速预览 10 :?RooJ~# 4 Essential Macleod的特点 32 [\V]tpl! 4.1 容量和局限性 33 Y%^&aac Z 4.2 程序在哪里? 33 _R8)%<E 4.3 数据文件 35 "%A/bv\u 4.4 设计规则 35 z/F(z*'v 4.5 材料数据库和资料库 37 ^\e:j7@z 4.5.1材料损失 38 }f^K}*sK$5 4.5.1材料数据库和导入材料 39 _Y|k \|' 4.5.2 材料库 41 6%U1%; 4.5.3导出材料数据 43 uTbI\iq 4.6 常用单位 43 fyYv}z 4.7 插值和外推法 46 Ny*M{}E 4.8 材料数据的平滑 50 fk*JoR.o 4.9 更多光学常数模型 54 s]5wzbF O 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?
4qN>uW= 4.11 撤销和重做 56 ]B3 0d 4.12 设计文档 57 K\IS"b3X 4.10.1 公式 58 KT{<iz_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
0>H<6Ja 4.10.3 沉积密度 59 YDi_Gl$ 4.10.4 平行和楔形介质 60 &5(|a"5+G 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 z;#}uC 4.10.4 性能 61 D<L]' 4.10.5 保存设计和性能 64 p|(910OEQ 4.10.6 默认设计 64 {'"A hiR/ 4.11 图表 64 ?7^(' 4.11.1 合并曲线图 67 ^._)HM 4.11.2 自适应绘制 68 YwoytoXK 4.11.3 动态绘图 68 f@\
k_ 4.11.4 3D绘图 69 kVkV~ 4.12 导入和导出 73 &m>`+uVBP 4.12.1 剪贴板 73 $aE%W? \ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 wMt?yc:X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 X]C-y,r[M 4.13 背景 77 ~;UK/OZ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 8@6:UR.) 4.15 生成Rugate 84 DI!NP;E 4.16 参考文献 91 tq<7BO<6 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 YXrTm[P 5.1 Jobs 92 2~R"3c+^ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 >W.Pg`'D 5.3 输入材料 94 kn+`2-0 5.4 设计数据文件夹 95 4xtbP\= 5.5 默认设计 95 HxU.kcf 6 细化和合成 97 "* %=k%' 6.1 优化介绍 97 ~`T(mh', 6.2 细化 (Refinement) 98 :#d$[:r# 6.3 合成 (Synthesis) 100 9p2"5x 6.4 目标和评价函数 101 mOGcv_L 6.4.1 目标输入 102 cU%#oEMf< 6.4.2 目标 103 c!{.BgGN 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ug3PZ7lK 6.5 层锁定和连接 104 r6PiZgR 6.6 细化技术 104 g 4Vt"2| 6.6.1 单纯形 105 P0'
;65 6.6.1.1 单纯形参数 106 dE/Vl/ : 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 {YK6IgEsJe 6.6.2.1 Optimac参数 108 CM9+h;Zm 6.6.3 模拟退火算法 109 VI" ,E} 6.6.3.1 模拟退火参数 109 +Nc|cj 6.6.4 共轭梯度 111 |
2p\M?@ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Be8Gx 6.6.5 拟牛顿法 112 I*6L`#j[ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 j(/"}d3osm 6.6.6 针合成 113
?o9l{4~g 6.6.6.1 针合成参数 114 GdL\ 6.6.7 差分进化 114 UO<uG#FB 6.6.8非局部细化 115 wqA5GK>m2 6.6.8.1非局部细化参数 115 \m5:~,p= 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ^row=5]E 6.7.1 细化 116 MSRIG- 6.7.2 合成 117 jqb,^T|j;m 6.8 参考文献 117 <(3Uu() 7 导纳图及其他工具 118 )z7.S"U 7.1 简介 118 U:_T9!fG 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 0e:K iUr 7.2.1 四分之一波长规则 119 k?|VFh1 7.2.2 导纳图 120 $dorE~T 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 PJO;[:
.I 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 cpu+"/\ 7.5 斜入射导纳图 141
78qf 7.6 对称周期 141 -s:JD J* 7.7 参考文献 142 u`E_Q8 8 典型的镀膜实例 143 KC q3S
8.1 单层抗反射薄膜 145 "i_tO+ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ;E*^AW 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 zs[t<`2 8.4 W-膜层 148 3i35F.=X, 8.5 V-膜层 149 >%Y.X38Z[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ^6J*yV% 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Pbm;@V 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 bTHJb pt*- 8.9 四层抗反射薄膜 153 -W+dsZ Sv8 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 K8284A8v 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 O}IS{/^7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ~aA+L-s| 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Haq23K 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _IT,>#ba 8.15十五层宽带抗反射膜 159 oY +RG|j@ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 R`TM@aaS: 8.17 1/4波长堆栈 162 g&_0)(a\ 8.18 陷波滤波器 163 &(Xp_3PO 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -J? df 8.20 褶皱 165 "UVV/&`o 8.21 消偏振分光器1 169 #cjB <APY 8.22 消偏振分光器2 171 El"XF?OgpP 8.23 消偏振立体分光器 172 TN/I(pkt1B 8.24 消偏振截止滤光片 173 {oz04KGsH 8.25 立体偏振分束器1 174 mN@0lfk; 8.26 立方偏振分束器2 177 Eptsxyz{ 8.27 相位延迟器 178 F\,3z7s 8.28 红外截止器 179 v,g,c`BjK 8.29 21层长波带通滤波器 180 \?g)jY 8.30 49层长波带通滤波器 181 8&dmH& 8.31 55层短波带通滤波器 182 i}+dctg/ 8.32 47 红外截止器 183 0FEb[+N 8.33 宽带通滤波器 184 {(xNC#
8.34 诱导透射滤波器 186 VMen: 8.35 诱导透射滤波器2 188 v6oZD;;~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^@{'! N 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 63:ZDQ 8.35 增益平坦滤波器 193 pjbKMx 8.38 啁啾反射镜 1 196 }o)GBWqHR 8.39 啁啾反射镜2 198 OP:;?Fs9` 8.40 啁啾反射镜3 199 9H.E15B 8.41 带保护层的铝膜层 200 DPy"FQYZb 8.42 增加铝反射率膜 201 %9Ulgs8 = 8.43 参考文献 202 .bL{fBTT~ 9 多层膜 204 IGv>0LOd@ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ?+`Zef.g 9.2 内部透过率 204 $XT&8%|*7 9.3 内部透射率数据 205 iW)FjDTP 9.4 实例 206 N;Hf7K 9.5 实例2 210 ;y"E}h 9.6 圆锥和带宽计算 212 &Hh%pY" 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 mYa0_P%^ 10 光学薄膜的颜色 216 )O2^?Q quS 10.1 导言 216 -*?a*q/#nQ 10.2 色彩 216 ^f3F~XhY3 10.3 主波长和纯度 220 3fM 10.4 色相和纯度 221 M=0I 3o}J 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 E\RQm}Z09 10.6 色差 226 OmKT}D~ 4 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 &a48DCZ 10.8 颜色渲染指数 234 ih1SN,/ 10.9 色差计算 235 299; N 10.10 参考文献 236 f}XUxIQ-< 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 LZ\}Kgi(!T 11.1 短脉冲 238 #a}fI 11.2 群速度 239 . 1?AU6\ 11.3 群速度色散 241 q/%f2U%4: 11.4 啁啾(chirped) 245 NG S/lKz 11.5 光学薄膜—相变 245 0YIvE\- 11.6 群延迟和延迟色散 246 LvW9kL+WiQ 11.7 色度色散 246 %&z9^}Vd[ 11.8 色散补偿 249 "p$`CUtI 11.9 空间光线偏移 256 "v^Q
! 11.10 参考文献 258 t3U*rr|A 12 公差与误差 260 D%Pq*=W 12.1 蒙特卡罗模型 260 s "*Cb* 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 skZxR5v3~L 12.2.1 误差工具 267 Kw-E%7gh4c 12.2.2 灵敏度工具 271 t0}3QGf;c 12.2.2.1 独立灵敏度 271 >@y5R^B` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 N,Y<mX 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 4b6$Mj 12.3 参考文献 276 G}f.fRY 13 Runsheet 与Simulator 277 *,pG4kh! 13.1 原理介绍 277 F=d#$-yg 13.2 截止滤光片设计 277 pw&l.t6. 14 光学常数提取 289 r 97 VX> 14.1 介绍 289 MdEZ839J 14.2 电介质薄膜 289
U Y)YhXW 14.3 n 和k 的提取工具 295 fn;7Nf7{ 14.4 基底的参数提取 302 PtmdUHvD 14.5 金属的参数提取 306 htMpL 14.6 不正确的模型 306 Pi)`[\{ 14.7 参考文献 311 Pme`UcE3H 15 反演工程 313 lR;<6 15.1 随机性和系统性 313 O!/J2SfuDH 15.2 常见的系统性问题 314 E: XzX Fxx 15.3 单层膜 314 3-LO 15.4 多层膜 314 {kW!|h&' 15.5 含义 319 J/RUKhs/ 15.6 反演工程实例 319 #2x\d 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Cw Z{& 15.6.2 反演工程提取折射率 327 eMWY[f3 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 "L{;=-e 16.1 光学性质的热致偏移 329 9{ciD
"!&V 16.2 应力工具 335 6RzTSb 16.3 均匀性误差 339 `\O[9.B 16.3.1 圆锥工具 339 L>pP3[~DV 16.3.2 波前问题 341 }5DyNfZ]+0 16.4 参考文献 343 ?]$.3azO 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ,n&Dg58K 17.1 引言 345 p&XbXg- 17.2 操作数 345 0jj
}jw 18 如何在Function中编写脚本 351 <8jn_6 18.1 简介 351 y .
AN0 18.2 什么是脚本? 351 S}*#$naK 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 nLo:\I( 18.4 基础 352 N"HN]Y@w 18.4.1 Classes(类别) 352 5_=&U-? H 18.4.2 对象 352 Sy8o/- 18.4.3 信息(Messages) 352 a=C?fh 18.4.4 属性 352 w3,QT}W vY 18.4.5 方法 353 6=|Q>[K 18.4.6 变量声明 353 _K/h/!\n 18.5 创建对象 354 Kd^
._ 18.5.1 创建对象函数 355 !X
|Tf 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3MkF 18.5.3 丢弃对象 356 dR $@vDm 18.5.4 总结 356 %H%>6z x 18.6 脚本中的表格 357 N2q'$o 18.6.1 方法1 357 dL[mX .j" 18.6.2 方法2 357 5UjXpS 18.7 2D Plots in Scripts 358 |A5]hL 18.8 3D Plots in Scripts 359 mufF_e) 18.9 注释 360 Lo9+#ITyx 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 5TzMv3;in2 18.11 一个更高级的脚本 362 =]etw 18.12 <esc>键 364 =Z%&jul 18.13 包含文件 365 5k<HO _] 18.14 脚本被优化调用 366 Y }e$5 18.15 脚本中的对话框 368 Uv5E$Y"e10 18.15.1 介绍 368 0 ,Bd,<3 18.15.2 消息框-MsgBox 368 qItj`F)d 18.15.3 输入框函数 370 8G(wYlxi 18.15.4 自定义对话框 371 `[CXxp 18.15.5 对话框编辑器 371 OG}0{? 18.15.6 控制对话框 377 ~TurYvf 18.15.7 更高级的对话框 380 vW YN?"d 18.16 Types语句 384 Sh{odrMj* 18.17 打开文件 385 5RZAs63t 18.18 Bags 387 @I_A(cr 18.13 进一步研究 388 2nOQ48haT 19 vStack 389 .XYSO 19.1 vStack基本原理 389 /:C"n|P7Z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Rp9uUJ 6o 19.3 五棱镜 393 I,t 0X) 19.4 光束距离 396 T>W(Caelq 19.5 误差 399 $6ITa }o 19.6 二向分色棱镜 399 qdO^)uJJ 19.7 偏振泄漏 404 N[r@Y{ 19.8 波前误差—相位 405 >(d+E\!A 19.9 其它计算参数 405 .KK"KO5k 20 报表生成器 406 &W|'rA'r 20.1 入门 406 SE%i@} 20.2 指令(Instructions) 406 )3z.{.F 20.3 页面布局指令 406 /T*{Mo{B 20.4 常见的参数图和三维图 407 pE15[fJ` 20.5 表格中的常见参数 408 5.5dB2w 20.6 迭代指令 408 N[zI@>x 20.7 报表模版 408 $mp7IZE| 20.8 开始设计一个报表模版 409 ib uA~\5 21 一个新的project 413 aJIj%Y$ 21.1 创建一个新Job 414 b!_l(2 21.2 默认设计 415 >8jDW "Ua 21.3 薄膜设计 416 M>1V3sM 21.4 误差的灵敏度计算 420 .DCp)&m
l; 21.5 显色指数计算 422 -/7[_, 21.6 电场分布 424 b]CJf8'u 后记 426 P,tN;c 5C{X$7u LF{ qI?LG 对此镀膜书有兴趣,可以扫码加微联系 Dt.OZ4w5 bNIT 1'v Zw"6-h4
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