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?1".;foZ 内容简介 .sA.C]f Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 BORA(, 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 w=@Dv 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Vz[C=_m uVU)d1N 讯技科技股份有限公司 qY#6SO`_iy
aN=B]{! 目录 'H!XUtFs" Preface 1 -{_PuJ " 内容简介 2 IM+o.@f- 目录 i /Q )\ + 1 引言 1 h.fq,em+H 2 光学薄膜基础 2 J.
@9zA& 2.1 一般规则 2 XZwK6F)L 2.2 正交入射规则 3 BluVmM3Vj 2.3 斜入射规则 6 |D.ND%K& 2.4 精确计算 7 $7uA%|\ 2.5 相干性 8 u2[w# 2.6 参考文献 10 U%<Inb}ad 3 Essential Macleod的快速预览 10 iyog`s c 4 Essential Macleod的特点 32 Xx(T">]vJ 4.1 容量和局限性 33 .[ mRM 4.2 程序在哪里? 33 wdZ/Xp9] 4.3 数据文件 35 PxE3K-S)G 4.4 设计规则 35 L_s:l9!r 4.5 材料数据库和资料库 37 8.~kK<)! 4.5.1材料损失 38 0|b>I!_"g 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Q5_o/wk 4.5.2 材料库 41 Q3SS/eNP 4.5.3导出材料数据 43 bJ;'`sw1 4.6 常用单位 43 sNwI0o 4.7 插值和外推法 46 bYPK h 4.8 材料数据的平滑 50 YAmb`CP 4.9 更多光学常数模型 54 m#F`] { 4.10 文档的一般编辑规则 55 3D(0=$W 4.11 撤销和重做 56 VD\=`r)nT 4.12 设计文档 57 b_):MQ1{ 4.10.1 公式 58 wa3}SB 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 F}qc0 4.10.3 沉积密度 59 188*XCtjQ9 4.10.4 平行和楔形介质 60 Xs?o{]Fe 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )F2OT<]m, 4.10.4 性能 61 !Rt>xD 4.10.5 保存设计和性能 64 V2G6Kw9gt 4.10.6 默认设计 64 I!?}jo3 4.11 图表 64 2 Vrw 4.11.1 合并曲线图 67 *WT`o> 4.11.2 自适应绘制 68 b%5f&N 4.11.3 动态绘图 68 O7IJ%_A& 4.11.4 3D绘图 69 NN`uI6= 4.12 导入和导出 73 \'bzt"f$j 4.12.1 剪贴板 73 !0cD$^7 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 O8.5}>gDn. 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 *D3/@S$B 4.13 背景 77 xZv#Es%# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 *=c1do%F 4.15 生成Rugate 84 :08,JL{ 4.16 参考文献 91 nj53G67y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 I
2|Bg,e 5.1 Jobs 92 I.k
*GW 5.2 创建一个新Job(工作) 93 C73kJa 5.3 输入材料 94 &9)\wnOS 5.4 设计数据文件夹 95 |H+Wed| 5.5 默认设计 95 {!dVDf_ 6 细化和合成 97 :[!j?)%> 6.1 优化介绍 97 N*&1GT#9 6.2 细化 (Refinement) 98
(ICd} 6.3 合成 (Synthesis) 100 'X2POay1 6.4 目标和评价函数 101 w*JGUk 6.4.1 目标输入 102 *=7U4W 6.4.2 目标 103 /~f'}]W 6.4.3 特殊的评价函数 104 /gkX38 6.5 层锁定和连接 104 3kMf!VL 6.6 细化技术 104 ilx)*Y 6.6.1 单纯形 105 j ?(&# 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]wG{!0pl 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $H>W|9Kg, 6.6.2.1 Optimac参数 108 \)?HJ 6.6.3 模拟退火算法 109 P}7 'm
M 6.6.3.1 模拟退火参数 109 :zF,A,) 6.6.4 共轭梯度 111 =>af@C.2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1HZO9cXJ 6.6.5 拟牛顿法 112 =zKM=qba 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 <<R*2b 6.6.6 针合成 113 r|Tcfk]% 6.6.6.1 针合成参数 114 KNIn:K^/ 6.6.7 差分进化 114 p2$P:!Y) 6.6.8非局部细化 115 }d}Ke_Q0 6.6.8.1非局部细化参数 115 "5wa91* 6.7 我应该使用哪种技术? 116
O+Y6N 6.7.1 细化 116 u($!z^h 6.7.2 合成 117 ` v@m-j6 6.8 参考文献 117 4u5-7[TZ 7 导纳图及其他工具 118 (c
&mCJN 7.1 简介 118 FE|JHh$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 VZmLS 4E 7.2.1 四分之一波长规则 119 +s DV~\Vu 7.2.2 导纳图 120 JHTSUq 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )C]gld;8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 76h ,]xi
7.5 斜入射导纳图 141 J,y[[CdH` 7.6 对称周期 141 >_"an~Ss 7.7 参考文献 142 xRLT=.ir 8 典型的镀膜实例 143 6.nCV0xA 8.1 单层抗反射薄膜 145 j yUCH*@ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 y''z5[' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~;{;,8!) 8.4 W-膜层 148 WuUk9_g 8.5 V-膜层 149 iN8zo:&Z 8.6 V-膜层高折射基底 150 'XP7"
N47O 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 V7fq4O^: 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 DKJmTH]rUg 8.9 四层抗反射薄膜 153 A1>OY^p3% 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %%gc2s 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
>rKIG~P_ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 CxO ob1@ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Jgd'1'FOs 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (b-MMr 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %oa-WmWm 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 62o:,IcoG 8.17 1/4波长堆栈 162 hVAn>_( 8.18 陷波滤波器 163 !1H# 6 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 hxd`OG<gF 8.20 褶皱 165 'Nnz k 8.21 消偏振分光器1 169 3/e.38m| 8.22 消偏振分光器2 171 nIy}#MUd|q 8.23 消偏振立体分光器 172 k(7&N0V%zz 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^sEYOX\ 8.25 立体偏振分束器1 174 >T3- 8.26 立方偏振分束器2 177 F]]]y5t 8.27 相位延迟器 178 4`]^@"{ 8.28 红外截止器 179 ,I(d6 8.29 21层长波带通滤波器 180 dkBIx$t 8.30 49层长波带通滤波器 181 Tg)|or/% 8.31 55层短波带通滤波器 182 ][h%UrV 8.32 47 红外截止器 183 ^-Kf']hU 8.33 宽带通滤波器 184 })8N5C+KU 8.34 诱导透射滤波器 186 rt~d6|6 8.35 诱导透射滤波器2 188 Pz |>"' 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /dQl)tL 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 QIvVcfM^ 8.35 增益平坦滤波器 193 ~{B7 k: 8.38 啁啾反射镜 1 196 +tIF
h' 8.39 啁啾反射镜2 198 ujq=F 8.40 啁啾反射镜3 199 ZC`wO%, 8.41 带保护层的铝膜层 200 l2rd9-T 8.42 增加铝反射率膜 201 "ZoRZ'i 8.43 参考文献 202 >#~& -3 9 多层膜 204 A) %/[GD2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 xU>WEm2 9.2 内部透过率 204 ,nLy4T&" 9.3 内部透射率数据 205 0gy/:T 9.4 实例 206 u#;7<.D 9.5 实例2 210 xH(lm2kvT 9.6 圆锥和带宽计算 212 D4-ifsP 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 wb5baY9 10 光学薄膜的颜色 216 q`H_M{26!y 10.1 导言 216 G"U9E5O 10.2 色彩 216 2U\u4NO{ 10.3 主波长和纯度 220 foF({4q7b^ 10.4 色相和纯度 221 tI TS1 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >WQMqQ^t@ 10.6 色差 226 )3Iz (Ql 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [.'|_l 10.8 颜色渲染指数 234 2"kLdD 10.9 色差计算 235 N~d ?WD\^ 10.10 参考文献 236 Ym{tR,g7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 EQyC1j 11.1 短脉冲 238 XQs1eP'{ 11.2 群速度 239 % X+:o]T 11.3 群速度色散 241 ;R5`"` 11.4 啁啾(chirped) 245 B=yqW 11.5 光学薄膜—相变 245 E$:*NSXj 11.6 群延迟和延迟色散 246 t?ZI".> 11.7 色度色散 246 rEnQYz 11.8 色散补偿 249 o]` *M| 11.9 空间光线偏移 256 4 \K7xM! 11.10 参考文献 258 dTC7Fm 12 公差与误差 260 {M$1N5Eh 12.1 蒙特卡罗模型 260 WJndoB.f[2 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 goRL1L,5 12.2.1 误差工具 267 }Qc@m9;bH 12.2.2 灵敏度工具 271 +0%w ;'9z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 tl4V7!U@^z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 1N^[.= 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 -MO#]K3< 12.3 参考文献 276 :q7Wy&ow 13 Runsheet 与Simulator 277 I^]2K0+x x 13.1 原理介绍 277 Zq|I,l0+E 13.2 截止滤光片设计 277 FQ2 14 光学常数提取 289 *{@Nq=fE 14.1 介绍 289 )uIe&B
14.2 电介质薄膜 289 V>%rv'G8 14.3 n 和k 的提取工具 295 69?wc! 14.4 基底的参数提取 302 wj<6kG 14.5 金属的参数提取 306 WZejp}x 14.6 不正确的模型 306 Gg3,:A_ w 14.7 参考文献 311 n Fg~< $d 15 反演工程 313 dA`IEQJL 15.1 随机性和系统性 313 yZ(zdM\/sL 15.2 常见的系统性问题 314 -M~:lK]n 15.3 单层膜 314 i2A81>68< 15.4 多层膜 314 @* jz
o 15.5 含义 319 VimE@ Hz 15.6 反演工程实例 319 v
~?qz5:K~ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 "3"V3w 15.6.2 反演工程提取折射率 327 nQtWvT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 (KD RkE|= 16.1 光学性质的热致偏移 329 E`0? 16.2 应力工具 335 p* (JjH 16.3 均匀性误差 339 Nk
8 B_{ 16.3.1 圆锥工具 339 )?naN 16.3.2 波前问题 341 eIEeb,#i 16.4 参考文献 343 E *6Cw
l 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 qI9z;_,gNz 17.1 引言 345 IH&|Tcf\ 17.2 操作数 345 >`mVY=Hi 18 如何在Function中编写脚本 351 _LUhZlw 18.1 简介 351 =^f<v_L 18.2 什么是脚本? 351 gNrjo= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 I-)+bV
G 18.4 基础 352 GPv1fearl 18.4.1 Classes(类别) 352 T|op$ s| 18.4.2 对象 352 x8\?}UnB 18.4.3 信息(Messages) 352 S9D<8j^ 18.4.4 属性 352 SC!RbW@3 18.4.5 方法 353 c(E{6g? 18.4.6 变量声明 353 $q{!5-e 18.5 创建对象 354 J T7nG.9 18.5.1 创建对象函数 355 =tn)}Y.<e 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Al^d$FaF 18.5.3 丢弃对象 356 o5O#vW2Il& 18.5.4 总结 356 "'.UU$]d 18.6 脚本中的表格 357 7\[@m3s 18.6.1 方法1 357 ;_I8^? d 18.6.2 方法2 357 2'\H\| 18.7 2D Plots in Scripts 358 oj<gD 18.8 3D Plots in Scripts 359 SrJGTuXg 18.9 注释 360 cN6X#D 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 uc\Kg1{ 18.11 一个更高级的脚本 362 (vnAbR#e 18.12 <esc>键 364 E \EsWb 18.13 包含文件 365 #&k5d: 18.14 脚本被优化调用 366 _pG-qK 18.15 脚本中的对话框 368 6=/F$| 18.15.1 介绍 368 fc3{sZE2M 18.15.2 消息框-MsgBox 368 IGQFtO/x 18.15.3 输入框函数 370 yNo0ubY 18.15.4 自定义对话框 371 rJTa 18.15.5 对话框编辑器 371 6ex/TySM 18.15.6 控制对话框 377 eA ?RK.e 18.15.7 更高级的对话框 380 o5GcpbZ3k 18.16 Types语句 384 1{.|+S Z! 18.17 打开文件 385 EjR9JUu 18.18 Bags 387 n\D&!y[]F 18.13 进一步研究 388 e}7lBLK]* 19 vStack 389 <w9JRpFY 19.1 vStack基本原理 389 xn(kKB. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @ioJ]$o7 19.3 五棱镜 393 g%I"U>!2 19.4 光束距离 396 $6 9&O 19.5 误差 399 y9GoPC`z 19.6 二向分色棱镜 399 hEH?[>9 19.7 偏振泄漏 404 [kB7@o 19.8 波前误差—相位 405 !hy-L_wL] 19.9 其它计算参数 405 _Y4` xv0/ 20 报表生成器 406 pa3{8x{9m 20.1 入门 406 H@>` F 20.2 指令(Instructions) 406 P>D)7V9Hh 20.3 页面布局指令 406 =BAr .m+" 20.4 常见的参数图和三维图 407 AKfDXy 20.5 表格中的常见参数 408 U_Ptqqt% 20.6 迭代指令 408 ]p GL`ge5 20.7 报表模版 408 eJ-xsH*8 20.8 开始设计一个报表模版 409 -3*]G^y2 21 一个新的project 413 #q$HQ&k 21.1 创建一个新Job 414 ED( Sg 21.2 默认设计 415 FVbb2Y?R 21.3 薄膜设计 416 !i}w~U< 21.4 误差的灵敏度计算 420 _ <V)-Y 21.5 显色指数计算 422 ueWEc^_> 21.6 电场分布 424 "+nRGEs6 后记 426 Q"d^_z]K RSRS wkC 4E+e}\r:6 对此镀膜书有兴趣,可以扫码加微联系 ,w4(kcg%iQ T3<4B!UB& |syR6(U}
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